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一种探针卡系统、探针载体装置及探针载体装置的制法。探针载体装置包括一载板、一立体阶梯结构与一探针模块。立体阶梯结构连接载板。探针模块包含多数个探针层。这些探针层间隔地层叠于立体阶梯结构内。每一探针层包含多数个悬臂式探针。这些探针层的悬臂式探...该专利属于创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。