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本发明涉及一种真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法。真空泵装置(1)具备主泵(10)和增压泵(20)。各泵具备进气口(11a、21a)和排气口(11b、21b)。主泵(10)的进气口(11a)与增压泵(20)的排气口(21b)连通。开关...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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