The utility model provides an ion source for electronic rotary resonance. The utility model comprises a waveguide for feeding the energy of a microwave source into a vacuum chamber, a gas source pipeline for introducing ionized gas source materials into a vacuum chamber, a solid source pipeline for introducing ionized solid source materials into a vacuum chamber, a conical iron, a bias plate and a cooling waveguide tube, a conical iron and a bias. The conical iron is located between the installation flange and the bias plate, and the conical end of the conical iron is close to the bias plate. The bias plate is fixed to the conical iron by screws; the waveguide pipe, the gas source pipe and the solid source pipe penetrate the installation flange, the conical iron and the bias plate into the vacuum chamber respectively, and the installation flange is also provided with the bias plate. The vacuum coaxial voltage terminal applies voltage to the bias plate through the wire. The utility model can generate high charge state ions by introducing microwave of different frequencies through a waveguide tube, and the gas source pipeline and the solid source pipeline are arranged to realize the ionization of various elements.
【技术实现步骤摘要】
一种用于电子回转共振的离子源
本技术涉及一种离子源,尤其涉及一种用于电子回转共振的离子源。
技术介绍
电子回旋共振离子源是使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、电磁同位素分离器、离子注入机、离子推进器等设备的不可缺少的组成部分。电子回旋共振离子源最早是由法国的Geller等在上世纪60年代末研制成功,早期电子回旋共振离子源因消耗功率巨大,限制了它的实际应用。后来在法国的Grennoble和美国的Berkeley实验室采用了永磁技术,性能大大提高,先后在离子注入、等离子体物理、微细加工技术、金刚石薄膜制备和化学气相沉积等许多领域得到了广泛的应用。中国科学院近代物理研究所上世纪90年代初从法国引进了第一台高电荷态电子回旋共振离子源,在此基础上,已研制出具有多台先进水平的电子回旋共振离子源,但是涉及大型的离子源占绝大多数,小型化的则寥寥无几,且现有技术可离子化种类单一、构件损坏后不能及时维护,造成了很大的不便。
技术实现思路
根据上述提出的技术问题,而提供一种用于电子回旋共振的离子源。本技术可通过波导管导入不同频率的微波,产生高电荷态离子;设置气体源管路和固体源管路,实现对多种元素的离子化。本技术采用的技术手段如下:一种用于电子回转共振的离子源,包括:将微波源的能量馈入真空腔室内的波导管、将需要离子化的气体源材料导入真空腔室的气体源管路、将需要离子化的固体源材料导入真空腔室的固体源管路、锥形铁、偏压盘和冷却所述波导管、锥形铁和偏压盘的水冷机构;所述锥形铁位于所述安装法兰和所述偏压盘之间,且所述锥形铁的锥形端靠近所述偏压盘,扁平端靠近所 ...
【技术保护点】
1.一种用于电子回转共振的离子源,其特征在于,包括:将微波源的能量馈入真空腔室内的波导管、将需要离子化的气体源材料导入真空腔室的气体源管路、将需要离子化的固体源材料导入真空腔室的固体源管路、锥形铁、偏压盘和冷却所述波导管、锥形铁和偏压盘的水冷机构;所述锥形铁位于安装法兰和所述偏压盘之间,且所述锥形铁的锥形端靠近所述偏压盘,扁平端靠近所述安装法兰,所述偏压盘通过螺钉固接于所述锥形铁;所述波导管一端连接微波源,另一端依次穿过安装法兰、所述锥形铁、所述偏压盘伸入真空腔室中,所述波导管与安装法兰固接,所述波导管与所述锥形铁和所述偏压盘之间留有间隙;所述气体源管路依次穿过所述安装法兰、所述锥形铁、所述偏压盘伸入真空腔室中,所述气体源管路与所述安装法兰和所述锥形铁固接,所述气体源管路与所述偏压盘之间留有间隙;所述固体源管路依次穿过所述安装法兰、所述锥形铁、所述偏压盘伸入真空腔室中,所述固体源管路与所述安装法兰和所述锥形铁固接,所述固体源管路与所述偏压盘之间留有间隙;所述安装法兰上还设有真空同轴电压端子,通过导线给偏压盘施加电压。
【技术特征摘要】
1.一种用于电子回转共振的离子源,其特征在于,包括:将微波源的能量馈入真空腔室内的波导管、将需要离子化的气体源材料导入真空腔室的气体源管路、将需要离子化的固体源材料导入真空腔室的固体源管路、锥形铁、偏压盘和冷却所述波导管、锥形铁和偏压盘的水冷机构;所述锥形铁位于安装法兰和所述偏压盘之间,且所述锥形铁的锥形端靠近所述偏压盘,扁平端靠近所述安装法兰,所述偏压盘通过螺钉固接于所述锥形铁;所述波导管一端连接微波源,另一端依次穿过安装法兰、所述锥形铁、所述偏压盘伸入真空腔室中,所述波导管与安装法兰固接,所述波导管与所述锥形铁和所述偏压盘之间留有间隙;所述气体源管路依次穿过所述安装法兰、所述锥形铁、所述偏压盘伸入真空腔室中,所述气体源管路与所述安装法兰和所述锥形铁固接,所述气体源管路与所述偏压盘之间留有间隙;所述固体源管路依次穿过所述安装法兰、所述锥形铁、所述偏压盘伸入真空腔室中,所述固体源管路与所述安装法兰和所述锥形铁固接,所述固体源管路与所述偏压盘之间留有间隙;所述安装法兰上还设有真空同轴电压端子,通过导线给偏压盘施加电压。2.根据权利要求1所述的用于电子回转共振的离子源,其特征在于,所述水冷机构包括冷却水管和绝缘贯通件,所述冷却水管通过绝缘贯通件分成绝缘的前段和后段,所述冷却水管的后段固接于所述安装法兰,所述冷却水管的...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭方准,石晓倩,于荣环,董华军,臧侃,
申请(专利权)人:大连交通大学,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
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