【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗用周转盘
本技术涉及硅片清洗设备
，具体为一种硅片清洗用周转盘。
技术介绍
目前，硅片清洗周转盘是硅片清洗过程中用来暂时存放脱胶后硅片的辅助工具。现有的硅片清洗周转盘子为长方形塑料盘，使用时将塑料盘子中放满水，然后直接将脱胶后的硅片竖直放入盘中，并将硅片的一面斜靠在塑料盘边沿内侧，硅片与塑料盘边沿内侧呈线接触，这种结构堆叠硅片数量少还能使用，若堆叠的硅片数量较多，硅片叠在一起产生的压力较大，作用在最底下紧靠塑料盘边沿内侧的硅片上，容易造成硅片碎裂。同时由于塑料盘底部比较光滑，斜靠的硅片容易滑倒，从而使得硅片沉入塑料盘底部而难以取出，且容易产生碎片且清洗不便。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种硅片清洗用周转盘，具备摆放方便，清洗简便和防破碎等优点，解决了上述
技术介绍
中所提出的问题。(二)技术方案为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片清洗用周转盘，包括底座，所述底座的上表面中部开设有电机槽，所述电机槽内固定连接有电机，所述电机槽的上方固定连接有防护框，所述电机的输出端贯穿防护框并延伸至防护框的上方与转轴固定连接...
【技术保护点】
1.一种硅片清洗用周转盘，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面中部开设有电机槽(2)，所述电机槽(2)内固定连接有电机(3)，所述电机槽(2)的上方固定连接有防护框(4)，所述电机(3)的输出端贯穿防护框(4)并延伸至防护框(4)的上方与转轴(5)固定连接，所述转轴(5)的表面中部贯穿有旋转杆(6)，所述旋转杆(6)远离转轴(5)的一端固定连接有转盘(7)，所述转盘(7)的上表面活动连接有周转盘外身(8)，所述周转盘外身(8)内壁的中部固定连接有限位缓冲柱(9)，所述限位缓冲柱(9)包括支撑杆(901)、限位块(902)、第一橡胶垫(903)和第二橡胶垫(90...
【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗用周转盘，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面中部开设有电机槽(2)，所述电机槽(2)内固定连接有电机(3)，所述电机槽(2)的上方固定连接有防护框(4)，所述电机(3)的输出端贯穿防护框(4)并延伸至防护框(4)的上方与转轴(5)固定连接，所述转轴(5)的表面中部贯穿有旋转杆(6)，所述旋转杆(6)远离转轴(5)的一端固定连接有转盘(7)，所述转盘(7)的上表面活动连接有周转盘外身(8)，所述周转盘外身(8)内壁的中部固定连接有限位缓冲柱(9)，所述限位缓冲柱(9)包括支撑杆(901)、限位块(902)、第一橡胶垫(903)和第二橡胶垫(904)，所述支撑杆(901)的上表面固定连接限位块(902)，所述限位块(902)的一侧固定连接有第一橡胶垫(903)，所述限位块(902)的另一侧固定连接有第二橡胶垫(...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈忠海，
申请(专利权)人：苏州德瑞姆超声科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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