气帘装置及透气组件制造方法及图纸

一种气帘装置及透气组件，包含本体及透气组件

【技术实现步骤摘要】
气帘装置及透气组件


[0001]本专利技术关于一种气帘装置及可用于气帘装置的透气组件
。

技术介绍

[0002]在半导体制程中，需提供高度洁净的制程环境，且需保持例如晶圆盒的输送环境的洁净和干燥
。
为了在制程转换时，保持所有转换空间
(
例如制程门阀空间
)
都维持在高度洁净的状态，目前已有一种可形成气流墙的气帘装置设计，透过气流墙的吹净，可阻挡外部环境的微粒
、
脏污进入晶圆盒，避免晶圆受到外部环境的污染
。
然而，已知气帘装置中的透气板容易因长期承受较高风压而损坏，且在一些制程环境中，气帘装置整体可占用的空间会受到明显限制，而一旦缩小气帘装置的体积，容易导致气帘装置中进气口到透气板之间的空间不足，导致由气帘装置吹出的洁净气体的流速不均匀
。

技术实现思路

[0003]本专利技术的其他目的和优点可以从本专利技术实施例所揭露的技术特征中得到进一步的了解
。
[0004]本专利技术的一实施例提出一种气帘装置，包含本体及透气组件
。
本体设有至少一进气口，透气组件容置于本体内且包含第一透气板及第二透气板
。
第一透气板设有多个贯穿孔，第二透气板为具有多个微气孔的材料所构成，且由进气口进入本体内的气体通过第一透气板的贯穿孔后再由第二透气板释出
。
[0005]本专利技术的另一实施例提出一种透气组件，包含第一透气板及第二透气板
。
第一透气板设有进气面且具有多个贯穿孔，第二透气板设有一出气面且为具有多个微气孔的材料所构成，且洁净气体经由进气面进入透气组件且经由出气面释出
。
第二透气板的厚度大于第一透气板的厚度，且微气孔的孔径小于贯穿孔的孔径
。
[0006]本专利技术的另一实施例提出一种气帘装置，包含本体及单一透气板
。
本体包含相对的第一面及第二面，及连接于第一面及第二面的至少一侧面，且本体设有至少一进气口
。
单一透气板设于本体内且邻近第二面，单一透气板为具有微气孔的材料所构成且满足如下条件：
0.05≦T/H≦0.3
，其中
T
为单一透气板的厚度，且
H
为第一面与第二面沿垂直透气板方向上的距离
。
由进气口进入本体内的气体经由单一透气板以
0.1m/s
‑
2m/s
范围内的流速释出
。
[0007]本专利技术的气帘装置及透气组件具有如下至少其中之一的优点
。
借由本专利技术实施例的设计，因气体先通过第一透气板的多个贯穿孔再抵达第二透气板，多个贯穿孔可提供初步的整流作用而利于产生稳定的层流，使经由第二透气板释出的气体的流速更为均匀，且可降低具有微气孔的第二透气板所承受的风压，进而降低第二透气板因长期承受较高风压而损坏的机率
。
再者，在一些制程环境下，气帘装置整体可占用的空间会受到明显限制而减小本体内的空间，然而具有微气孔的透气板需有足够的厚度才能获得匀风的效果，因此若如已知设计采用两片具有微气孔的透气板，会导致整体厚度过高而使进气口到透气板之间的空间不足，导致由气帘装置吹出的洁净气体的流速不均匀
。
借由本专利技术实施例的设计，因
具有贯穿孔的透气板相对具有微气孔的透气板可具有较小的厚度，故可减少透气组件整体所占空间，如此即使气帘装置需应用在体积须缩减的环境中，进气口到透气板之间仍能维持可稳定发展流场的足够空间，获得均匀的出风流速
。
另一方面，借由改变多个贯穿孔的排列方式
、
孔径
、
间距等可调整的设计参数，可优化通过第一透气板的流场型态及流速，进一步提高第二透气板的抗风压能力及出风流速均匀性
。
再者，本专利技术另一实施例采用单一透气板的设计，当满足前述
0.05≦T/H≦0.3
的条件时，可在提供足够的空间发展稳定流场
、
以及提供足够的透气板厚度以均匀化出风流速两者间取得平衡点
。
[0008]为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下
