真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法。真空泵装置(1)具备主泵(10)和增压泵(20)。各泵具备进气口(11a、21a)和排气口(11b、21b)。主泵(10)的进气口(11a)与增压泵(20)的排气口(21b)连通。开关接受用于使主泵(10)启动的启动指示。在开关接受启动指示而主泵10启动时，基于启动指示来判定是否启动增压泵20，进而启动增压泵20。由此，能够提供一种与以往相比小型并且低成本的真空泵。

Vacuum pump device and operation control method for vacuum pump device

The invention relates to a vacuum pump device and a running control method for a vacuum pump device. The vacuum pump device (1) has a main pump (10) and a booster pump (20). Each pump has an intake port (11a, 21a) and an exhaust port (11b, 21b). The intake port (11a) of the main pump (10) is connected with the exhaust port (21b) of the booster pump (20). The switch accepts start-up instructions to enable the main pump (10) to start. When the switch accepts the start-up instruction and the main pump 10 starts, it is determined whether to start the supercharged pump 20 based on the start-up instruction, and then the supercharged pump 20 is started. Thus, a small and low cost vacuum pump can be provided.

【技术实现步骤摘要】
真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法
本专利技术涉及一种具备主泵及增压泵的真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法。
技术介绍
近年，能够在大气压下动作且容易得到干净的真空环境的干式真空泵作为半导体制造设备的组件或者作为液晶的制造设备等而被使用于广阔的领域。以往，在内置主泵(MP)和增压泵(BP)的干式真空泵的运转中，泵控制部、压力传感器、主泵逆变器以及增压泵逆变器被使用。并且，在增压泵的启动中，压力传感器是必要的。其理由如下。主泵和增压泵分别具备进气口和排气口，主泵的进气口与增压泵的排气口连通。增压泵的进气口是真空泵装置的进气侧，主泵的排气口是真空泵装置的排气侧。在连接增压泵的排气口与主泵的进气口的配管配置有压力传感器。压力传感器对该配管内的压力进行检测。启动增压泵的时机为：泵控制部判断由压力传感器检测出的压力值是否适当，若适当，则泵控制部将启动信号输出到增压泵逆变器。不同时启动主泵和增压泵的理由如下。因为对于增压泵来说，若增压泵与主泵之间的配管的压力未变为规定压力以下的真空，则增压泵的负载大，增压泵不能稳定地运转。因此，在通过主泵的运转而将主泵与增压泵之间的配管真空化之后启动增压泵。干式真空泵的启动、停止以往如以下那样进行。通过使用者的启动开关的操作而启动主泵。泵控制部判断主泵与增压泵之间的配管的压力是否变为规定压力以下的真空。当判断为变为规定压力以下的真空时，泵控制部对增压泵逆变器发送指令而启动增压泵。当通过使用者的停止开关的操作或者主泵内的警报发生而停止主泵时，泵控制部对增压泵逆变器发送指令而停止增压泵。另一方面，当通过增压泵内的警报发生而停止增压泵时，泵控制部判断是否停止主泵，在判断为不需要停止主泵时，主泵不停止。其理由如下。即使增压泵停止，但若主泵运转，则应该为真空的容器内的压力上升的速度被抑制。另外，也是因为在增压泵的停止是根据增压泵特有的理由而停止的情况下，主泵被认为是正常的。因此，是否使主泵的运转持续，依赖于真空系统的使用者或者设计者的设计思想。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第4218756号在以往的内置主泵和增压泵的干式真空泵中，为了适当地进行增压泵的启动，需要压力传感器和压力传感器的信号处理电路。因此，需要压力传感器用的设置空间，使真空泵大型化。另外，用于压力传感器和其信号处理电路的成本导致真空泵造价高。
