一种氮化硅制备装置及制备系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种氮化硅制备装置及制备系统，属于机械设计及制备领域。本实用新型专利技术通过上述设计得到的氮化硅制备装置；通过将反应釜设置在中间腔，通过加热装置，加热反应釜，有利于反应充分利用加热装置的功能，且通过反应箱源，能保证热量不散失，利于形成较好的温度气氛，提高氮化硅制备装置的制备效率；利用了氮化硅制备装置的制备系统，也能较好的制备高纯度的氮化硅粉末。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化硅制备装置及制备系统
本技术涉及机械设计及制备领域，具体而言，涉及一种氮化硅制备装置及制备系统。
技术介绍
氮化硅陶瓷，是一种烧结时不收缩的无机材料陶瓷。氮化硅的强度很高，尤其是热压氮化硅，是世界上最坚硬的物质之一。具有高强度、低密度、耐高温等性质。目前，气相法生产氮化硅粉末的方法，由于加热不均匀，还是会影响氮化硅粉末的纯度。
技术实现思路
本技术的目的在于提供了一种氮化硅制备装置，通过设置的加热装置，能更好加热，维持热量的均衡，保证氮化硅制备反应稳定高效的进行。本技术的另一目的在于提供一种氮化硅制备系统，该制备系统可以大量高效的准备氮化硅粉末。本技术是这样实现的：一种氮化硅制备装置，包括：反应箱，反应箱由箱侧壁、底板和箱顶板构成，箱侧壁、底板和箱顶板围成中间腔；反应釜，反应釜设置于中间腔，反应釜与底板固定连接；加热装置，加热装置加热反应釜中的反应原料；气体管，气体管设置于箱顶板，气体管与中间腔连通。进一步地，在本技术较佳的实施例中，箱侧壁、底板和箱顶板均包括镜面层、隔热层和外壁层，镜面层为靠近中间腔的内层。进一步地，在本技术较佳的实施例中，反应釜为坩埚反应器。进一步地，在本技术较佳本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氮化硅制备装置，其特征在于，包括：反应箱，所述反应箱由箱侧壁、底板和箱顶板构成，所述箱侧壁、所述底板和所述箱顶板围成中间腔；反应釜，所述反应釜设置于所述中间腔，所述反应釜与所述底板固定连接；加热装置，所述加热装置加热所述反应釜中的反应原料；气体管，所述气体管设置于所述底板，所述气体管与所述中间腔连通。

【技术特征摘要】
1.一种氮化硅制备装置，其特征在于，包括：反应箱，所述反应箱由箱侧壁、底板和箱顶板构成，所述箱侧壁、所述底板和所述箱顶板围成中间腔；反应釜，所述反应釜设置于所述中间腔，所述反应釜与所述底板固定连接；加热装置，所述加热装置加热所述反应釜中的反应原料；气体管，所述气体管设置于所述底板，所述气体管与所述中间腔连通。2.根据权利要求1所述的氮化硅制备装置，其特征在于，所述箱侧壁、所述底板和所述箱顶板均包括镜面层、隔热层和外壁层，所述镜面层为靠近所述中间腔的内层。3.根据权利要求1所述的氮化硅制备装置，其特征在于，所述反应釜为坩埚反应器。4.根据权利要求3所述的氮化硅制备装置，其特征在于，所述底板设置有底砧，所述坩埚反应器通过所述底砧与所述底板连接。5.根据权利要求4所述的氮化...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜井意，杜建周，黄燕梅，杨子润，
申请(专利权)人：江苏东浦精细陶瓷科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32