【技术实现步骤摘要】
一种用于量子阱探测器的微腔阵列耦合结构
本技术涉及一种半导体光子探测器，尤其涉及一种用于量子阱探测器的微腔阵列耦合结构。
技术介绍
太赫兹(Terahertz，THz)波通常是指频率从100GHz到10THz，相应波长在3mm到30μm范围内，介于毫米波与红外光之间的电磁波。THz波在电磁波谱中占有特殊的位置，处于电子学向光子学的过渡区域，其长波端与亚毫米波相重合，而短波端与远红外波段相重合，THz波技术在信息通信
、生物医学、太空探测以及全球性环境检测领域都具有非常广泛的应用潜力。然而，由于缺乏有效的辐射源和探测器，对THz波段的研究和应用发展还处于初期起步的阶段。因此，THz技术应用发展的关键在于制作经济、高效的辐射源和探测器。THz探测器是太赫兹技术应用的核心部件。按照探测的原理可以分为热探测器和光子型探测器两大类。常见的THz热探测器主要包括：Golaycell、焦热电探测器、硅Bolometer探测器等。常见的THz光子探测器主要包括：掺杂高纯硅、锗的半导体低温探测器、肖特基二极管和高迁移率晶体管等离子体波THz常温探测器、基于子带间跃迁的太赫兹量...
【技术保护点】
1.一种用于量子阱探测器的微腔阵列耦合结构，其特征在于，所述耦合结构包括：多个呈阵列分布的微腔单元以及一位于所述微腔单元下方的衬底，其中，每个所述微腔单元包括：一上金属电极，以及一设置在所述上金属电极的下表面上的所述量子阱探测器中的外延层，该外延层的几何尺寸与所述上金属电极的几何尺寸相同；所有所述微腔单元还包括：一共用的供所述外延层设置于其上的下金属电极板，该下金属电极板设置在所述衬底的上表面上；每一列的多个所述微腔单元通过微腔连接线依次串联；其中，所述上金属电极为亚波长贴片天线。
【技术特征摘要】
1.一种用于量子阱探测器的微腔阵列耦合结构，其特征在于，所述耦合结构包括：多个呈阵列分布的微腔单元以及一位于所述微腔单元下方的衬底，其中，每个所述微腔单元包括：一上金属电极，以及一设置在所述上金属电极的下表面上的所述量子阱探测器中的外延层，该外延层的几何尺寸与所述上金属电极的几何尺寸相同；所有所述微腔单元还包括：一共用的供所述外延层设置于其上的下金属电极板，该下金属电极板设置在所述衬底的上表面上；每一列的多个所述微腔单元通过微腔连接线依次串联；其中，所述上金属电极为亚波长贴片天线。2.根据权利要求1所述的用于量子阱探测器的微腔阵列耦合结构，其特征在于，所述上金属电极和下金属电极板均采用非合金化的Ti和Au或者采用连续生长的Pd、Ge、Ti和Au制...
【专利技术属性】
技术研发人员：张真真，万文坚，黎华，符张龙，李子平，仲雨，曹俊诚，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：新型
国别省市：上海,31
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