一种晶圆切割设备制造技术

本发明专利技术涉及半导体制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆切割设备，增强粉末清理效果；方便使用者操作；提高操作速度；包括切割台、夹紧机构、抽风机和操作机构，切割台上方设置有第一抽风管；还包括锥形收集罩、重力除尘箱、阻流板、聚集槽、第二抽风管、过渡管、第三抽风管、上固定环、下固定环、一组上支撑杆、一组下支撑杆、过滤布袋、抽拉杆、第一连接杆和第二连接杆；还包括上底座、下底座、一组上滑块、一组下滑块、一组上滚珠、一组下滚珠、上螺纹杆、下螺纹杆和一组把手；还包括限位杆、旋转杆、左螺纹杆和加长杆。

A Wafer Cutting Equipment

The invention relates to the technical field of semiconductor manufacturing accessory devices, in particular to a wafer cutting device, which enhances powder cleaning effect, facilitates user operation, improves operation speed, including a cutting table, clamping mechanism, exhaust fan and operation mechanism, with a first air exhaust pipe above the cutting table, and also includes conical collection. Cover, gravity dedusting box, choke plate, aggregation groove, second suction pipe, transition pipe, third suction pipe, upper fixed ring, lower fixed ring, a group of upper support rods, a group of lower support rods, filter bag, pull rod, the first connecting rod and the second connecting rod; it also includes upper base, lower base, a group of upper sliders, a group of lower sliders. A group of upper balls, a group of lower balls, upper threaded rods, lower threaded rods and a group of handles; also includes limit rods, rotary rods, left threaded rods and elongation rods.

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割设备
本专利技术涉及半导体制造附属装置的
，特别是涉及一种晶圆切割设备。
技术介绍
