The utility model relates to the technical field of molecular pump, in particular to a composite molecular pump, which comprises a pump shell, a core shell, a rotating shaft, a rotor and a stator. A first diversion groove is arranged around the upper part of the core shell to form a first traction stage stator, and the upper end of the first diversion groove is connected with the inner part of the core shell. The upper turbine stage rotor and the lower traction stage rotor are positioned corresponding to the first traction stage, and the outer circumference of the traction stage rotor is provided with a second guide groove. The stator is set on the rotor, and the stator includes the first traction stage stator, the turbine stage stator corresponding to the turbine stage rotor and the traction stage rotation. The sub corresponds to the second traction stage stator. The utility model provides a first diversion groove on the core case to form a first traction stage stator. When the rotor rotates, the gas in the core case flows from the first diversion groove to the outlet direction, which improves the vacuum degree in the core case, thereby restraining the air leakage from the core case to the high vacuum area.
【技术实现步骤摘要】
一种复合分子泵
本技术涉及分子泵
,尤其涉及一种复合分子泵。
技术介绍
分子泵被广泛应用于高真空领域,因为分子泵长时间高转速的工作特性和高洁净度要求非常适合磁悬浮轴承的应用,所以磁悬浮分子泵逐渐成为分子泵的主流。分子泵工作时是按照:腔体—分子泵—前级泵来布置。分子泵进气口接被抽气腔体,分子泵出气口接前级泵。前级泵为普通真空泵,真空度可达到10E-1Pa。工作时,前级泵先被启动,使得被抽腔体和分子泵内真空度达到10E-1Pa。然后分子泵开始工作,使被抽腔体的真空度由10-1Pa提高到10-7Pa。分子泵进气口处为高真空区,真空度为10-7Pa。出气口处为低真空区,真空度为10-1Pa。分子泵的工作原理就是通过动片的高速旋转来维持接口处的高真空度,其中,在高真空区,动片为涡轮级,其上分布各级叶片,在低真空区,动片为牵引级,其上分布有螺旋槽。分子泵工作时,会将气体分子从高真空区搬运到低真空区,而低真空区的气体分子会自发的反流到高真空区,当腔体的真空度达到一定程度,抽气和反流会达到平衡,真空度就不会再提高,此时,分子泵需要长时间运行来维持着这个平衡,从而保证腔体的高真空度。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术要解决的技术问题是解决分子泵的低真空区的气体分子会反流到高低空区从而降低分子泵所维持的高真空度。(二)技术方案为了解决上述技术问题,本技术提供了一种复合分子泵,包括泵壳、机芯壳体、转轴、转子和定子,所述机芯壳体的上端敞口,所述转子套设于所述机芯壳体的上部,所述转轴竖直设于所述机芯壳体内且所述转轴的上端与所述转子连接,用于带动所述转子转动,所述机芯壳体的上 ...
【技术保护点】
1.一种复合分子泵,其特征在于:包括泵壳、机芯壳体、转轴、转子和定子,所述机芯壳体的上端敞口,所述转子套设于所述机芯壳体的上部,所述转轴竖直设于所述机芯壳体内且所述转轴的上端与所述转子连接,用于带动所述转子转动,所述机芯壳体的上部的外周设有第一导流槽以形成第一牵引级定子,所述第一导流槽的上端与所述机芯壳体的内部连通;所述转子包括位于上部的涡轮级转子和位于下部的牵引级转子,所述牵引级转子与所述第一牵引级定子对应设置,且所述牵引级转子的外周设有第二导流槽;所述定子套设于所述转子上,且所述定子包括第一牵引级定子、与所述涡轮级转子对应设置的涡轮级定子和与所述牵引级转子对应设置的第二牵引级定子;所述泵壳套设于所述定子上,且所述泵壳的上端设有进气口,所述泵壳的侧壁上设有出气口,所述出气口与所述第一导流槽及第二导流槽连通。
【技术特征摘要】
1.一种复合分子泵,其特征在于:包括泵壳、机芯壳体、转轴、转子和定子,所述机芯壳体的上端敞口,所述转子套设于所述机芯壳体的上部,所述转轴竖直设于所述机芯壳体内且所述转轴的上端与所述转子连接,用于带动所述转子转动,所述机芯壳体的上部的外周设有第一导流槽以形成第一牵引级定子,所述第一导流槽的上端与所述机芯壳体的内部连通;所述转子包括位于上部的涡轮级转子和位于下部的牵引级转子,所述牵引级转子与所述第一牵引级定子对应设置,且所述牵引级转子的外周设有第二导流槽;所述定子套设于所述转子上,且所述定子包括第一牵引级定子、与所述涡轮级转子对应设置的涡轮级定子和与所述牵引级转子对应设置的第二牵引级定子;所述泵壳套设于所述定子上,且所述泵壳的上端设有进气口,所述泵壳的侧壁上设有出气口,所述出气口与所述第一导流槽及第二导流槽连通。2.根据权利要求1所述的复合分子泵,其特征在于:所述第一导流槽和所述第二导流槽均为螺旋形导流槽。3.根据权利要求2所述的复合分子泵,其特征在于:所述出气口与所述第一导流槽及所述第二导流槽的下端连通。4.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:马建,乐韵,董宝田,
申请(专利权)人:北京海斯德电机技术有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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