。
附图说明
[0009]在此描述的附图仅用于解释目的，而不意图以任何方式来限制本专利技术公开的范围
。
另外，图中的各部件的形状和比例尺寸等仅为示意性的，用于帮助对本专利技术的理解，并不是具体限定本专利技术各部件的形状和比例尺寸
。
本领域的技术人员在本专利技术的教导下，可以根据具体情况选择各种可能的形状和比例尺寸来实施本专利技术
。
[0010]图1为本专利技术一实施例的气帘装置的示意图
。
[0011]图2为本专利技术一实施例的第一透气板的平面示意图
。
[0012]图
3A
为本专利技术一实施例的第二透气板的平面示意图，且图
3B
为图
3A
的局部
P
的结构放大示意图
。
[0013]图4为本专利技术另一实施例的气帘装置的示意图
。
[0014]图5为依本专利技术一实施例，显示第一透气板与第二透气板的配置方式的示意图
。
[0015]图6为本专利技术另一实施例的第一透气板的平面示意图
。
[0016]图
7A
为本专利技术另一实施例的气帘装置的示意图
。
[0017]图
7B
为本专利技术一实施例的本体组件的立体示意图
。
[0018]图8为依本专利技术一实施例，显示气帘装置应用于晶圆传载装置的示意图
。
[0019]附图标记说明
[0020]10、10a、10b
气帘装置
[0021]20
本体
[0022]20a
第一面
[0023]20b
第二面
[0024]20c
侧面
[0025]22
进气口
[0026]30
透气组件
[0027]32、34、36
透气板
[0028]321、322
贯通孔
[0029]32a
进气面
[0030]341
微气孔
[0031]34a
出气面
[0032]100
晶圆传载装置
[0033]102
承载单元
[0034]104
门组件
[0035]110
晶圆盒
[0036]112
接触盘面
[0037]114
活动门
[0038]D、H
距离
[0039]G
间隙
[0040]GS
气体
[0041]Gt
间隙厚度...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种气帘装置，其特征在于，所述气帘装置包含：一本体，设有至少一进气口；及一透气组件，容置于该本体内，且该透气组件包含：一第一透气板，设有多个贯穿孔；及一第二透气板，该第二透气板为具有多个微气孔的材料所构成，其中由该进气口进入该本体内的气体通过该第一透气板的多个该贯穿孔后再由该第二透气板释出
。2.
如权利要求1所述的气帘装置，其特征在于，该第一透气板的厚度小于该第二透气板的厚度
。3.
如权利要求1所述的气帘装置，其特征在于，多个该贯穿孔的孔径大于多个该微气孔的孔径
。4.
如权利要求1所述的气帘装置，其特征在于，多个该贯穿孔包含至少两种不同孔径，且较邻近该进气口的贯穿孔的孔径小于较远离该进气口的贯穿孔的孔径
。5.
如权利要求1所述的气帘装置，其特征在于，该本体包含相对的一第一面及一第二面，及连接于该第一面及该第二面的至少一侧面，该第一透气板与该第二透气板具有一间隙，该第一面较该第二面远离该第二透气板，且该气帘装置满足如下条件：
0.5≦Gt/D≦1
，其中
Gt
为该第一透气板与该第二透气板的该间隙的厚度，且
D
为该第一透气板与该本体的该第一面的距离
。6.
如权利要求1所述的气帘装置，其特征在于，该第一透气板的厚度范围为
0.1mm
‑
2mm
，该第二透气板的厚度范围为
2mm
‑
10mm
，多个该贯穿孔的孔径范围为
0.1mm
‑
10mm
，且多个该微气孔的孔径范围为
0.01mm
‑
1mm。7.
如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：许圣奇，胡瀚承，
申请(专利权)人：华景电通股份有限公司，
类型：发明
国别省市：