众所周知，晶圆切割设备是一种用于对晶圆进行不同尺寸切割的辅助设备，其在半导体制造的领域中得到了广泛的使用；现有的晶圆切割设备包括切割台、夹紧机构、抽风机和操作机构，夹紧机构和操作机构均安装在切割台顶侧壁上，切割台上方设置有第一抽风管，第一抽风管输出端设置有抽风机；现有的晶圆切割设备使用时，使用者将第一抽风管输入端放置于切割台上方，使用夹紧机构对需切割晶圆夹紧，然后通过操作机构控制切割设备进行切割，使用者使抽风机与外界电源连接，在抽风机吸引力的作用下，切割时产生的粉末沿第一抽风管被抽出；现有的晶圆切割设备使用中发现，切割时产生的粉末清理效果差，并且回收利用率较低；夹紧机构不能随使用者移动而转动，使用局限性较高；操作机构较难旋转，操作速度较慢，工作效率较低。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提供一种增强粉末清理效果，提高回收利用率；方便使用者操作，降低使用局限性；提高操作速度，提高工作效率的晶圆切割设备。本专利技术的一种晶圆切割设备，包括切割台、夹紧机构、抽风机和操作机构，切割台上方设置有第一抽风管；还包括锥形收集罩、重力除尘箱、阻流板、聚集槽、第二抽风管、过渡管、第三抽风管、上固定环、下固定环、一组上支撑杆、一组下支撑杆、过滤布袋、抽拉杆、第一连接杆和第二连接杆，所述锥形收集罩中央区域横向设置有收集孔，所述锥形收集罩底侧壁与切割台顶侧壁接触，所述切割台内部设置有抽拉腔，切割台右侧壁设置有抽拉口，抽拉口与抽拉腔连通，所述第一连接杆左侧壁和右侧壁分别与锥形收集罩右侧壁下半区域和第二连接杆左侧壁顶部连接，所述第二连接杆底侧壁与抽拉杆顶侧壁右端连接，所述抽拉杆插入到抽拉腔中，所述第一收集管输入端与锥形收集罩右侧壁连通，所述重力除尘箱内部设置有除尘腔，重力除尘箱顶侧壁左半区域、右侧壁顶部和底侧壁中央区域分别设置有进气口、出气口和过渡口，进气口、出气口和过渡口均与除尘腔连通，所述第一抽风管输出端密封安装在进气口处，所述聚集槽内部设置有聚集腔，聚集槽顶部中央区域设置有聚集口，聚集口与聚集腔连通，所述聚集槽螺装至重力除尘箱底部，过渡口与聚集口连通，所述阻流板顶侧壁与重力除尘箱内顶侧壁中央区域连接，所述第二抽风管输入端密封安装在出气口处，所述第二抽风管输出端与过渡管输入端连通，所述上固定环和下固定环外侧壁分别与过渡管内侧壁上半区域和下半区域连接，所述一组上支撑杆顶侧壁和底侧壁分别与上固定环底侧壁和下固定环顶侧壁连接，一组上支撑杆脱离过渡管内侧壁，所述过滤布袋内部设置有过滤腔，过滤布袋顶部设置有过滤口，过滤口与过滤腔连通，所述过滤布袋外侧壁顶部与上固定环内侧壁密封连接，所述一组上支撑杆外侧壁与过滤布袋外侧壁部分连接，所述过滤布袋外侧壁底部与下固定环内侧壁部分连接，所述第三抽风管输入端和输出端分别与第二抽风管输出端和抽风机输入端连通，所述一组下支撑杆顶侧壁左端和右端均与下固定环内侧壁连接；还包括上底座、下底座、一组上滑块、一组下滑块、一组上滚珠、一组下滚珠、上螺纹杆、下螺纹杆和一组把手，所述一组下滑块底侧壁分别与切割台顶侧壁前半区域和后半区域连接，所述一组下滑块顶侧壁、前侧壁和后侧壁中央区域分别设置有一组下弧形放置槽，所述上底座底侧壁分别设置有一组下卡装槽，一组下卡装槽顶侧壁、前侧壁和后侧壁分别设置有一组上弧形放置槽，所述一组下滑块上半区域分别插入到一组下卡装槽内，所述一组下滚珠分别位于一组下弧形放置槽内和一组上弧形放置槽内，所述一组上滑块分别安装在下底座顶侧壁左半区域和右半区域，所述一组上滑块左侧壁、右侧壁和顶侧壁分别设置有一组下弧形盛放槽，所述上底座底侧壁分别设置有一组上卡装槽，所述一组上滑块上半区域分别插入到一组上卡装槽内，一组上卡装槽顶侧壁、左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有一组上弧形盛放槽，所述一组上滚珠分别位于一组下弧形盛放槽内和一组上弧形盛放槽内，所述夹紧机构安装在上底座顶侧壁，所述下底座中央区域设置有下固定孔，所述上底座中央区域横向设置有上固定孔，下固定孔和上固定孔内侧壁上分别设置有与下螺纹杆和上螺纹杆外螺纹相对应的内螺纹，所述上螺纹杆和下螺纹杆分别螺装穿过上固