下载在样品处理过程中的同步图案扫描布局的技术资料

文档序号:19877520

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一种激光烧蚀系统和方法,其有助于执行用户定义的扫描(即,其中沿着光束轨迹跨样品扫描激光束以烧蚀或解离样本的一部分)且使得所述用户能够在正执行扫描时定义另外的扫描。...
该专利属于元素科学雷射有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过元素科学雷射有限责任公司授权不得商用。

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