【技术实现步骤摘要】
一种开尔文探针测试装置及其测试方法
本专利技术涉及微区电化学测量
，具体涉及非典型平面测试
，更具体的说是涉及一种开尔文探针测试装置及其测试方法。
技术介绍
扫描开尔文探针测试是一种基于振动电容的非接触无损气相环境金属表面电位的测量技术，用于测量材料的功函数(WorkFunction)或表面势(SurfacePotential)。其用于检测气相环境中因温度、湿度、表面的化学、电学、力学、晶体、吸附及成膜等因素引起的材料表面电势的微小变化，是一种高灵敏的表面电化学分析技术，是唯一能够测定气相环境中腐蚀电极表面电位的方法。近些年来，该方法的应用变得越来越广泛，尤其是在金属腐蚀、涂层等领域，SKP测试技术发挥着重要作用。随着微区电化学测试领域的不断发展，目前SKP测试技术已发展的较为成熟，测试精度和测试稳定性皆不断提升。然而，现有的SKP测试系统，只能对平面样品进行测试，应用受到了局限。在实际科研生产过程中，有时需要对非平面样品进行分析，比如管状金属外壳、圆柱块状样品表面等，传统的SKP测试装置便无法实现。目前的普遍做法是将待测面加工成平面后，再进行测试，但...
【技术保护点】
1.一种开尔文探针测试装置，用于测量样件表面；其特征在于，包括：中控机(1)、控制器(3)、轴向控制盒、三维移动平台(6)、探针(7)、样品测试台(8)及微区摄像器(10)；所述中控机(1)与所述控制器(3)通信连接；所述控制器(3)通信连接所述轴向控制盒；所述轴向控制盒电性连接所述三维移动平台(6)，且控制所述三维移动平台(6)沿X轴和/或Y轴和/或Z轴移动；所述探针(7)电性连接所述控制器(3)，且安装于所述三维移动平台(6)上，用于扫描所述测量样件表面；所述样品测试台(8)用于安装所述测量样件，其中部具有转轴(86)，所述测量样件能够以所述转轴(86)为中心旋转任意角...
【技术特征摘要】
1.一种开尔文探针测试装置，用于测量样件表面；其特征在于，包括：中控机(1)、控制器(3)、轴向控制盒、三维移动平台(6)、探针(7)、样品测试台(8)及微区摄像器(10)；所述中控机(1)与所述控制器(3)通信连接；所述控制器(3)通信连接所述轴向控制盒；所述轴向控制盒电性连接所述三维移动平台(6)，且控制所述三维移动平台(6)沿X轴和/或Y轴和/或Z轴移动；所述探针(7)电性连接所述控制器(3)，且安装于所述三维移动平台(6)上，用于扫描所述测量样件表面；所述样品测试台(8)用于安装所述测量样件，其中部具有转轴(86)，所述测量样件能够以所述转轴(86)为中心旋转任意角度，并与所述探针(7)位置对应；所述微区摄像器(10)用于观察所述探针(7)与所述样品测试台(8)之间的距离及所述测量样件表面。2.根据权利要求1所述的一种开尔文探针测试装置，其特征在于，所述轴向控制盒包括XY轴控制盒(4)及Z轴控制盒(5)；所述XY轴控制盒(4)和所述Z轴控制盒(5)均与所述控制器(3)通信连接。3.根据权利要求1所述的一种开尔文探针测试装置，其特征在于，还包括用于处理所述探针(7)检测信号信息的所述锁相放大器(2)；所述锁相放大器(2)与所述控制器(3)通信连接，且所述锁相放大器(2)通过导线与所述探针(7)连接。4.根据权利要求1所述的一种开尔文探针测试装置，其特征在于，所述样品测试台(8)还包括：金属支架(81)、盖板(84)、样品托(82)、金属旋钮(83)及套管(87)；所述金属支架(81)两侧沿水平方向上开设第一通孔；所述盖板(84)为两个，分别安装于所述金属支架(81)两侧，每一个所述盖板(84)上均具有与所述第一通孔位置对应的安装孔；所述转轴(86)贯穿所述第一通孔和所述安装孔，且所述转轴(86)的一端向外延伸；所述样品托(82)连接于所述转轴(86)，且位于所述金属支架(81)上；所述金属旋钮(83)连接所述转轴...
【专利技术属性】
技术研发人员：仝宏韬，张慧霞，李开伟，冯昌，张宇，刘亚鹏，
申请(专利权)人：中国船舶重工集团公司第七二五研究所青岛分部，
类型：发明
国别省市：山东,37
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