本发明专利技术使隔热部件的加工性与加工精度提高。真空泵包括基座(3)、在壳体内旋转的马达、由马达旋转驱动的转子圆筒部(42)、设置在转子圆筒部(42)与基座(3)之间的定子(20)、及设置在定子(20)与基座(3)之间的隔热部件(50)。隔热部件(50)包括圆筒形状的圆筒部(51)、及设置于圆筒部(51)的内周面的加工用被夹持部即突部(52)。
Vacuum pump
The invention improves the machinability and processing accuracy of the insulation parts. The vacuum pump comprises a base (3), a motor rotating in the housing, a rotor cylinder part (42) driven by the motor rotation, a stator (20) arranged between the rotor cylinder part (42) and the base (3), and an insulating part (50) arranged between the stator (20) and the base (3). The heat insulation component (50) includes a cylindrical portion (51) in cylindrical shape and a clamping portion (52) for machining an inner circumference of the cylindrical portion (51).
【技术实现步骤摘要】
真空泵
本专利技术涉及一种真空泵。
技术介绍
对于利用涡轮分子泵使腔室内成为高真空而进行化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition，CVD)成膜或蚀刻的装置来说，根据排出气体的种类，气体会在泵内部凝聚，生成物容易附着在泵内。已知有如下涡轮分子泵，所述涡轮分子泵为了抑制此种生成物附着于螺杆槽泵段等，隔着隔热部件将定子(stator)固定于壳体，由此来抑制定子温度的下降(例如参照专利文献1)。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2015-151932号公报。
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]但是，所述专利文献并未涉及隔热部件的与壳体或定子接触的接触面的机械加工。[解决问题的技术手段](1)本专利技术的一形态的真空泵包括：泵框体；马达，在泵框体内旋转；转子，由马达旋转驱动；定子，设置在转子与泵框体之间；以及隔热部件，设置在定子与泵框体之间，隔热部件包括圆筒形状的主体、及设置于主体的内周面及外周面中的至少一个面的加工用被夹持部。(2)优选隔热部件在主体的内周面及外周面分别包括加工用被夹持部。(3)更优选的形态的真空泵的主体包括沿着轴方向分割而成的至少第一圆筒部及第二圆筒部，第一圆筒部及第二圆筒部各自在所述内周面及外周面中的至少一个面分别包括加工用被夹持部。(4)更优选的形态的真空泵在隔热部件的圆筒形状的主体的上下两端，未形成沿着外周方向延伸的凸缘。[专利技术的效果]根据本专利技术，能够提供如下隔热部件，即使将加工对象部位加工为薄壁，隔热部件的圆筒形状的主体也不会变形，且加工精度高。。附图说明图1是表示真空泵的一例即涡轮分子泵的图。图2是图1的点划线的圆所包围的部分的放大图。图3是沿着圆筒的轴方向将隔热部件切断所得的示意性立体剖视图。图4是示意性地表示利用加工夹具夹持着突部的状态的剖视图。图5是表示变形例的图。图6是表示变形例的图。图7是表示变形例的图。【主要元件符号说明】1：泵单元2：控制单元3：基座4：泵转子(转子)5：轴10：马达定子11：马达转子20：定子21、301：段部21a：下表面21b、301b：侧面30：泵壳30a：卡止部31：固定叶片33：垫圈34、35、36：磁轴承37a、37b：机械轴承38：排气管41：旋转叶片42、51、51B、51a～51c：圆筒部45：加热器50、50A、50B：隔热部件52、52A：突部53：上端面(上端部)54：上部接触面(内周面)55：下端面(下端部)56：下部接触面(外周面)90、90A：加工夹具100：涡轮分子泵301a：上表面A：圆a、b、c、d、e：点划线箭头M：马达RY：旋转体单元具体实施方式以下，参照图来对本专利技术的实施方式进行说明。图1是表示本实施方式的真空泵的一例即涡轮分子泵的图。涡轮分子泵100包括进行真空排气的泵单元(pumpunit)1、与对泵单元1进行驱动控制的控制单元(controlunit)2。泵单元1包括：涡轮泵段，包含旋转叶片41与固定叶片31；以及牵引泵段(螺杆槽泵段)，包含圆筒部42与定子20。在螺杆槽泵段中，在定子20或圆筒部42中形成有螺杆槽。旋转侧排气功能部即旋转叶片41及圆筒部42形成于泵转子(pumprotor)4。