蒸镀用金属掩模制造技术

一种蒸镀用金属掩模，对各掩模孔进行划分的蒸镀用金属掩模的要素由在第一方向上相互对置的2个第一掩模要素以及在第二方向上相互对置的2个第二掩模要素构成。在与第一方向正交的截面中，第一掩模要素的厚度的极小值与第二掩模要素的厚度的极大值之比为70％以上。在各掩模孔中，与第一方向正交的截面中的掩模孔的宽度为掩模孔宽度，第二掩模要素的厚度的极大值与从第一开口到第二开口之间的掩模孔宽度的最小值之比为41％以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀用金属掩模
本技术涉及一种蒸镀用金属掩模。
技术介绍
作为使用蒸镀法制造的显示器件之一，已知有机EL显示器。有机EL显示器所具备的有机层，是在蒸镀工序中升华的有机分子的堆积物。在蒸镀工序中使用的金属掩模具有多个掩模孔，各掩模孔是供升华了的有机分子通过的通路。各掩模孔沿着厚度方向贯通金属掩模。在与多个掩模孔所开口的面对置的俯视中，各掩模孔划分出长方形的区域，多个掩模孔例如排列为交错阵列状(例如，参照专利文献1)。专利文献1：日本特开2004－281339号公报然而，相互相邻的掩模孔间的宽度，有时在掩模孔的延伸方向以及与该延伸方向交叉的方向上具有相互不同的大小。与金属掩模中的其他部分相比，掩模孔间的宽度相对较小的部分是强度较低的脆弱部。在厚度不足1mm的金属掩模中，当这样的脆弱部与掩模孔沿着一个方向各一个地交替反复时，有时在金属掩模中产生沿着脆弱部的排列方向相连的弯折。这样的情况，不限定于在包括有机EL显示器的显示器件的制造中使用的蒸镀用金属掩模，对于在各种器件所具备的布线的形成、各种器件所具备的功能层等的蒸镀中使用的蒸镀用金属掩模也是共通的。此外，这样的情况，对于在与多个掩模孔所开本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀用金属掩模，具备沿着第一方向以及与上述第一方向正交的第二方向排列的多个掩模孔，其中，上述蒸镀用金属掩模具备第一面和第二面，各上述掩模孔具有在上述第一面上开口的第一开口以及在上述第二面上开口的第二开口，对各上述掩模孔进行划分的上述蒸镀用金属掩模的要素，由在上述第一方向上相互对置的2个第一掩模要素以及在上述第二方向上相互对置的2个第二掩模要素构成，上述第一掩模要素与上述掩模孔沿着上述第一方向各一个地交替反复，并且，上述第二掩模要素与上述掩模孔沿着上述第二方向各一个地交替反复，上述第一掩模要素沿着上述第一方向具有的宽度，小于上述第二掩模要素沿着上述第二方向具有的宽度，在与上述第一方向正交...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.15 JP 2016-0825161.一种蒸镀用金属掩模，具备沿着第一方向以及与上述第一方向正交的第二方向排列的多个掩模孔，其中，上述蒸镀用金属掩模具备第一面和第二面，各上述掩模孔具有在上述第一面上开口的第一开口以及在上述第二面上开口的第二开口，对各上述掩模孔进行划分的上述蒸镀用金属掩模的要素，由在上述第一方向上相互对置的2个第一掩模要素以及在上述第二方向上相互对置的2个第二掩模要素构成，上述第一掩模要素与上述掩模孔沿着上述第一方向各一个地交替反复，并且，上述第二掩模要素与上述掩模孔沿着上述第二方向各一个地交替反复，上述第一掩模要素沿着上述第一方向具有的宽度，小于上述第二掩模要素沿着上述第二方向具有的宽度，在与上述第一方向正交的截面中，上述第一掩模要素的厚度的极小值与上述第二掩模要素的厚度的极大值之比为70％以上，在各上述掩模孔中，与上述第一方向正交的截面中的上述掩模孔的宽度为掩模孔宽度，在上述第一开口...

【专利技术属性】
技术研发人员：石渡宏平，西刚广，
申请(专利权)人：凸版印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP