下载气帘装置及晶圆盒载运设备的技术资料

文档序号:19366958

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种气帘装置包含:壳体、透气板及固定环。固定环套设于透气板的外围。透气板能透过固定环而固定设置于壳体中,且固定环能使透气板与壳体之间形成气密。壳体与外部供气设备相连接时,外部供气设备所提供的气体能通过透气板后均匀地向外排出。气帘装置透过固定...
该专利属于华景电通股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华景电通股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。