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本实用新型公开了一种分子泵小车，包括车体、外壳体、前级泵、进气机构和分子泵，所述外壳体、所述前级泵和所述分子泵均固定设于所述车体，所述外壳体为密封的箱体结构，所述分子泵设于所述外壳体内，所述分子泵的出气管伸出所述外壳体，所述前级泵的出气端与...
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