定孔和下固定孔，所述一组把手分别安装在上螺纹杆左侧壁和下螺纹杆前侧壁上；还包括限位杆、旋转杆、左螺纹杆和加长杆，所述限位杆底侧壁与切割台顶侧壁左端连接，所述限位杆内部设置有旋转腔，限位杆顶侧壁设置有旋转口，旋转口与旋转腔连通，所述旋转腔顶部和底部分别设置有上滚珠轴承和下滚珠轴承，所述旋转杆底端穿过上滚珠轴承和下滚珠轴承，并且上滚珠轴承和下滚珠轴承均与旋转杆键连接，所述限位杆左侧壁设置有定位孔，定位孔内部设置有与左螺纹杆外螺纹相对应的内螺纹，所述左螺纹杆螺装穿过定位孔，所述左螺纹杆左侧壁与加长杆右侧壁底部连接，旋转杆顶侧壁与操作机构底侧壁连接，旋转杆顶侧壁与操作机构底侧壁连接。本专利技术的一种晶圆切割设备，还包括透明板，所述重力除尘箱左侧壁上设置有观察口，观察口与除尘腔连通，所述透明板密封安装在观察口处。本专利技术的一种晶圆切割设备，所述过渡管输入端和输出端分别与第二抽风管输出端和第三抽风管输入端法兰连接。本专利技术的一种晶圆切割设备，还包括防滑垫，所述防滑垫安装在加长杆外侧壁上。本专利技术的一种晶圆切割设备，还包括保护盖，所述保护盖中央区域纵向设置有保护孔，所述旋转杆穿过保护盖，保护盖底侧壁与限位杆顶侧壁接触。本专利技术的一种晶圆切割设备，还包括一组防脱限位挡板，所述一组防脱限位挡板分别安装在下底座一组下卡装槽顶侧壁上和上底座一组上卡装槽顶侧壁上。本专利技术的一种晶圆切割设备，所述锥形收集槽底侧壁呈扁平状。本专利技术的一种晶圆切割设备，还包括一组外限位挡板和内限位挡板，所述一组外限位挡板安装在切割台内侧壁右端，所述内限位挡板右侧壁和抽拉杆左侧壁连接。与现有技术相比本专利技术的有益效果为：锥形收集罩与切割台顶侧壁接触，抽拉杆插入到切割台内，抽拉杆可在抽拉腔内移动，第二连接杆将第一连接杆和抽拉杆连接起来，第一连接杆与锥形收集罩连接，第一抽风管为软管，从而可通过移动抽拉杆来移动锥形收集罩的位置，以此来适应夹紧机构位置变化，在抽风机的作用下，切割产生的粉末和大块废料沿锥形集尘槽、第一抽风管运动至重力除尘箱，粉末和大块废料在挡板和重力除尘箱的作用下会突然降低流速并且改变流向，大块废料和一部分粉末由于较重脱离运动气体穿过过渡口和聚集口进入聚集槽，起到初步过滤的目的，使用者定期打开锥形收集罩清理内部粉末和大块废料，提高过滤效果，被初步过滤的气体含有少量粉末沿出气口运动至第二抽风管，然后运动至过渡管，过渡管内部安装有上固定环，并且过滤布袋外侧壁顶部密封安装在上固定环内侧壁上，从而气体只能沿过滤布袋过滤口进入过滤腔，过滤布袋底部与下固定环部分连接，同时一组支撑杆与过滤布袋外侧壁部分连接，有效阻碍过滤布袋变形，使气体可由过滤布袋侧壁通过过滤布袋，提高过滤效率，粉末在过滤布袋的作用下被过滤出去，洁净气体通过第三抽风管和抽风机被排出；切割台位置固定，一组下滑块均安装在切割台上，并且一组下滑块插入到下底座内部，一组下滚珠分别位于一组下滑块和下底座之间，一组下滚珠减小一组下滑块和下底座之间的摩擦力，使用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆切割设备，包括切割台（1）、夹紧机构（2）、抽风机（3）和操作机构（4），切割台（1）上方设置有第一抽风管（5）；其特征在于，还包括锥形收集罩（6）、重力除尘箱（7）、阻流板（8）、聚集槽（9）、第二抽风管（10）、过渡管（11）、第三抽风管（12）、上固定环（13）、下固定环（14）、一组上支撑杆（15）、一组下支撑杆（16）、过滤布袋（17）、抽拉杆（18）、第一连接杆（19）和第二连接杆（20），所述锥形收集罩（6）中央区域横向设置有收集孔，所述锥形收集罩（6）底侧壁与切割台（1）顶侧壁接触，所述切割台（1）内部设置有抽拉腔，切割台（1）右侧壁设置有抽拉