技术实现思路
本专利技术的一个方式是为了消除这样的问题而完成的，其目的在于提供一种与以往相比更小型并且低成本的真空泵。为了解决上述课题，在第一方式中采用如下结构的运转控制装置，该运转控制装置用于具备主泵和增压泵的真空泵装置，其特征在于，所述各泵具备进气口和排气口，所述主泵的进气口与所述增压泵的排气口连通，所述增压泵的进气口是所述真空泵装置的进气侧，主泵的排气口是所述真空泵装置的排气侧，所述运转控制装置具备：启动指示接受部，该启动指示接受部接受用于使所述主泵启动的启动指示；以及增压泵启动部，该增压泵启动部在所述启动指示接受部接受所述启动指示而所述主泵启动时，基于所述启动指示来判定是否启动所述增压泵，进而启动所述增压泵。在本实施方式中，没有压力传感器和压力传感器的信号处理电路，并且不使用压力传感器就能够启动主泵和增压泵。因此，在启动指示接受部接受启动指示而主泵启动时，增压泵启动部基于启动指示来判定是否启动增压泵，进而启动增压泵。由于没有压力传感器和压力传感器的信号处理电路，因此能够提供一种与以往相比小型并且低成本的真空泵。即使无压力传感器也能够运转的理由如下。以往，不同时启动主泵和增压泵的理由是因为，对于增压泵来说，若增压泵与主泵之间的配管内的压力未变为规定压力以下的真空，则增压泵的负载较大，增压泵不能稳定运转。以往，在通过主泵的运转而使主泵与增压泵之间的配管真空化之后，启动增压泵。在主泵的启动后，当其转速超过规定的值且经过规定的时间时，主泵与增压泵之间的压力被推测为变为能够启动增压泵的级别的压力。这是由于，主泵的进气侧(上级侧)的容积并非无限大。在真空泵装置的进气侧设置有应变为真空的容器。干式真空泵对该容器内的气体进行排气而使容器内变为真空。容器的体积有限，因此主泵的进气侧(上级侧)的容积并非无限大。由以上可知，仅知道在主泵的启动后经过了规定的时间，就能够安全地启动增压泵。另外，当在主泵的停止后仅经过短时间时，配管内的真空度大致不降低，因此能够在主泵的启动后，立即安全地启动增压泵。能够启动增压泵所需的时间，或者，能够启动所需的主泵的转速能通过实验等确定。然而，在设想外的事态的情况下，即，在容器的容积远比泵设计时的设想大的情况、容器因失误等而未被密闭的情况、因破损等而相对于容器有从外部流入气体的情况下，有以下的处置方法。在这样的情况下，有时即使主泵变为规定转速且经过预定的时间，主泵与增压泵之间的压力也未达到使增压泵稳定运行的充分的真空。在该情况下，流到增压泵用马达的电流变大，因此利用增压泵的逆变器装置对增压泵用马达的电流进行检测，并生成增压泵过电流警报。当检测到增压泵过电流警报时使增压泵停止。此外，将表示增压泵的停止的信号从增压泵用的逆变器装置的数字输出部传递到主泵逆变器装置的数字输入部，从而使主泵停止，使泵系统安全地停止。在第二方式中采用如下结构的运转控制装置，其特征在于，所述增压泵启动部在所述启动指示接受部接受了所述启动指示时判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。在第三方式中采用如下结构的运转控制装置，其特征在于，在所述启动指示接受部接受了所述启动指示之后并且经过了规定时间时，所述增压泵启动部判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。在第四方式中采用如下结构的运转控制装置，其特征在于，在所述启动指示接受部接受了所述启动指示之后，并且经过所述规定时间且所述主泵的转速为规定数以上时，所述增压泵启动部判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。在第五方式中采用如下结构的运转控制装置，其特征在于，在所述启动指示接受部接受了所述启动指示之后，经过所述规定时间且所述主泵的转速为规定数以上，并且驱动所述主泵的马达的电流值为规定值以下时，所述增压泵启动部判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。