一种掩膜板更换装置及更换方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种掩膜板更换装置及更换方法，掩膜板更换装置包括用于承载掩膜板的基板架、设置于基板架上用于选择性锁紧或松开掩膜板的自动锁紧机构和设置于基板架下方用于托举掩膜板的托盘，所述基板架包括托盘孔，所述托盘可选择性的进出所述托盘孔以将所述掩膜板托起或放下。本发明专利技术通过夹持机构传送掩膜板置于托盘上，托盘将其置于基板架上，定位销定位相对螺纹固定减少掩膜板的磨损，自动锁紧机构不仅固定稳定有效，而且操作简便。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板更换装置及更换方法
本专利技术涉及一种溅射镀膜机，更具体的说，涉及一种溅射镀膜机的掩膜板更换装置及更换方法。
技术介绍
溅射镀膜机广泛运用于TP、LCD、OLED的镀膜制程中，在镀膜制程中，有很多成膜制程不需要整个基板都成膜，而是在溅射镀膜时使用掩膜板及其配套的紧密对位系统来沉积特定形状的膜层，且不同的产品类型使用不同的掩膜板。每次产品型号被更换时，与之相对应的掩膜板也会被更换，并且每次更换完要保证掩膜板与基板架的相对位置在成膜的过程中保持不变，才能生产出所需的特定薄膜图案。随着新技术的发展，有掩膜板以及对位系统的卧式磁控溅射镀膜机的应用也会越来越广泛，比如磁控溅射镀膜机的的薄膜沉积过程中，需要用基板架承载玻璃基板水平运动，OLED的阴极也会用到溅镀的方式，TP消影层也会用到这种镀膜机，溅射镀膜机中的基板架不仅要承接掩膜板和玻璃基板，而且在沉积薄膜的过程中相对位置要保持不变。目前使用掩膜板的卧式磁控溅射镀膜机上的基板架的使用方法是在基板架上制作特定形状的孔，在孔的正上方装上所需掩膜板，然后在掩膜板四周用螺丝将掩膜板锁紧在基板架上，随后在掩膜板上装载基板，用基板夹具夹紧基板开始成膜。更换产品型号时，从真空腔体取出基板架然后更换掩膜板，掩膜板用螺丝锁在基板架上，每次更换型号时需要从真空状态下取出，更换完成后再重新装回机台抽真空。尤其对单腔体镀膜来说，每次更换需要3小时以上，对连续镀膜机而言，更换同样浪费时间，且每次从机台取基板架都要用基板架台车，增加了设备成本和危险系数。由于紧固螺丝比较多，每个掩膜板更换很浪费时间，且多次更换紧固螺丝会使掩膜板失效，需要更换新的掩膜板，增加成本；整个更换的过程都是手动工作完成，效率低下。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种能够在真空环境下高效、安全地更换并固定掩膜板且不会使掩膜板失效的掩膜板更换装置及更换方法。在一个总体方面，提供了一种掩膜板更换装置，包括用于承载掩膜板的基板架、设置于基板架上用于选择性锁紧或松开掩膜板的自动锁紧机构和设置于基板架下方用于托举掩膜板的托盘，所述基板架包括托盘孔，所述托盘可选择性地进出所述托盘孔以将所述掩膜板托起或放下。优选的，所述掩膜板上至少有两个分别布置在掩膜板两相对侧的定位孔，所述基板架包括用于插设于所述定位孔内对掩膜板进行水平限位的定位销。