单轴旋转致动器制造技术

提供适合于向单轴方向旋转驱动衍射光栅等光学元件、且适合于形成波长范围广的光的单轴旋转致动器。致动器(500)具备：支架(550)，具有安装衍射光栅(401)的载置面、和旋转轴(552)；固定部(520)，具有对支架(550)的旋转轴(552)进行保持的轴承；弹性部件(530)，包含固定于固定部(520)的外周部、固定于支架(550)的内周部、和将外周部与内周部连接且具有弹性的臂部；以及驱动部，具有设置于支架(550)的线圈(540)、和设置于固定部(520)的磁体(510)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】单轴旋转致动器
本专利技术涉及例如用于使衍射光栅等光学元件向单轴方向旋转驱动的单轴旋转致动器。
技术介绍
在单色器中，利用致动器来旋转驱动衍射光栅，从而使到达狭缝的光的波长发生变化。作为该致动器，大多使用步进电机或正弦规机构等。另外，作为驱动光学元件的致动器，例如有在专利文献1中公开的致动器。在专利文献1中公开了一种小型反射镜倾斜致动器(mirrortiltactuator)，该小型反射镜倾斜致动器使用线圈、磁体及磁轭对通过板簧保持于底座的反射镜进行磁驱动，从而能够高精度地驱动反射镜。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2011/007628号
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，使用了步进电机或正弦规机构等的以往的单色器并不适合于小型化。即，步进电机较大，并且在步进电机的旋转分解性能不满足单色器的分光性能的情况下需要减速器(齿轮)，因此会进一步大型化。同样地，正弦规机构需要导螺杆，因此会大型化而不适合于小型化。另一方面，专利文献1的致动器由于装配的部件个数较多，因此装配会相应地繁琐化，并且若装配精度不良则驱动精度也会变差，因此可认为需要高精度的装配精度。也就是，需要为了高精度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单轴旋转致动器，其具备：支架，具有安装光学元件的载置面、和与所述载置面平行的旋转轴；固定部，具有对所述支架的所述旋转轴进行保持的轴承；弹性部件，包含固定于所述固定部的外周部、固定于所述支架的内周部、和将所述外周部与所述内周部连接且具有弹性的臂部；以及驱动部，具有设置于所述支架的线圈、和设置于所述固定部的磁体，使所述支架以所述旋转轴为中心旋转，所述光学元件在所述旋转轴的轴向上的长度比在与所述旋转轴的轴向正交的方向上的长度长。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.05 JP 2016-0758931.一种单轴旋转致动器，其具备：支架，具有安装光学元件的载置面、和与所述载置面平行的旋转轴；固定部，具有对所述支架的所述旋转轴进行保持的轴承；弹性部件，包含固定于所述固定部的外周部、固定于所述支架的内周部、和将所述外周部与所述内周部连接且具有弹性的臂部；以及驱动部，具有设置于所述支架的线圈、和设置于所述固定部的磁体，使所述支架以所述旋转轴为中心旋...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐藤政大，
申请(专利权)人：三美电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP