下载一种加载铁电薄膜的SSPP传输移相器及其制备方法的技术资料

文档序号:19541248

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本发明公开了一种加载铁电薄膜的SSPP传输移相器及其制备方法,该移相器包括:低介衬底、铁电薄膜、金属层;金属层包括电极、阻抗匹配区及SSPP传输结构,电极设在SSPP传输结构两侧,阻抗匹配区设在SSPP传输结构的两端;阻抗匹配区包括共面波导...
该专利属于中国人民解放军空军工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国人民解放军空军工程大学授权不得商用。

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