液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法技术

本发明专利技术公开一种液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法，包括包括一备置步骤、一涂布步骤、一光阻涂布步骤、一曝光步骤、一清洗步骤及一光阻去除步骤。利用聚酰亚胺薄膜选择性地涂布在一基板的涂布区，用以实现平坦层的沟槽，同时免除APR板转印的工序。

【技术实现步骤摘要】
液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法
本专利技术是有关于一种涂布方法，特别是有关于一种液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法。
技术介绍
液晶显示装置(LCD，LiquidCrystalDisplay)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示装置，其包括液晶显示面板及背光模组(backlightmodule)。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的基板当中放置液晶分子，通过基板通电与否来控制液晶分子改变方向，将背光模组的光线折射出来产生画面。通常液晶显示面板由彩膜基板(CF，ColorFilter)、薄膜晶体管基板(TFT，ThinFilmTransistor)、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LC，LiquidCrystal)及密封胶框(Sealant)组成。液晶显示面板通常会在薄膜晶体管基板及彩膜基板上涂布聚酰亚胺(PI，Polyimide)液，并在聚酰亚胺上通过摩擦(Rubbing)或光蚀刻技术形成预倾角，从而给液晶分子提供一个承载的角度。现有技术中的聚酰亚胺涂布工艺主要通过以下方式：将聚酰亚胺液均匀地分布在配向版(APR版)上，然后通过配向版把聚酰亚胺液通过辊筒(Roller)转印到薄膜晶体管或者彩膜基板上，同时薄膜晶体管或者彩膜基板于平面内移动移动，进而完成聚酰亚胺的涂布。然而，由于转印装置包含调节辊、传墨辊以及APR版，结构复杂、成本高且易于磨损。受限于APR版的结构，使得取向膜的涂布过程难以实现定量控制，取向膜的均匀性存在偏差，而且在转印过程中，存在有PI液外溢到IC区的风险。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法，利用聚酰亚胺薄膜选择性地涂布在基板的涂布区，用以实现平坦层的沟槽，同时免除APR板转印的工序。为达成本专利技术的前述目的，本专利技术一实施例提供一种液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法，所述聚酰亚胺涂布方法包括一备置步骤、一涂布步骤、一光阻涂布步骤、一曝光步骤、一清洗步骤及一光阻去除步骤；在所述备置步骤中，提供多个喷嘴及一基板，其中所述基板具有至少一涂布区及至少一芯片区；在所述涂布步骤中，利用所述喷嘴将一聚酰亚胺液喷涂至所述基板上，使得所述聚酰亚胺液均布于所述基板上而形成一聚酰亚胺薄膜；在所述光阻涂布步骤中，将一光刻胶涂布在所述基板上，使得所述光刻胶均布于所述聚酰亚胺薄膜上而形成一光阻层；在所述曝光步骤中，将一光罩放置于所述光阻层的上方，并且将一曝光光源设置在所述光罩上方，接着对所述光阻层进行曝光显影而形成至少一光阻层开口，其中所述光阻层开口曝露至少一局部聚酰亚胺薄膜，所述局部聚酰亚胺薄膜对应所述基板的所述芯片区；在所述清洗步骤中，利用一溶剂将所述局部聚酰亚胺薄膜去除，使所述基板的所述芯片区曝露；在所述光阻去除步骤中，将曝光显影之后剩余的所述光阻层去除，以曝露位于所述基板的所述涂布区上的所述聚酰亚胺薄膜。在本专利技术的一实施例中，在所述备置步骤中，所述喷嘴紧密平齐的排列成一整排，使所述喷嘴的排列长度与所述基板的宽度相等。在本专利技术的一实施例中，在所述涂布步骤中，所述喷嘴按照一设定流量将所述聚酰亚胺液喷涂至所述基板上，并同时移动所述基板。在本专利技术的一实施例中，在所述涂布步骤中，通过一刮刀对均布于所述基板上所述聚酰亚胺薄膜进行修型，使所述基板上的所述聚酰亚胺薄膜的一表面均匀平整。在本专利技术的一实施例中，在所述光阻涂布步骤中，所述光阻层是通过动态喷洒法、刷法、旋涂法或浸泡法而形成。在本专利技术的一实施例中，在所述曝光步骤中，所述曝光光源为一离子束或一高压汞灯。在本专利技术的一实施例中，在所述清洗步骤中，所述溶剂为N-甲基吡咯烷酮(NMP)、Y-丁内酯(GBL)、碳酸丁酯(BC)、或其混合溶剂。在本专利技术的一实施例中，在所述备置步骤中，所述基板为一薄膜晶体管基板或一彩膜基板。在本专利技术的一实施例中，在所述光阻去除步骤中，采用至少一种有机溶剂对所述光阻层进行湿法刻蚀，以去除曝光显影之后剩余的所述光阻层。在本专利技术的一实施例中，所述有机溶剂包含异甲基醚丙二醇、乙酸丙二醇异甲基醚酯或乙醇胺。如上所述，本专利技术液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法以曝光的方式将所述聚酰亚胺薄膜选择性地涂布在所述基板的涂布区，用以实现平坦层(PLN)的沟槽，同时免除APR板转印的工序，从而避免出现铟锡氧化物(ITO)残留，以及降低在APR版转印的制程中PI液外溢到IC区域等风险。附图说明图1是本专利技术液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法的一优选实施例的一流程图。图2是本专利技术液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法的一优选实施例在备置步骤的一示意图。图3是本专利技术液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法的一优选实施例在涂布步骤的一示意图。图4是本专利技术液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法的一优选实施例在光阻涂布步骤的一示意图。图5是本专利技术液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法的一优选实施例在曝光步骤的一示意图。图6是本专利技术液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法的一优选实施例在清洗步骤的一示意图。图7是本专利技术液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法的一优选实施例在光阻去除步骤的一示意图。具体实施方式以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。再者，本专利技术所提到的方向用语，例如上、下、顶、底、前、后、左、右、内、外、侧面、周围、中央、水平、横向、垂直、纵向、轴向、径向、最上层或最下层等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。请参照图1所示，为本专利技术液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法的一优选实施例的一流程图。所述液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法包括一备置步骤S201、一涂布步骤S202、一光阻涂布步骤S203、一曝光步骤S204、一清洗步骤S205及一光阻去除步骤S206，本专利技术将于下文详细说明各实施例上述各组件的关系及其运作原理。请参照图1及2所示，在所述备置步骤S201中，提供多个喷嘴(未绘示)以及一基板2，其中所述基板2具有至少一涂布区21及至少一芯片区22；在本实施例中，所述喷嘴紧密平齐的排列成一整排，使所述喷嘴的排列长度与所述基板2的宽度相等，另外，所述基板2为一薄膜晶体管基板或一彩膜基板。请参照图1及3所示，在所述涂布步骤S202中，利用所述喷嘴将一聚酰亚胺液喷涂至所述基板2上，使得所述聚酰亚胺液均布于所述基板2上而形成一聚酰亚胺薄膜3。在本实施例中，所述喷嘴是按照一设定流量将所述聚酰亚胺液喷涂至所述基板2上，并同时移动所述基板2。另外，通过一刮刀(未绘示)对均布于所述基板2上所述聚酰亚胺薄膜3进行修型，使所述基板2上的所述聚酰亚胺薄膜3的一表面均匀平整。请参照图1及4所示，在所述光阻涂布步骤S203中，将一光刻胶涂布在所述基板2上，使得所述光刻胶均布于所述聚酰亚胺薄膜3上而形成一光阻层4；在本实施例中，所述光阻层4是通过动态喷洒法、刷法、旋涂法或浸泡法而形成。请参照图1及5所示，在所述曝光步骤S204中，将一光罩(未绘示)放置于所述光阻层4的上方，并且将一曝光光源设置在所述光罩上方，接着对所述光阻层4进行曝光显影而形成至少一光阻层开口41，其中所述光阻层开口41曝露至少一局部聚酰亚胺薄膜31，所述局部聚酰亚胺薄膜31对应所述基板2的所述芯片区22(见本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法，其特征在于：所述聚酰亚胺涂布方法包括步骤：一备置步骤，提供多个喷嘴及一基板，其中所述基板具有至少一涂布区及至少一芯片区；一涂布步骤，利用所述喷嘴将一聚酰亚胺液喷涂至所述基板上，使得所述聚酰亚胺液均布于所述基板上而形成一聚酰亚胺薄膜；一光阻涂布步骤，将一光刻胶涂布在所述基板上，使得所述光刻胶均布于所述聚酰亚胺薄膜上而形成一光阻层；一曝光步骤，将一光罩放置于所述光阻层的上方，并且将一曝光光源设置在所述光罩上方，接着对所述光阻层进行曝光显影而形成至少一光阻层开口，其中所述光阻层开口曝露至少一局部聚酰亚胺薄膜，所述局部聚酰亚胺薄膜对应所述基板的所述芯片区；一清洗步骤，利用一溶剂将所述局部聚酰亚胺薄膜去除，使所述基板的所述芯片区曝露；及一光阻去除步骤，将曝光显影之后剩余的所述光阻层去除，以曝露位于所述基板的所述涂布区上的所述聚酰亚胺薄膜。

