气帘装置及晶圆盒载运设备制造方法及图纸

一种气帘装置包含：壳体、透气板及固定环。固定环套设于透气板的外围。透气板能透过固定环而固定设置于壳体中，且固定环能使透气板与壳体之间形成气密。壳体与外部供气设备相连接时，外部供气设备所提供的气体能通过透气板后均匀地向外排出。气帘装置透过固定环及透气板的相互配合，透气板可以方便地固定设置于壳体中，且可以提升透气板与壳体之间的气密效果。本实用新型专利技术还提供一种晶圆盒载运设备，其包含有前述气帘装置，气帘装置可以在晶圆盒开启时，于晶圆盒前方形成气流墙，可有效避免外部环境的脏污进入晶圆盒中。

【技术实现步骤摘要】
气帘装置及晶圆盒载运设备
本技术涉及一种气帘装置及载运设备，特别是一种应用于晶圆制造过程中相关设备的气帘装置及包含有所述气帘装置的晶圆盒载运设备。
技术介绍
现有应用于晶圆生产设备中的气帘装置，大多存在有结构复杂、安装不易及气密效果不佳等问题。另外，在现有的应用中，晶圆盒的活动门被开启时，外部环境的微粒、脏污等将容易进入晶圆盒中，进而可能影响设置于晶圆盒中的晶圆片质量。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种气帘装置用以改善现有的气帘装置结构复杂、安装不易及气密效果不佳等问题，本技术的另一目的在于改善晶圆盒被开启时，晶圆盒内容易受外部环境影响的问题。为了实现上述目的，本技术提供一种气帘装置，其包含：一壳体，其包含有至少一进气孔及至少一出气口；至少一透气板，其包含有多个透气孔；一固定环，其套设于所述透气板的外围；其中，所述透气板能透过所述固定环而固定设置于所述壳体中，且所述固定环能使所述透气板与所述壳体之间形成气密的效果；其中，所述进气孔能与外部供气设备相连接，而外部供气设备所提供的气体能通过所述进气孔进入所述壳体中，并通过多个所述透气孔后，由所述出气口向外排出。优选地，所述壳体包含有一环本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气帘装置，其特征在于，所述气帘装置包含：一壳体，其包含有至少一进气孔及至少一出气口；至少一透气板，其包含有多个透气孔；一固定环，其套设于所述透气板的外围；其中，所述透气板能透过所述固定环而固定设置于所述壳体中，且所述固定环能使所述透气板与所述壳体之间形成气密的效果；其中，所述进气孔能与外部供气设备相连接，而外部供气设备所提供的气体能通过所述进气孔进入所述壳体中，并通过多个所述透气孔后，由所述出气口向外排出。

【技术特征摘要】
1.一种气帘装置，其特征在于，所述气帘装置包含：一壳体，其包含有至少一进气孔及至少一出气口；至少一透气板，其包含有多个透气孔；一固定环，其套设于所述透气板的外围；其中，所述透气板能透过所述固定环而固定设置于所述壳体中，且所述固定环能使所述透气板与所述壳体之间形成气密的效果；其中，所述进气孔能与外部供气设备相连接，而外部供气设备所提供的气体能通过所述进气孔进入所述壳体中，并通过多个所述透气孔后，由所述出气口向外排出。2.依据权利要求1所述的气帘装置，其特征在于，所述壳体包含有一环状构件及一盖板，所述环状构件为中空结构，而所述环状构件具有两个通口，两个所述通口彼此相互连通，其中一个所述通口定义为所述出气口，所述盖板固定设置于所述环状构件，且所述盖板对应密封非所述出气口的所述通口。3.依据权利要求2所述的气帘装置，其特征在于，所述环状构件于所述出气口处形成有一抵顶结构，所述抵顶结构能限制所述固定环相对于所述壳体的位置。4.依据权利要求3所述的气帘装置，其特征在于，所述盖板的一侧具有一限位结构，所述限位结构及所述抵顶结构能共同抵顶设置于所述壳体中的所述固定环。5.依据权利要求1所述的气帘装置，其特征在于，所述固定环为一体成型的弹性结构，且所述固定环内侧形成有一上缘限位部及一下缘限位部，所述上缘限位部及所述下缘限位部之间则对应形成有一卡合槽；所述固定环套设于所述透气板时，所述透气板对应固定设置于所述卡合槽中，且所述上缘限位部及所述下缘限位部能对应抵靠所述透气板彼此相反的两侧。6.一种晶圆盒载运设备，其特征在于，所述晶圆盒载运设备包含：一承载装置，其包含一平台及一充气模块，所述平台用以提供一晶圆盒设置，所述充气模块能受控制而对设置于所述平台上的所述晶圆盒的内部进行充气作业；一气帘装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑吉宸，叶秀珢，
申请(专利权)人：华景电通股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71