口，抽拉口与抽拉腔连通，所述第一连接杆（19）左侧壁和右侧壁分别与锥形收集罩（6）右侧壁下半区域和第二连接杆（20）左侧壁顶部连接，所述第二连接杆（20）底侧壁与抽拉杆（18）顶侧壁右端连接，所述抽拉杆（18）插入到抽拉腔中，所述第一收集管输入端与锥形收集罩（6）右侧壁连通，所述重力除尘箱（7）内部设置有除尘腔，重力除尘箱（7）顶侧壁左半区域、右侧壁顶部和底侧壁中央区域分别设置有进气口、出气口和过渡口，进气口、出气口和过渡口均与除尘腔连通，所述第一抽风管（5）输出端密封安装在进气口处，所述聚集槽（9）内部设置有聚集腔，聚集槽（9）顶部中央区域设置有聚集口，聚集口与聚集腔连通，所述聚集槽（9）螺装至重力除尘箱（7）底部，过渡口与聚集口连通，所述阻流板（8）顶侧壁与重力除尘箱（7）内顶侧壁中央区域连接，所述第二抽风管（10）输入端密封安装在出气口处，所述第二抽风管（10）输出端与过渡管（11）输入端连通，所述上固定环（13）和下固定环（14）外侧壁分别与过渡管（11）内侧壁上半区域和下半区域连接，所述一组上支撑杆（15）顶侧壁和底侧壁分别与上固定环（13）底侧壁和下固定环（14）顶侧壁连接，一组上支撑杆（15）脱离过渡管（11）内侧壁，所述过滤布袋（17）内部设置有过滤腔，过滤布袋（17）顶部设置有过滤口，过滤口与过滤腔连通，所述过滤布袋（17）外侧壁顶部与上固定环（13）内侧壁密封连接，所述一组上支撑杆（15）外侧壁与过滤布袋（17）外侧壁部分连接，所述过滤布袋（17）外侧壁底部与下固定环（14）内侧壁部分连接，所述第三抽风管（12）输入端和输出端分别与第二抽风管（10）输出端和抽风机（3）输入端连通，所述一组下支撑杆（16）顶侧壁左端和右端均与下固定环（14）内侧壁连接；还包括上底座（21）、下底座（22）、一组上滑块（23）、一组下滑块（24）、一组上滚珠（25）、一组下滚珠（26）、上螺纹杆（27）、下螺纹杆（28）和一组把手（29），所述一组下滑块（24）底侧壁分别与切割台（1）顶侧壁前半区域和后半区域连接，所述一组下滑块（24）顶侧壁、前侧壁和后侧壁中央区域分别设置有一组下弧形放置槽，所述上底座（21）底侧壁分别设置有一组下卡装槽，一组下卡装槽顶侧壁、前侧壁和后侧壁分别设置有一组上弧形放置槽，所述一组下滑块（24）上半区域分别插入到一组下卡装槽内，所述一组下滚珠（26）分别位于一组下弧形放置槽内和一组上弧形放置槽内，所述一组上滑块（23）分别安装在下底座（22）顶侧壁左半区域和右半区域，所述一组上滑块（23）左侧壁、右侧壁和顶侧壁分别设置有一组下弧形盛放槽，所述上底座（21）底侧壁分别设置有一组上卡装槽，所述一组上滑块（23）上半区域分别插入到一组上卡装槽内，一组上卡装槽顶侧壁、左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有一组上弧形盛放槽，所述一组上滚珠（25）分别位于一组下弧形盛放槽内和一组上弧形盛放槽内，所述夹紧机构（2）安装在上底座（21）顶侧壁，所述下底座（22）中央区域设置有下固定孔，所述上底座（21）中央区域横向设置有上固定孔，下固定孔和上固定孔内侧壁上分别设置有与下螺纹杆（28）和上螺纹杆（27）外螺纹相对应的内螺纹，所述上螺纹杆（27）和下螺纹杆（28）分别螺装穿过上固定孔和下固定孔，所述一组把手（29）分别安装在上螺纹杆（27）左侧壁和下螺纹杆（28）前侧壁上；还包括限位杆（30）、旋转杆（31）、左螺纹杆（32）和加长杆（33），所述限位杆（30）底侧壁与切割台（1）顶侧壁左端连接，所述限位杆（30）内部设置有旋转腔，限位杆（30）顶侧壁设置有旋转口，旋转口与旋转腔连通，所述旋转腔顶部和底部分别设置有上滚珠轴承（34）和下滚珠轴承（35），所述旋转杆（31）底端穿过上滚珠轴承（34）和下滚珠轴承（35），并且上滚珠轴承（34）和下滚珠轴承（35）均与旋转杆（31）键连接，所述限位杆（30）左侧壁设置有定位孔，定位孔内部设置有与左螺纹杆（32）外螺纹相对应的内螺纹，所述左螺纹杆（32）螺装穿过定位孔，所述左螺纹杆（32）左侧壁与加长杆（33）右侧...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割设备，包括切割台（1）、夹紧机构（2）、抽风机（3）和操作机构（4），切割台（1）上方设置有第一抽风管（5）；其特征在于，还包括锥形收集罩（6）、重力除尘箱（7）、阻流板（8）、聚集槽（9）、第二抽风管（10）、过渡管（11）、第三抽风管（12）、上固定环（13）、下固定环（14）、一组上支撑杆（15）、一组下支撑杆（16）、过滤布袋（17）、抽拉杆（18）、第一连接杆（19）和第二连接杆（20），所述锥形收集罩（6）中央区域横向设置有收集孔，所述锥形收集罩（6）底侧壁与切割台（1）顶侧壁接触，所述切割台（1）内部设置有抽拉腔，切割台（1）右侧壁设置有抽拉口，抽拉口与抽拉腔连通，所述第一连接杆（19）左侧壁和右侧壁分别与锥形收集罩（6）右侧壁下半区域和第二连接杆（20）左侧壁顶部连接，所述第二连接杆（20）底侧壁与抽拉杆（18）顶侧壁右端连接，所述抽拉杆（18）插入到抽拉腔中，所述第一收集管输入端与锥形收集罩（6）右侧壁连通，所述重力除尘箱（7）内部设置有除尘腔，重力除尘箱（7）顶侧壁左半区域、右侧壁顶部和底侧壁中央区域分别设置有进气口、出气口和过渡口，进气口、出气口和过渡口均与除尘腔连通，所述第一抽风管（5）输出端密封安装在进气口处，所述聚集槽（9）内部设置有聚集腔，聚集槽（9）顶部中央区域设置有聚集口，聚集口与聚集腔连通，所述聚集槽（9）螺装至重力除尘箱（7）底部，过渡口与聚集口连通，所述阻流板（8）顶侧壁与重力除尘箱（7）内顶侧壁中央区域连接，所述第二抽风管（10）输入端密封安装在出气口处，所述第二抽风管（10）输出端与过渡管（11）输入端连通，所述上固定环（13）和下固定环（14）外侧壁分别与过渡管（11）内侧壁上半区域和下半区域连接，所述一组上支撑杆（15）顶侧壁和底侧壁分别与上固定环（13）底侧壁和下固定环（14）顶侧壁连接，一组上支撑杆（15）脱离过渡管（11）内侧壁，所述过滤布袋（17）内部设置有过滤腔，过滤布袋（17）顶部设置有过滤口，过滤口与过滤腔连通，所述过滤布袋（17）外侧壁顶部与上固定环（13）内侧壁密封连接，所述一组上支撑杆（15）外侧壁与过滤布袋（17）外侧壁部分连接，所述过滤布袋（17）外侧壁底部与下固定环（14）内侧壁部分连接，所述第三抽风管（12）输入端和输出端分别与第二抽风管（10）输出端和抽风机（3）输入端连通，所述一组下支撑杆（16）顶侧壁左端和右端均与下固定环（14）内侧壁连接；还包括上底座（21）、下底座（22）、一组上滑块（23）、一组下滑块（24）、一组上滚珠（25）、一组下滚珠（26）、上螺纹杆（27）、下螺纹杆（28）和一组把手（29），所述一组下滑块（24）底侧壁分别与切割台（1）顶侧壁前半区域和后半区域连接，所述一组下滑块（24）顶侧壁、前侧壁和后侧壁中央区域分别设置有一组下弧形放置槽，所述上底座（21）底侧壁分别设置有一组下卡装槽，一组下卡装槽顶侧壁、前侧壁和后侧壁分别设置有一组上弧形放置槽，所述一组下滑块（24）上半区域分别插入到一组下卡装槽内，所述一组下滚珠（26）分别位于一...

【专利技术属性】
技术研发人员：王昌华，
申请(专利权)人：江苏英锐半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32