一种硅片切割机切削液冷却装置及冷却方法制造方法及图纸

本申请公开了一种硅片切割机切削液冷却装置及冷却方法，具体涉及硅片加工领域，包括：进水管道；制冷机构，该制冷机构与进水管道连接；储水机构，该储水机构包括储水桶和入流管道，入流管道一端连接制冷机构，另一端连接储水桶，储水桶内设置有温度检测器三和制冷泵；出水管道，该出水管道设置在储水桶上。本申请通过在储水桶内设置温度检测器三和制冷泵，对储水桶内的切削液的温度进行监控和维持，使储水桶内的切削液维持在低温状态。

A Cooling Device for Cutting Fluid of Silicon Wafer Cutting Machine and Its Cooling Method

The application discloses a cooling device and method for cutting fluid of a silicon wafer cutting machine, which specifically relates to the field of silicon wafer processing, including: water intake pipeline; refrigeration mechanism, which is connected with water intake pipeline; water storage mechanism, which includes water storage bucket and water intake pipeline, one end of the water intake pipeline is connected with refrigeration mechanism, and the other is connected with refrigeration mechanism. The end is connected with a water storage bucket, and a temperature detector three and a refrigeration pump are arranged in the water storage bucket; the outlet pipe is arranged on the water storage bucket. This application monitors and maintains the temperature of the cutting fluid in the water storage bucket by installing a temperature detector three and a refrigeration pump in the water storage bucket, so as to maintain the cutting fluid in the water storage bucket in a low temperature state.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片切割机切削液冷却装置及冷却方法
本专利技术涉及硅片加工领域，具体涉及一种硅片切割机切削液冷却装置及冷却方法。
技术介绍
现如今，硅片切割使用的是一种特制的金刚线带水切割技术。这项技术在缩短加工时间的同时能够提升产品的质量，降低生产的成本。在使用金刚线技术切割硅片的过程中，需要用到切削液来冷却润滑刀具和加工件。切削液在切割硅片时吸收了大量的热量，在过滤清理之后还需通过冷却装置的冷却才能循环使用。但现有的切削液冷却装置在消耗大量能量冷却切削液后，无后续检测设备和冷却设备，导致冷却后的切削液有再次升温的可能。如在授权公告号为CN105235082B的中国专利技术中，公开了一种硅片切割机用切削液冷却装置，其进水管道上串接有分流阀，并且分流阀与冷水塔之间并联有至少两个冷水机，具体工作过程中，由至少两个冷水机对分流阀分流后的切削液进行冷却，提高了冷却装置的冷却效率。于此同时，冷水塔与储水桶之间设有水温检测器，水温检测器与储水桶之间串接有换向阀，由水温检测器检测冷水塔内排出水的温度，若水温不符合要求，切削液会被排回进水管道，重新进行冷却。但是，在该技术方案中，冷却后的液体被排入储水桶储存，此时的切削液很可能受到外界温度的影响，再次升温，无法满足循环使用的要求。
技术实现思路
本申请的目的是提供一种硅片切割机切削液冷却装置，旨在解决现有技术中冷却后的切削液在存储时再次升温的问题。为实现上述目的，本申请实施例采用以下技术方案：一种硅片切割机切削液冷却装置，包括：进水管道；制冷机构，该制冷机构与进水管道连接；储水机构，该储水机构包括储水桶和入流管道，入流管道一端连接制冷机构，另一端连接储水桶，储水桶内设置有温度检测器三和制冷泵；出水管道，该出水管道设置在储水桶上。在上述技术方案中，本申请实施例通过在储水桶内设置温度检测器三和制冷泵，对储水桶内的切削液的温度进行监控和维持，温度检测器三能够不断检测储水桶内的水温是否达标，不达标则启动制冷泵对储水桶内的切削液进行冷却，使储水桶内的切削液维持在低温状态。进一步地，根据本申请实施例，入流管道缠绕在制冷泵外侧，入流管道末端设置有吹水孔。吹水孔能够向储水桶的四面八方输出冷却好的切削液，有利于新冷却切削液和桶内的切削液的混合，可减少刚进入储水桶内的切削液与储水桶内储存的切削液温度的不对等的情况。进一步地，根据本申请实施例，储水桶内壁上设置有隔热层，隔热层起到保冷作用。进一步地，根据本申请实施例，制冷机构包括：分流阀一，该分流阀一设置在进水管道的末端，分流阀一上设置有至少两条分流管道一；冷水塔，冷水塔设置在分流管道一末端；换向阀，该换向阀与冷水塔连通，换向阀与冷水塔之间设置有温度检测器二，换向阀的其中一个出口与入流管道连接；回水管，所述回水管的两端分别连接所述换向阀的另一出口和进水管。切削液经过冷水塔冷却后，流进换向阀时，温度检测器二能够检测其水温是否达标，若水温达标，切削液流入换向阀后经出口一流至流入管道，若不达标，切削液经出口二流入回水管进入所述进水管道，重新进行冷却。进一步地，根据本申请实施例，冷水塔的出水管上设置有温度检测器一和分流阀二，分流阀二上设置有至少两条分流管道二，所述分流管道二上设置有冷水机。冷水塔内的切削液流出后，温度检测器一能够检测其水温是否达标，若水温达标则切削液进入分流阀二后不启动冷水机，若水温不达标则切削液进入分流阀二后启动冷水机对切削液进行冷却。进一步地，根据本申请实施例，分流管一内设置有涡流冷却器，涡流冷却器能够对分流管一内的切削液进行冷却。进一步地，根据本申请实施例，分流管一内设置有缓冲垫，缓冲垫上设置有小孔。缓冲垫能够对切削液进行阻挡，增加切削液的流速，促进切削液散热。此外，在本申请实施例中，还公开了一种硅片切割机切削液的冷却方法，包括以下步骤：1)进水：切削液由进水管道(10)进入切削液冷却装置，流入分流阀一(201)，切削液被分为若干支流；2)第一次冷却：步骤1)中的切削液支流流过缓冲垫(203)，流经涡流管冷却器(204)，涡流管冷却器(204)对切削液进行第一次冷却；3)第二次冷却：步骤2)中的切削液支流合并后流入冷水塔(207)，冷水塔(207)对切削液进行第二次冷却；4)切削液储存：冷却完全的切削液沿着流入管道(308)，通过单向阀二(302)，流入储水桶(301)，流入的切削液通过吹水孔(307)与储水桶(301)内的切削液混合；5)温度检测器三(304)不断检测所述储水桶(301)内的水温是否达标，不达标则打开控制器二(306)启动制冷泵(305)对所述储水桶(301)内的切削液进行第四次冷却；6)出水：冷却好的切削液沿着出水管道(40)流出切削液冷却装置。进一步地，在步骤3)中，冷水塔内的切削液流出后，温度检测器一检测其水温是否达标，若水温达标则切削液进入分流阀二后不启动冷水机，若水温不达标则切削液进入分流阀二后启动冷水机对切削液进行第三次冷却。进一步地，在步骤4)中，在切削液流入流入管道之前，温度检测器二检测其水温是否达标，若水温达标，切削液流入所述换向阀后经出口一流至流入管道，若不达标，切削液经出口二流入回水管进入进水管道，重新进行冷却。附图说明下面结合附图和实施例对本申请进一步说明。图1是本申请的硅片切割机切削液冷却装置结构图。图2是图1中的A处放大图。附图中10进水管道20制冷机构201分流阀一202分流管道一203缓冲垫204涡流管冷却器205进气管206涡流管207冷水塔208分流阀二209分流管道二210冷水机211温度检测器一212换向阀213温度检测器二214控制器一215回水管216单向阀一30储水机构301储水桶302单向阀二303隔热层304温度检测器三305制冷泵306控制器二307吹水孔308流入管道40出水管道具体实施方式为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。如图1所示，本实施例公开了一种硅片切割机切削液冷却装置，依次包括进水管道10、制冷机构20、储水机构30和出水管道40。切削液经由进水管道10汇集在一起，在制冷机构20中多次冷却，然后存储在储水机构30中，最终经由出水管道40流出该切削液冷却装置。其中，制冷机构20包括分流阀一201，该分流阀一201设置在进水管道10的末端，分流阀一201上连接着多条分流管道一202，将从进水管道10流出的切削液分为若干支流。在本实施例中，在每一个分流管道一202上设了一个盘绕结构，使前后两段分流管道一202相互平行，在两段分流管道一202之间设置有连接通道，使切削液在两侧分流管道一202之间流通，两股切削液相互交换热量，有助于切削液的散热。具体地，分流管一202从分流阀一201处水平延伸出的一段为第一横管，在第一横管末端设置有第一竖管本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片切割机切削液冷却装置，包括：进水管道(10)；制冷机构(20)，所述制冷机构(20)与所述进水管道(10)连接；储水机构(30)，所述储水机构(30)包括储水桶(301)和入流管道(308)，所述入流管道(308)一端连接所述制冷机构(20)，另一端连接所述储水桶(301)，所述储水桶(301)内设置有温度检测器三(304)和制冷泵(305)；出水管道(40)，所述出水管道(40)设置在所述储水桶(301)上。

【技术特征摘要】
1.一种硅片切割机切削液冷却装置，包括：进水管道(10)；制冷机构(20)，所述制冷机构(20)与所述进水管道(10)连接；储水机构(30)，所述储水机构(30)包括储水桶(301)和入流管道(308)，所述入流管道(308)一端连接所述制冷机构(20)，另一端连接所述储水桶(301)，所述储水桶(301)内设置有温度检测器三(304)和制冷泵(305)；出水管道(40)，所述出水管道(40)设置在所述储水桶(301)上。2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机切削液冷却装置，其中，所述入流管道(308)缠绕在所述制冷泵(305)外侧，所述入流管道(305)末端设置有吹水孔(307)。3.根据权利要求1所述的一种硅片切割机切削液冷却装置，其中，所述储水桶(301)内壁上设置有隔热层(303)。4.根据权利要求1所述的一种硅片切割机切削液冷却装置，其中，所述制冷机构(20)包括：分流阀一(201)，所述分流阀一(201)设置在所述进水管道(10)的末端，所述分流阀一(201)上设置有至少两条分流管道一(202)；冷水塔(207)，所述冷水塔(207)设置在所述分流管道一(202)末端；换向阀(212)，所述换向阀(212)与所述冷水塔(207)连通，所述换向阀(212)与所述冷水塔(207)之间设置有温度检测器二(213)，所述换向阀(212)的其中一个出口与所述入流管道(308)连接；回水管(215)，所述回水管(215)的两端分别连接所述换向阀(212)的另一出口和所述进水管(10)。5.根据权利要求4所述的一种硅片切割机切削液冷却装置，其中，所述冷水塔(207)的出水管上设置有温度检测器一(211)和分流阀二(208)，所述分流阀二(208)上设置有至少两条分流管道二(209)，所述分流管道二(209)上设置有冷水机(210)。6.根据权利要求4所述的一种硅片切割机切削液冷却装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：伍志军，
申请(专利权)人：苏州赛森电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32