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本实用新型涉提供了一种防止静电卡盘和基板受到损伤的基板处理装置，包括腔室，腔室侧壁开设有基板出入孔，腔室底部开设有排出口，腔室顶部固定连接有气体喷射装置，气体喷射装置正下方设有静电卡盘，静电卡盘包括固定底座，固定底座中部贯通开设有结合孔，结...
该专利属于合肥微睿光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥微睿光电科技有限公司授权不得商用。

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