【技术实现步骤摘要】
一种防止静电卡盘和基板受到损伤的基板处理装置
本技术涉及一种基板处理装置，尤其涉及一种防止静电卡盘和基板受到损伤的基板处理装置。
技术介绍
随着信息化社会的发展，产生了针对传统CRT重量和体积过大的缺点进行改善的视频显示装置方面的技术开发要求。因此，LCD（以下称液晶显示装置）、OLED（以下称有机发光二极管），PDP等几种平板显示装置作为新的视频显示装置受到很多关注。这些平板显示装置通常是在由玻璃等材质构成的基板上反复进行蒸镀、曝光、蚀刻等各种工艺，形成几㎛细的线宽构筑的图形。这时，因上述图形线宽只有几㎛，所以为了在整块基板上形成均一的模式，在工艺进行过程中将基板进行固定，使其不会发生位置变动是非常重要的。虽然，利用真空力的真空吸附方法作为固定基板的方法被广泛使用中，但也产生了在真空环境中进行制造工艺时，无法通过真空力固定基板的问题。为了解决这样的问题，为了在真空状态下进行工艺时固定基板，提出了利用静电力的静电卡盘方案并在进行使用。这样的静电卡盘上必须要有控制电源的金属电极。但是，传统的静电卡盘用的金属电极在接通电源时，金属电极上部的棱角部分电子密度大幅增加，会...
【技术保护点】
1.一种防止静电卡盘和基板受到损伤的基板处理装置，包括腔室（1），其特征在于:腔室（1）侧壁开设有基板出入孔（2），所述腔室（1）底部开设有排出口（3），所述腔室（1）顶部固定连接有气体喷射装置（9），所述气体喷射装置（9）正下方设有静电卡盘（4），所述静电卡盘（4）包括固定底座（401）、绝缘层（402）、导电层（403）、电介质层（404）和电极棒（5），所述固定底座（401）中部贯通开设有结合孔（8），所述结合孔（8）内部插设有电极棒（5），所述电极棒（5）包括绝缘辅材（501）和金属电极（502），所述金属电极（502）电气连接有电源（7）；所述金属电极（502）包...
【技术特征摘要】
1.一种防止静电卡盘和基板受到损伤的基板处理装置，包括腔室（1），其特征在于:腔室（1）侧壁开设有基板出入孔（2），所述腔室（1）底部开设有排出口（3），所述腔室（1）顶部固定连接有气体喷射装置（9），所述气体喷射装置（9）正下方设有静电卡盘（4），所述静电卡盘（4）包括固定底座（401）、绝缘层（402）、导电层（403）、电介质层（404）和电极棒（5），所述固定底座（401）中部贯通开设有结合孔（8），所述结合孔（8）内部插设有电极棒（5），所述电极棒（5）包括绝缘辅材（501）和金属电极（502），所述金属电极（502）电气连接有电源（7）；所述金属电极（502）包括斜切面（504）、水平面（505）和侧面（506），所述侧面（506）为闭曲面，所述侧面（506）与水平面（505）通过斜切面（504）相连接，所述水平面（505）与斜切面（504）、斜切面（504）与侧面（506）之间形成的夹角为钝角，所述侧面（506）和金属电极（502）中心轴之间的距离由上至下逐渐增大，所述金属电极（502）下部形成凸缘部（503）；所述金属电极（502）与绝缘辅材（501）通过粘结剂固定连接；所述固定底座（401）上端面固定连接有...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄相伍，李昌镐，
申请(专利权)人：合肥微睿光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34
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