温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种氮化硅制备装置及制备系统，属于机械设计及制备领域。本实用新型通过上述设计得到的氮化硅制备装置；通过将反应釜设置在中间腔，通过加热装置，加热反应釜，有利于反应充分利用加热装置的功能，且通过反应箱源，能保证热量不散失，利于形...
该专利属于江苏东浦精细陶瓷科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏东浦精细陶瓷科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。