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本发明涉及一种开尔文探针测试装置，用于测量样件表面；包括中控机、控制器、轴向控制盒、三维移动平台、探针、样品测试台及微区摄像器；中控机与控制器通信连接；控制器通信连接轴向控制盒；轴向控制盒电性连接三维移动平台，且控制三维移动平台沿X轴和/或...该专利属于中国船舶重工集团公司第七二五研究所青岛分部所有，仅供学习研究参考，未经过中国船舶重工集团公司第七二五研究所青岛分部授权不得商用。