优选的，所述自动锁紧机构包括锁杆、锁壳、松开按钮、第一弹簧、第二弹簧和锁芯，所述锁壳相对的两个侧面和顶部均设有通孔，所述锁杆的两端可滑动地穿设于所述锁壳相对的两个侧面上的通孔内，所述锁杆中部设置有环状凸台，所述第一弹簧一端与所述环状凸台抵接，另一端与所述锁壳的内侧面抵接，所述锁杆靠近掩膜板的一端可选择性地与所述掩膜板抵接或分离；所述环状凸台上设置有锁芯槽，所述锁芯位于所述锁芯槽内并随着锁杆在所述锁壳内滑动，所述第二弹簧一端与所述锁芯抵接，另一端与所述锁芯槽的底面抵接，当所述锁杆朝所述掩膜板移动至所述锁芯位于锁壳顶部的通孔下方时，所述锁芯在第二弹簧的推动下进入所述锁壳顶部的通孔内，限制所述锁杆的移动，所述松开按钮一端位于锁壳顶部的通孔内，用于将进入锁壳顶部的通孔内的锁芯推出。优选的，所述自动锁紧机构数目至少为两个，设置在所述托盘孔的两相对侧，用于锁紧和松开掩膜板。优选的，所述自动锁紧机构还包括与所述锁杆远离所述金属掩膜版的一端抵接，用于推动所述锁杆的锁紧驱动机构和与所述松开按钮远离所述锁壳顶部的通孔的一端抵接，用于推动所述松开按钮的松开驱动机构。优选的，所述自动锁紧机构还包括夹持机构，所述夹持机构可选择性的将所述掩膜板放置于所述托盘上或从所述托盘上取下所述掩膜板。在另一个总体方面，提供了一种掩膜板更换方法，包括：S01、自动锁紧机构松开掩膜板；S02、托盘上升托起掩膜板；S03、夹持机构取下托盘上的掩膜板；S04、夹持机构将待换的掩膜板放置于托盘上；S05、托盘下降将掩膜板放置于基板架上；S06、自动锁紧机构锁紧掩膜板。优选的，在所述步骤S01中，具体包括：所述松开驱动机构推动松开按钮将锁芯从锁壳顶部的通孔内挤出，在第一弹簧的推力作用下，锁杆与掩膜板分离。优选的，在所述步骤S06中，具体包括：所述锁紧驱动机构推动锁杆向所述掩膜板推进至与掩膜板抵接，当锁芯经过锁壳顶部的通孔时，在第二弹簧的作用下锁芯插入通孔内，实现对锁杆长度方向的限位。本专利技术提供了一种能够在真空环境下高效、安全的更换并固定掩膜板且不会使掩膜板失效的掩膜板更换装置及更换方法，通过夹持机构传送掩膜板置于托盘上，托盘将其置于基板架上，定位销定位相对螺纹固定减少掩膜板的磨损，自动锁紧机构不仅固定稳定有效，而且操作简便。附图说明图1是本专利技术的掩膜板更换装置俯视结构示意图；图2是本专利技术的掩膜板更换装置剖面结构示意图；图3是本专利技术的托盘托举掩膜板状态下的掩膜板更换装置的剖面结构示意图；图4是本专利技术的掩膜板放置在基板架上的掩膜板更换装置的剖面结构示意图；图5是本专利技术的自动锁紧机构松开状态下的掩膜板更换装置的剖面结构示意图；图6是本专利技术的自动锁紧机构锁紧状态下的掩膜板更换装置的剖面结构示意图。具体实施方式本专利技术所要解决的问题在于如何有效的提高掩膜板的更换速率并在更换过程中减少对掩膜板的损伤，提高镀膜效率。下面将结合附图对本专利技术的实施例做详细说明。如图1-4所示，本实施例的掩膜板更换装置包括用于承载掩膜板4的基板架1、设置于基板架1上用于选择性锁紧或松开掩膜板4的自动锁紧机构2和设置于基板架1下方用于托举掩膜板4的托盘3，所述基板架1包括托盘孔12，所述托盘3可选择性的进出所述托盘孔12以将所述掩膜板4托起或放下，为方便掩膜板的更换，托盘直接穿过托盘孔12将掩膜板4托起，然后托举至掩膜板4与基板架1分离，也可以将掩膜板4平稳地放置在基板架1上，使掩膜板4与基板架1配合固定，当掩膜板4与基板架1固定好，自动锁紧机构2将掩膜板4锁死，掩膜板4在基板架1上不会发生移动，整个更换过程不再需要将基板架拆卸下来，节省时间。作为一种优选的实施方式，所述掩膜板4上至少有两个分别布置在掩膜板4两相对侧的定位孔41，所述基板架1包括用于插设于所述定位孔41内对掩膜板进行水平限位的定位销11，利用销与孔的配合，可以准确地确定掩膜板4的位置，同时销孔配合可以一步到位，在配合过程中产生的摩擦比螺纹连接产生的摩擦小，对掩膜板的损耗较小。如图5和图6所示，作为一种优选的实施方式，所述自动锁紧机构2包括锁杆21、锁壳22、松开按钮23、第一弹簧24、第二弹簧25和锁芯26，所述锁壳22为一个具有内部容纳空间的长方体，其长度方向上相对的两个侧面和其顶部均设有通孔，所述锁杆21穿过所述锁壳22长度方向上相对的两个侧面上的通孔且两端均位于所述锁壳22的外部，所述锁杆21可在所述锁壳22两个侧面上的通孔内滑动，所述锁杆21中部设置有环状凸台，所述第一弹簧24一端与所述环状凸台抵接，另一端与所述锁壳22的内侧面抵接，当外力推动所述锁杆21时，所述锁杆21会朝着掩膜板4移动，直至所述锁杆21靠近掩膜板4的一端与掩膜板4抵接，当卸去外力，在第一弹簧弹力的作用下，所述锁杆21会与所述掩膜板4分离。作为一种优选的实施方式，所述锁杆21中间设置有锁芯槽，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板更换装置，其特征在于，包括用于承载掩膜板(4)的基板架(1)、设置于基板架(1)上用于选择性锁紧或松开掩膜板(4)的自动锁紧机构(2)和设置于基板架(1)下方用于托举掩膜板的托盘(3)，所述基板架(1)包括托盘孔(12)，所述托盘(3)可选择性地进出所述托盘孔(12)以将所述掩膜板(4)托起或放下。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板更换装置，其特征在于，包括用于承载掩膜板(4)的基板架(1)、设置于基板架(1)上用于选择性锁紧或松开掩膜板(4)的自动锁紧机构(2)和设置于基板架(1)下方用于托举掩膜板的托盘(3)，所述基板架(1)包括托盘孔(12)，所述托盘(3)可选择性地进出所述托盘孔(12)以将所述掩膜板(4)托起或放下。2.根据权利要求1所述的掩膜板更换装置，其特征在于，所述掩膜板(4)上至少有两个分别布置在掩膜板(4)两相对侧的定位孔(41)，所述基板架(1)包括用于插设于所述定位孔(41)内对掩膜板进行水平限位的定位销(11)。3.根据权利要求1所述的掩膜板更换装置，其特征在于，所述自动锁紧机构(2)包括锁杆(21)、锁壳(22)、松开按钮(23)、第一弹簧(24)、第二弹簧(25)和锁芯(26)，所述锁壳(22)相对的两个侧面和顶部均设有通孔，所述锁杆(21)的两端可滑动地穿设于所述锁壳(22)相对的两个侧面上的通孔内，所述锁杆(21)中部设置有环状凸台，所述第一弹簧(24)一端与所述环状凸台抵接，另一端与所述锁壳(22)的内侧面抵接，所述锁杆(21)靠近掩膜板(4)的一端可选择性地与所述掩膜板(4)抵接或分离；所述环状凸台上设置有锁芯槽，所述锁芯(26)位于所述锁芯槽内并随着锁杆(21)在所述锁壳(22)内滑动，所述第二弹簧(25)一端与所述锁芯(26)抵接，另一端与所述锁芯槽的底面抵接，当所述锁杆(21)朝所述掩膜板(4)移动至所述锁芯(26)位于锁壳(22)顶部的通孔下方时，所述锁芯(26)在第二弹簧(25)的推动下进入所述锁壳(22)顶部的通孔内，限制所述锁杆(21)的移动，所述松开按钮(23)一端位于锁壳(22)顶部的通孔内，用于将进入锁壳(22)顶部的通孔内的锁...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭伟，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44