泵转子4紧固于轴5。由泵转子4与轴5构成旋转体单元RY。多段的固定叶片31在轴方向上与旋转叶片41交替地配置。各固定叶片31隔着垫圈(spacerring)33而载置在基座3上。将泵壳(pumpcasing)30螺固于基座3后，层叠的垫圈33夹在基座3与泵壳30的卡止部30a之间，固定叶片31被定位。定子20隔着隔热部件50而安装于基座3。隔热部件50将在后文中详述。基座3上设置有排气管38。再者，泵壳30与基座3构成泵框体。图1所示的涡轮分子泵100是磁悬浮式的涡轮分子泵，旋转体单元RY由设置于基座3的磁轴承34、磁轴承35、磁轴承36非接触地支撑。旋转体单元RY由马达M旋转驱动。马达M包括马达定子(motorstator)10与马达转子(motorrotor)11。在磁轴承不工作时，旋转体单元RY由备用的机械轴承(mechanicalbearing)37a、机械轴承37b支撑。在基座3的外周，设置有用以对基座3的温度进行控制的加热器45及未图示的冷却水配管。所述加热器45是设置于基座3的温度调节装置，设置所述加热器45的目的在于将排气管38的温度调节至气体升华温度附近，使得气体生成物不会堆积于基座3附近例如排气管38。图2是图1的点划线的圆A所包围的部分的放大图，图3是沿着圆筒的轴方向将隔热部件50切断所得的示意性立体剖视图。再者，图2中省略了加热器45的记载。如图2所示，定子20隔着隔热部件50而载置在基座3上，且由未图示的螺栓固定。如图3所示，隔热部件50是呈圆筒形状的部件，包括圆筒部51、与在圆筒部51的内周面向直径方向内侧突出的突部52。隔热部件50包含例如像不锈钢等那样的热传导率比铝合金制的定子20或基座3等更小的材料。在本实施方式中，遍及圆筒部51的整个圆周方向地设置有突部52。如上所述，隔热部件50利用上部与定子20抵接，并利用下部与基座3抵接。即，遍及定子20的整个外周部地设置有与隔热部件50抵接的段部21。段部21包括下表面21a与侧面21b。下表面21a与隔热部件50的圆筒部51的上端面53抵接，侧面21b与上部接触面54接触，所述上部接触面54设置于隔热部件50的圆筒部51的内周面上部。另外，在基座3的整个内周部地设置有与隔热部件50抵接的段部301。段部301包括上表面301a与侧面301b。上表面301a与隔热部件50的圆筒部51的下端面55抵接，侧面301b与下部接触面56接触，所述下部接触面56设置于隔热部件50的圆筒部51的外周面下部。如下所述，上部接触面54及下部接触面56的加工精度会影响隔热部件50的定位精度。近年来，在液晶领域或半导体领域中，微细化、高性能化的要求提高。另外，随着所使用的气体种类的多样化，堆积于泵内部的生成物的量增多。因此，要求将容易堆积生成物的泵结构部件的温度设定得更高。另一方面，还要求将转子内筒部与定子20之间的间隙设定为例如1mm以下来提高泵性能。为了满足这些规格，近年来的真空泵有时采用如下构造，即，使隔热部件50介于定子20与基座3之间，并且将隔热部件50嵌合于定子20与基座3来进行定位。若参照图2进行说明，则此种真空泵采用如下构造，即，隔热部件50的上部接触面54及下部接触面56分别嵌合于定子20的侧面21b及基座3的侧面301b。另外，定子20与隔热部件50之间的接触面、及隔热部件50与基座3之间的接触面需要通过金属接触进行真空密封。因此，需要对隔热部件50的内周面及外周面的至少一部分进行机械加工，在本例中，需要对上部接触面54及下部接触面56进行机械加工。也对定子20与基座3之间的接触面实施机械加工，通过金属接触形成真空密封构造。以下，说明隔热部件对于热传递的抑制，然后，对隔热部件的机械加工用夹持部进行说明。-热传递抑制-定子20因来自圆筒部42的辐射热、或与排出气体之间的摩擦热而被加热，温度上升。如图2的点划线箭头a、b所示，定子20的热主要从定子20的段部21的下表面21a及侧面21b传递至隔热本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种真空泵，其特征在于包括：泵框体；马达，在所述泵框体内旋转；转子，由所述马达旋转驱动；定子，设置在所述转子与所述泵框体之间；以及隔热部件，设置在所述定子与所述泵框体之间，所述隔热部件包括圆筒形状的主体、及设置于所述主体的内周面及外周面中的至少一个面的加工用被夹持部。
【技术特征摘要】
2017.03.29 JP 2017-0659481.一种真空泵，其特征在于包括：泵框体；马达，在所述泵框体内旋转；转子，由所述马达旋转驱动；定子，设置在所述转子与所述泵框体之间；以及隔热部件，设置在所述定子与所述泵框体之间，所述隔热部件包括圆筒形状的主体、及设置于所述主体的内周面及外周面中的至少一个面的加工用被夹持部。2.根据权利要求1所述的真空泵，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：坪川彻也，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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