监控系统技术方案

一种监控系统，其特征在于，包含：第一监控模块、控制装置及第一讯号转换模块。第一监控模块电性连接湿度传感器、流量监控器以及流量开关。湿度传感器用以侦测场域的相对湿度。控制装置具有控制单元，控制单元控制流量开关的开启或关闭以决定是否进行充气。第一讯号转换模块用以电性连接控制装置及第一监控模块。模块用以电性连接控制装置及第一监控模块。模块用以电性连接控制装置及第一监控模块。

【技术实现步骤摘要】
监控系统


[0001]本技术是关于一种监控系统，特别的是一种可对应不同相对湿度数据提供不同充气速率的监控系统。

技术介绍

[0002]一般来说光罩(mask)及晶圆片(wafer)等半导体物料多数存放于盒体中保存，且为了避免储存时受到氧化或污染，必须在非氧化性气体之环境中保存。因此，光罩盒及晶圆盒必须储存在非氧化性气体环境中，以及要维持储存环境的相对湿度，方能确保光罩及晶圆片盒体之洁净。
[0003]现有存放光罩盒及晶圆盒之方式，是将光罩盒及晶圆盒存放于氮气柜中，再由管路连通至氮气瓶，并定时定量的持续补充氮气。为了确保光罩盒及晶圆盒保存环境之洁净，必须持续定时定量补充氮气于氮气柜中，然而，长期维持储存环境的相对湿度的成本费用较高，将会影响整体运营的收益。
[0004]因此，如何提供一种维持储存环境相对湿度的方式，并且能够有效降低成本费用已成为一个重要的课题。

技术实现思路

[0005]根据现有技术中所披露的问题，本技术的主要目的在于提供了一种监控系统，能够侦测环境的相对湿度数据，由控制单元控制流量开关以决定是否进行充本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种监控系统，其特征在于，包含:第一监控模块，电性连接湿度传感器、流量监控器及流量开关，所述湿度传感器侦测场域的相对湿度；控制装置，具有控制单元，所述控制单元控制所述流量开关的开启或关闭以决定是否进行充气；以及第一讯号转换模块，电性连接所述控制装置及所述第一监控模块。2.如权利要求1所述的监控系统，其特征在于，包含:无线射频辨识读取器，电性连接天线组件；以及第二讯号转换模块，电性连接所述控制装置及所述无线射频辨识读取器。3.如权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述第一监控模块是I/O电路板或是模拟电路板。4.如权利要求1所述的监控系统，其特征在于，包含第二监控模块，电性连接所述第一讯号转换模块与含氧量传感器、压力传感器、温度传感器及露点传感器的至少其中一个。5.如权利要求4所述的监控系统，其特征在于，所述第二监控模块是I/O电...

【专利技术属性】
技术研发人员：王咏勤，林祺浩，
申请(专利权)人：华景电通股份有限公司，
类型：新型
国别省市：