【技术实现步骤摘要】
探针卡系统、探针载体装置及探针载体装置的制法
本专利技术有关于一种探针卡，尤指一种具有悬臂式探针的探针卡系统、探针载体装置及探针载体装置的制法。
技术介绍
为了测试所制出的半导体产品(后称待测物，DeviceUnderTest，DUT)，在测试中是通过一测试装置的多数个悬臂式探针(cantileverprobe)分别触压待测物的多数个导电接点，以便透过信号传输及信号分析而获得待测物的测试结果。然而，当这些悬臂式探针分别触压待测物上位于内外排的不同导电接点时，由于这些悬臂式探针分别对这些导电接点的力矩不同，导致这些悬臂式探针分别对这些导电接点施以不同压力，进而形成大小不同的压痕于待测物上的这些导电接点上。由于这些导电接点所受到的压力不同，无法保证这些探针能够全面地且确实地接触到待测物的所有电性端子，进而导致测试性能的失准。因此，测试者必须花费更多时间以调整这些悬臂式探针的配置变数，进而加大了测试装置再次配置的困难度。故，如何研发出一种解决方案以改善上述所带来的缺失及不便，实乃相关业者目前刻不容缓的一重要课题。
技术实现思路
本专利技术的一实施例提供了一种探针载体装置。探...
【技术保护点】
1.一种探针载体装置，其特征在于，包括：一载板；至少一立体阶梯结构，连接该载板，包含多数个阶状体，所述多数个阶状体朝远离该载板的方向依序递减；以及至少一探针模块，包含多数个探针层，所述多数个探针层间隔地层叠于该立体阶梯结构内，每一所述探针层包含多数个并排的悬臂式探针，所述探针层的所述多数个悬臂式探针分别从不同的所述阶状体伸出该立体阶梯结构，用以分别触压一待测物的多数个导电接点，其中每一所述悬臂式探针伸出该立体阶梯结构的部分具有一力矩长度，所述探针层的所述多数个悬臂式探针的所述力矩长度彼此相同。
【技术特征摘要】
1.一种探针载体装置，其特征在于，包括：一载板；至少一立体阶梯结构，连接该载板，包含多数个阶状体，所述多数个阶状体朝远离该载板的方向依序递减；以及至少一探针模块，包含多数个探针层，所述多数个探针层间隔地层叠于该立体阶梯结构内，每一所述探针层包含多数个并排的悬臂式探针，所述探针层的所述多数个悬臂式探针分别从不同的所述阶状体伸出该立体阶梯结构，用以分别触压一待测物的多数个导电接点，其中每一所述悬臂式探针伸出该立体阶梯结构的部分具有一力矩长度，所述探针层的所述多数个悬臂式探针的所述力矩长度彼此相同。2.根据权利要求1所述的探针载体装置，其特征在于，所述阶状体还包含：至少一第一阶面，围绕以形成一第一空间区，其中一部分的所述悬臂式探针从该第一阶面伸出该立体阶梯结构；至少一第二阶面，围绕以形成一第二空间区，该第二空间区接通该第一空间区，且该第二空间区大于该第一空间区，其中另一部分的所述悬臂式探针从该第二阶面伸出该立体阶梯结构；以及至少一连接面，邻接该第一阶面与该第二阶面。3.根据权利要求1所述的探针载体装置，其特征在于，每一所述悬臂式探针的该力矩长度为一第一虚拟平面与一第二虚拟平面之间所定义的一最小直线距离，其中该第一虚拟平面与该第二虚拟平面相互平行，且该第一虚拟平面通过该悬臂式探针的一针端，该第二虚拟平面为对应的该阶状体被该悬臂式探针所伸出的一面。4.根据权利要求1所述的探针载体装置，其特征在于，每一所述悬臂式探针包含相连接的一悬臂段及一弯折部，该悬臂段位于该立体阶梯结构内，且该弯折部的一针端用以触压所述多数个导电接点其中之一。5.根据权利要求1所述的探针载体装置，其特征在于，所述多数个探针层其中二相邻者皆位于同一个该阶状体内。6.根据权利要求1所述的探针载体装置，其特征在于，每一所述探针层仅位于所述多数个阶状体其中之一。7.根据权利要求1所述的探针载体装置，其特征在于，所述多数个探针层其中二相邻者的所述悬臂式探针彼此交错排列。8.根据权利要求1所述的探针载体装置，其特征在于，该载板包含一贯口、一第一主面与一第二主面，该第一主面相对该第二主面，该贯口沿一轴心线贯穿该载板，且连接该第一主面与该第二主面；以及该至少一探针模块与该至少一立体阶梯结构分别为多数个时...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖致傑，孙育民，程志丰，
申请(专利权)人：创意电子股份有限公司，台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71
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