下载一种硅片清洗用周转盘的技术资料

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本实用新型涉及硅片清洗设备技术领域,且公开了一种硅片清洗用周转盘,包括底座,所述底座的上表面中部开设有电机槽,所述电机槽内固定连接有电机,所述电机槽的上方固定连接有防护框,所述电机的输出端贯穿防护框并延伸至防护框的上方与转轴固定连接,所述转...
该专利属于苏州德瑞姆超声科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州德瑞姆超声科技有限公司授权不得商用。

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