一种具有亲水层的压靶模具制造技术

技术编号:19371058 阅读:38 留言:0更新日期:2018-11-08 03:05
本实用新型专利技术公开了一种具有亲水层的压靶模具,包括上压板和下压板,上压板下端设有下压板,下压板安装在上压板上,上压板上端设有压杆,上压板上端设有固定环,压杆通过固定环固定连接在上压板上,压杆下端设有基板,基板焊接设置在压杆上。该种具有亲水层的压靶模具,模具下表面设有亲水层,该种亲水层具有一定程度上防止靶材粘黏在模具上的能力,能够防止靶材粘黏在模具上,使得在接下来的脱模流程中靶材能够顺利的取下来,避免了损坏产品,且靶材粘黏在模具会造成装置难以清洁的问题,解决了现有的设计模具靶材容易粘黏在模具上造成难以取下以及对模具的清洁难以清洁干净的不足。

【技术实现步骤摘要】
一种具有亲水层的压靶模具
本技术涉及模具
,具体为一种具有亲水层的压靶模具。
技术介绍
使用脉冲激光沉积、磁控溅射等设备制备氧化物、陶瓷薄膜的时候都需要靶材,一般来说,氧化物、陶瓷靶材是通过粉末压制而成,压制靶材的过程是将粉末放入模具内进行压制。但现有的压靶模具靶材容易粘黏在模具上造成难以取下,以及对模具的清洁难以清洁干净,且现有的压靶模具通过对模板进行加工来确定靶材厚度,无法在后期进行更加精确的调节,另外,现有的压靶模具对上下模板的安装采用手工定位,造成定位不准确,且浪费时间。所以,如何设计一种具有亲水层的压靶模具,成为我们当前要解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种具有亲水层的压靶模具,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种具有亲水层的压靶模具,包括上压板和下压板,所述上压板下端设有下压板,所述下压板安装在上压板上,所述上压板上端设有压杆,所述上压板上端设有固定环,所述压杆通过固定环固定连接在上压板上,所述压杆下端设有基板,所述基板焊接设置在压杆上,所述基板下端设有模具,所述模具安装在基板上,所述基板左右两侧均设有定位鞘,所述定位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有亲水层的压靶模具,包括上压板(1)和下压板(2),其特征在于:所述上压板(1)下端设有下压板(2),所述下压板(2)安装在上压板(1)上,所述上压板(1)上端设有压杆(101),所述上压板(1)上端设有固定环(1011),所述压杆(101)通过固定环(1011)固定连接在上压板(1)上,所述压杆(101)下端设有基板(102),所述基板(102)焊接设置在压杆(101)上,所述基板(102)下端设有模具(103),所述模具(103)安装在基板(102)上,所述基板(102)左右两侧均设有定位鞘(1032),所述定位鞘(1032)焊接设置在基板(102)上,所述下压板(2)中段设有模...

【技术特征摘要】
1.一种具有亲水层的压靶模具,包括上压板(1)和下压板(2),其特征在于:所述上压板(1)下端设有下压板(2),所述下压板(2)安装在上压板(1)上,所述上压板(1)上端设有压杆(101),所述上压板(1)上端设有固定环(1011),所述压杆(101)通过固定环(1011)固定连接在上压板(1)上,所述压杆(101)下端设有基板(102),所述基板(102)焊接设置在压杆(101)上,所述基板(102)下端设有模具(103),所述模具(103)安装在基板(102)上,所述基板(102)左右两侧均设有定位鞘(1032),所述定位鞘(1032)焊接设置在基板(102)上,所述下压板(2)中段设有模具台(204),所述模具台(204)嵌入设置于下压板(2)中,所述模具台(204)左右两侧均设有定位槽(1033),所述定位槽(1033)开孔设置在模具台(204)上,所述定位槽(1033)底部设有控制旋钮(201),所述控制旋钮(201)固定连接在定位槽(1033)上,所述模具台(204)下端设有垫板(202),所述垫板(202)紧密贴合在模具台(204)上,所述模具台(204)下端设有操作台(203),所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:魏兆辉
申请(专利权)人:寻乌县宏涛机械设备开发有限公司
类型:新型
国别省市:江西,36

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