在样品处理过程中的同步图案扫描布局制造技术

一种激光烧蚀系统和方法，其有助于执行用户定义的扫描(即，其中沿着光束轨迹跨样品扫描激光束以烧蚀或解离样本的一部分)且使得所述用户能够在正执行扫描时定义另外的扫描。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在样品处理过程中的同步图案扫描布局相关申请的交叉引用本申请要求2016年1月11日提交的第62/277,349号美国临时申请的权益，所述美国临时申请以全文引用的方式并入本文中。
本文中所描述的实施例大体上涉及激光烧蚀系统，如用于支持取样和组成分析的那些激光烧蚀系统。更具体地说，本文中所描述的实施例大体上涉及使得能够在正执行扫描操作时高效产生待执行的扫描的激光烧蚀系统和方法。
技术介绍
如质谱(MS)系统、光发射光谱(OES)系统等等的分析系统可用于分析样品(例如，固体或液体材料)的组成。通常，将样品的一部分以气溶胶(即，固体和可能液体粒子及/或蒸汽在如氦气、氩气等的载气中的悬浮液)形式提供到分析系统。气溶胶通常通过以下产生：将样品布置在激光烧蚀腔内、在腔室内引入载气流并用一或多个激光脉冲烧蚀目标的一部分以产生羽流，所述羽流含有悬浮在载气内的从样品射出或以其它方式产生的粒子及/或蒸汽(下文称为“样品材料”)。夹带在流动载气内，样品材料通过输送管输送到分析系统的例如ICP炬，在ICP炬处将其电离。接着通过如MS或OES系统的分析系统分析含有电离粒子及/或蒸汽的等离子体。通常，如上文所描述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于激光烧蚀系统的方法，所述激光烧蚀系统具有将样品容纳于内部的样品腔室、被配置成用于产生激光束的激光器和被配置成用于赋予所述样品与所述激光束之间的相对移动的至少一个扫描组件，所述激光束具有适用于烧蚀或以其它方式解离所述样品腔室内的所述样品的一部分的参数，所述方法包括：处理代表所述样品的所获得图像的图像数据以产生位置数据，所述位置数据使所述所获得图像内的至少一个位置与所述样品腔室的所述内部内的至少一个对应空间位置相关联；控制选自由所述激光器和所述至少一个扫描组件组成的群组的至少一个的操作，以在所述样品的第一相关区域执行第一扫描，将通过所述激光束在所述第一相关区域烧蚀或以其它方式解离所述样...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.01.11 US 62/277,3491.一种用于激光烧蚀系统的方法，所述激光烧蚀系统具有将样品容纳于内部的样品腔室、被配置成用于产生激光束的激光器和被配置成用于赋予所述样品与所述激光束之间的相对移动的至少一个扫描组件，所述激光束具有适用于烧蚀或以其它方式解离所述样品腔室内的所述样品的一部分的参数，所述方法包括：处理代表所述样品的所获得图像的图像数据以产生位置数据，所述位置数据使所述所获得图像内的至少一个位置与所述样品腔室的所述内部内的至少一个对应空间位置相关联；控制选自由所述激光器和所述至少一个扫描组件组成的群组的至少一个的操作，以在所述样品的第一相关区域执行第一扫描，将通过所述激光束在所述第一相关区域烧蚀或以其它方式解离所述样品；以及在控制所述激光器和运动载台中的至少一个的操作以执行所述第一扫描的同时，产生和存储定义将在所述样品的第二相关区域中执行的第二扫描的扫描数据，将通过所述激光束在所述第二相关区域中烧蚀或以其它方式解离所述样品。2.根据权利要求1所述的方法，在控制所述激光器和所述至少一个扫描组件中的至少一个的所述操作以执行所述第一扫描之前，产生且存储定义所述第一扫描的扫描数据。3.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括响应于接收通过用户接口获得的用户输入，产生且存储定义所述第一扫描的扫描数据。4.根据权利要求1所述的方法，在执行所述第一扫描之后，控制所述激光器和所述至少一个扫描组件中的至少一个的操作以基于定义所述第二扫描的所存储的所述扫描数据执行所述第二扫描。5.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括响应于接收通过用户接口获得的用户输入，产生且存储定义所述第二扫描的扫描数据。6.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括通过使用光学显微镜系统捕捉所述图像来获得所述图像，所述光学显微镜系统具有包含容纳所述样品的所述样品腔室的所述内部的区域的至少一部分的视场。7.根据权利要求6所述的方法，其中所述视场包含容纳所述样品的所述样品腔室的所述内部的所述整个区域。8.根据权利要求1所述的方法，其中接收所述图像数据包含导入代表由图像捕捉系统捕捉的图像的图像数据，所述图像捕捉系统不属于所述激光烧蚀系统的部分。9.根据权利要求1所述的方法，其中所述激光烧蚀系统进一步包含光学显微镜系统，所述光学显微镜系统具有包含容纳所述样品的所述样品腔室的所述内部的区域的至少一部分的视场，且其中所述位置数据使所述所获得图像内的至少一个位置与所述视场内的至少一个对应空间位置相关联。10.根据权利要求1所述的方法，其中控制所述至少一个扫描组件的所述操作包含控制运动载台的操作，所述运动载台被配置成用于使所述样品相对于光束轨迹移动，所述激...

【专利技术属性】
技术研发人员：席亚朗·欧康纳，艾瑞克·拉森，蕾芙·萨墨菲尔德，
申请(专利权)人：元素科学雷射有限责任公司，
类型：发明
国别省市：美国,US