在本实施方式中，在驱动主泵的马达的电流值为规定值以下时，判定为能够启动增压泵的理由如下。由于没有压力传感器，因此不能实际测量主泵与增压泵之间的压力，因此是否达到增压泵的稳定运行所需要的压力要根据实验等的结果推测。使该推测的精度提高的一个方法是本实施方式的方法。在本实施方式中，当主泵达到规定的转速时，监视主泵的电流，并且若在主泵的电流下降到规定的值之后经过了规定的时间，则启动增压泵。流到主泵马达的电流与被导入到主泵的气体的流量成比例。即，在开始运转后不久，容器内压力高的情况下，主泵电流高。当容器内的气体被排气而主泵上级的压力降低时，主泵的电流降低。根据该事实，基于转速、电流及时间来进行推测与基于转速、时间来进行推测相比，能够更高精度地推测主泵的上级侧的压力。因此，能够可靠地把握增压泵的旋转开始的条件成立的情况，能够降低增压泵启动时的警报发生的可能性。在第六方式中采用如下结构的运转控制装置，其特征在于，所述运转控制装置具备：停止指示接受部，该停止指示接受部接受用于使所述主泵本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵装置，具备主泵和增压泵，所述真空泵装置的特征在于，各所述泵具备进气口和排气口，所述主泵的进气口与所述增压泵的排气口连通，所述增压泵的进气口是所述真空泵装置的进气侧，主泵的排气口是所述真空泵装置的排气侧，所述真空泵装置具备：指示接受部，该指示接受部接受用于使所述主泵启动的启动指示或者用于使所述主泵停止的停止指示，并且输出开关信号；主泵逆变器，该主泵逆变器接受被输出的所述开关信号而使所述主泵启动或者停止，并且输出用于指示所述增压泵的启动/停止的启动/停止信号；以及增压泵逆变器，该增压泵逆变器对从所述主泵逆变器输出的启动/停止信号进行检测而使所述增压泵启动或者停止。

【技术特征摘要】
2017.04.12 JP 2017-0789151.一种真空泵装置，具备主泵和增压泵，所述真空泵装置的特征在于，各所述泵具备进气口和排气口，所述主泵的进气口与所述增压泵的排气口连通，所述增压泵的进气口是所述真空泵装置的进气侧，主泵的排气口是所述真空泵装置的排气侧，所述真空泵装置具备：指示接受部，该指示接受部接受用于使所述主泵启动的启动指示或者用于使所述主泵停止的停止指示，并且输出开关信号；主泵逆变器，该主泵逆变器接受被输出的所述开关信号而使所述主泵启动或者停止，并且输出用于指示所述增压泵的启动/停止的启动/停止信号；以及增压泵逆变器，该增压泵逆变器对从所述主泵逆变器输出的启动/停止信号进行检测而使所述增压泵启动或者停止。2.根据权利要求1所述的真空泵装置，其特征在于，所述主泵逆变器构成为：能够在所述主泵启动之后输出用于指示所述增压泵的启动的启动信号，所述增压泵逆变器构成为：基于从所述主泵逆变器输出的所述启动信号来判定是否启动所述增压泵，进而启动所述增压泵。3.根据权利要求1所述的真空泵装置，其特征在于，在所述指示接受部接受了所述启动指示时，所述增压泵逆变器判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。4.根据权利要求1所述的真空泵装置，其特征在于，在所述指示接受部接受了所述启动指示之后，并且经过了规定时间时，所述增压泵逆变器判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。5.根据权利要求4所述的真空泵装置，其特征在于，在所述指示接受部接受了所述启动指示之后，并且经过所述规定时间且所述主泵的转速为规定数以上时，所述增压泵逆变器判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。6.根据权利要求5所述的真空泵装置，其特征在于，在所述指示接受部接受了所述启动指示之后，并且经过所述规定时间且所述主泵的转速为规定数以上，并且驱动所述主泵的马达的电流值为规定值以下时，所述增压泵逆变器判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：林介元，岩崎弘一，大须贺透，石井勇次，河嶌浩康，岛田圣二，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP