一种无尘室夹基片用的镊子制造技术

本实用新型专利技术公开了一种无尘室夹基片用的镊子,包括固定臂，固定臂下端连接有第一夹板，第一夹板末端边缘连接有第一胶条；固定臂上部连接有相互平行且垂直于的固定臂的第一导柱和第二导柱，第一导柱和第二导柱连接有活动臂，活动臂下端连接有第二夹板，第二夹板末端边缘连接有第二胶条；第一导柱外圈连接有第一弹簧，第二导柱外圈连接有第二弹簧；第一导柱靠近活动臂的末端连接有第一固定块，第二导柱靠近活动臂的末端连接有第二固定块。本实用新型专利技术具有夹持尺寸变化幅度较大的基片侧边时不需要更换镊子，不会发生崩边、污染基片表面的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种无尘室夹基片用的镊子
本技术涉及一种无尘室夹基片用的镊子。
技术介绍
在无尘室中进行微电子器件、MEMS器件等研发时经常使用镊子夹持基片。目前，无尘室夹基片用的镊子是靠镊子臂的旋转运动夹紧基片的，夹持方法有夹持基片的上下表面和夹持基片的侧边两种。夹持基片上下表面的方法，因为两个夹臂之间夹角较小可以对不同尺寸的基片进行牢固的夹持，但是由于镊子与基片上表面直接接触容易造成基片表面的污染或划伤。夹持基片侧边的方法，可以避免基片表面因镊子的直接接触而污染或划伤，但是存在以下两个问题：一方面，对于尺寸差异较大的基片需要更换不同尺寸的镊子，否则容易出现两个夹臂之间夹角过大，镊子臂与基片侧边接触面积较小，造成基片滑落；另一方面，即使使用合适尺寸的镊子，如果操作不当，夹持压力过大时仍会给基片侧边的尖锐棱边造成较大的局部应力而发生基片崩边，基片崩边产生的碎屑会污染基片上表面。因此现有的无尘室夹基片用的镊子存在夹持尺寸变化幅度较大的基片侧边时需要更换镊子和操作不当会发生崩边、污染基片表面的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种无尘室夹基片用的镊子。本技术具有夹持尺寸变化幅度较大的基片侧边时不需要更本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无尘室夹基片用的镊子，其特征在于：包括固定臂(1)，固定臂(1)下端连接有第一夹板(2)，第一夹板(2)末端边缘连接有第一胶条(3)；固定臂(1)上部连接有相互平行且垂直于的固定臂(1)的第一导柱(4)和第二导柱(5)，第一导柱(4)和第二导柱(5)连接有活动臂(8)，活动臂(8)下端连接有第二夹板(9)，第二夹板(9)末端边缘连接有第二胶条(10)；第一导柱(4)外圈设有第一弹簧(6)，第二导柱(5)外圈设有第二弹簧(7)；第一导柱(4)靠近活动臂(8)的末端连接有第一固定块(11)，第二导柱(5)靠近活动臂(8)的末端连接有第二固定块(12)。

【技术特征摘要】
1.一种无尘室夹基片用的镊子，其特征在于：包括固定臂(1)，固定臂(1)下端连接有第一夹板(2)，第一夹板(2)末端边缘连接有第一胶条(3)；固定臂(1)上部连接有相互平行且垂直于的固定臂(1)的第一导柱(4)和第二导柱(5)，第一导柱(4)和第二导柱(5)连接有活动臂(8)，活动臂(8)下端连接有第二夹板(9)，第二夹板(9)末端边缘连接有第二胶条(10)；第一导柱(4)外圈设有第一弹簧...

【专利技术属性】
技术研发人员：林峰，
申请(专利权)人：湖州正鸣塑胶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33