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单轴旋转致动器制造技术
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文档序号:19877519
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提供适合于向单轴方向旋转驱动衍射光栅等光学元件、且适合于形成波长范围广的光的单轴旋转致动器。致动器(500)具备:支架(550),具有安装衍射光栅(401)的载置面、和旋转轴(552);固定部(520),具有对支架(550)的旋转轴(552...
该专利属于三美电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三美电机株式会社授权不得商用。
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