The invention discloses an SSPP transmission phase shifter loaded with ferroelectric thin films and a preparation method thereof. The phase shifter comprises a low dielectric substrate, a ferroelectric thin film, a metal layer, an electrode, an impedance matching region and a SSPP transmission structure. The electrodes are arranged on both sides of the SSPP transmission structure, and the impedance matching region is arranged on both ends of the SSPP transmission structure. The anti-matching region includes coplanar waveguide structure and transition structure. The method includes: depositing adhesion layer, ferroelectric thin film, metal adhesion layer and metal layer on the substrate in turn; etching electrodes, coplanar waveguide structure, transition structure and SSPP transmission structure on the metal layer. Therefore, the SSPP transmission phase shifter loaded with ferroelectric thin film and the preparation method provided by the embodiment of the present invention can make the transmission efficiency of the phase shifter high by forming the SSPP transmission structure on the ferroelectric thin film layer with dielectric nonlinearity, and can well bind the field to the ferroelectric thin film. With the high tuning rate of ferroelectric thin films, good tunable phase shifting function can be achieved.
【技术实现步骤摘要】
一种加载铁电薄膜的SSPP传输移相器及其制备方法
本专利技术涉及移相器
，尤其涉及一种加载铁电薄膜的SSPP传输移相器及其制备方法。
技术介绍
随着现代军事的发展，对雷达的性能也有了进一步的要求。但是限于传统机械雷达的机械本身特点，其跟踪速度，跟踪目标准确性和稳定性都较差，发展起来的相控阵雷达可以克服机械雷达的一系列缺点，并已经在军事装备中得到了一定的应用。移相器作为相控阵雷达中最重要的部件，决定着相控阵雷达性能的优劣。移相器的种类较多，按照移相器的移相机理和结构设计的不同，可以将移相器分为铁氧体移相器，半导体二极管(PIN二极管)移相器，射频MEMS移相器和铁电移相器四类。与发展最早的铁氧体移相器对比，铁电移相器的优点在于具有扫描速度快，体积小且质量轻，损耗小等优点。在铁电移相器中，与体材和厚膜相比，薄膜的损耗更小，成本更低，所加直流偏压更低，工作频率更高，响应速度更快，其厚度一般在亚微米级别，便于与MMIC工艺结合，电路形式更加灵活多样。然而，现有技术中的铁电薄膜移相器，其传输结构多基于普通传输线设计，为提高调谐率而采用的加载分布电容结构等设计增加了工艺...
【技术保护点】
1.一种加载铁电薄膜的SSPP传输移相器，其特征在于，包括：低介衬底(01)、铁电薄膜(02)、金属层(03)，所述铁电薄膜(02)及所述金属层(03)依次设置在所述低介衬底(01)上；所述金属层(03)包括位于同一水平面的电极(31)、阻抗匹配区(32)及SSPP传输结构(33)，所述电极(31)设置在所述SSPP传输结构(33)两侧，所述阻抗匹配区(32)设置在所述SSPP传输结构(33)的两端；所述阻抗匹配区(32)包括共面波导结构(32a)及过渡结构(32b)，且所述过渡结构(32b)靠近所述SSPP传输结构(33)，所述共面波导结构(32a)远离所述SSPP传输结...
【技术特征摘要】
1.一种加载铁电薄膜的SSPP传输移相器，其特征在于，包括：低介衬底(01)、铁电薄膜(02)、金属层(03)，所述铁电薄膜(02)及所述金属层(03)依次设置在所述低介衬底(01)上；所述金属层(03)包括位于同一水平面的电极(31)、阻抗匹配区(32)及SSPP传输结构(33)，所述电极(31)设置在所述SSPP传输结构(33)两侧，所述阻抗匹配区(32)设置在所述SSPP传输结构(33)的两端；所述阻抗匹配区(32)包括共面波导结构(32a)及过渡结构(32b)，且所述过渡结构(32b)靠近所述SSPP传输结构(33)，所述共面波导结构(32a)远离所述SSPP传输结构；所述阻抗匹配区(32)及所述SSPP传输结构(33)为齿状结构，且所述阻抗匹配区(32)的金属齿与所述SSPP传输结构(33)的金属齿垂直，所述过渡结构(32b)的金属齿的宽度沿远离所述共面波导结构(32a)的方向逐渐减小。2.根据权利要求1所述的加载铁电薄膜的SSPP传输移相器，其特征在于，所述低介衬底(01)与所述铁电薄膜(02)之间设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：王军，娄菁，马华，屈绍波，王甲富，董博文，冯明德，
申请(专利权)人：中国人民解放军空军工程大学，
类型：发明
国别省市：陕西,61
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