【技术特征摘要】
1.一种液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法，其特征在于：所述聚酰亚胺涂布方法包括步骤：一备置步骤，提供多个喷嘴及一基板，其中所述基板具有至少一涂布区及至少一芯片区；一涂布步骤，利用所述喷嘴将一聚酰亚胺液喷涂至所述基板上，使得所述聚酰亚胺液均布于所述基板上而形成一聚酰亚胺薄膜；一光阻涂布步骤，将一光刻胶涂布在所述基板上，使得所述光刻胶均布于所述聚酰亚胺薄膜上而形成一光阻层；一曝光步骤，将一光罩放置于所述光阻层的上方，并且将一曝光光源设置在所述光罩上方，接着对所述光阻层进行曝光显影而形成至少一光阻层开口，其中所述光阻层开口曝露至少一局部聚酰亚胺薄膜，所述局部聚酰亚胺薄膜对应所述基板的所述芯片区；一清洗步骤，利用一溶剂将所述局部聚酰亚胺薄膜去除，使所述基板的所述芯片区曝露；及一光阻去除步骤，将曝光显影之后剩余的所述光阻层去除，以曝露位于所述基板的所述涂布区上的所述聚酰亚胺薄膜。2.如权利要求1所述的液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法，其特征在于：在所述备置步骤中，所述喷嘴紧密平齐的排列成一整排，使所述喷嘴的排列长度与所述基板的宽度相等。3.如权利要求1所述的液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法，其特征在于：在所述涂布步骤中，所述喷嘴按照一设定流量将所述聚酰亚胺液...

【专利技术属性】
技术研发人员：余朋飞，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42