【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉自冷却装置
本技术涉及一种单晶炉自冷却装置。
技术介绍
冷却系统对于单晶炉来说是较重要的一个部分,如果冷却效果不好或冷却不均容易造成单晶炉在工作时局部受热严重而影响单晶体的提拉效果,严重时甚至烧坏单晶炉。目前常用的单晶炉冷却系统由水套与水管构成,其安装在坩埚杆下方,无法直接接触内部带热部件,使得停炉冷却效果不好,同时停炉冷却系统与运行冷却系统不同,需要额外增加部件,使得其冷却系统的成本增加。该种结构的冷却系统容易造成水管随着坩埚杆升降和旋转的过程中不稳定,甚至出现倾斜,则从水管中流出的冷却水在水管外壁与坩埚杆空腔壁之间流动,存在单晶炉冷却不均的风险。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶炉自冷却装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种单晶炉自冷却装置,包括下炉室、钳锅旋转装置、上炉盖,上炉室和晶体旋转及升降装置,其中上炉室包括加热器、钳锅石墨托和钳锅托杆,还包括上冷却系统、主冷却系统和控制箱,其中所述主冷却系统包括主冷却盘管和副冷却管,所述主冷却盘管设在加热器和钳锅石墨托之间,所述主冷却盘管的下方设有安装盘并固定在 ...
【技术保护点】
1.一种单晶炉自冷却装置,包括下炉室、钳锅旋转装置(6)、上炉盖(2),上炉室(1)和晶体旋转及升降装置,其中上炉室(1)包括加热器、钳锅石墨托和钳锅托杆(11),其特征在于:还包括上冷却系统、主冷却系统和控制箱(7),其中所述主冷却系统包括主冷却盘管(8)和副冷却管(9),所述主冷却盘管(8)设在加热器和钳锅石墨托之间,所述主冷却盘管(8)的下方设有安装盘(81)并固定在钳锅托杆(11)上,所述主冷却盘管(8)下端延伸至上炉室(1)外部并在器尾端设有进水阀A (83)和出水阀A (82),所述进水阀A (83)和出水阀A (82)通过出水管(12)与控制箱(7)相连,所述 ...
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉自冷却装置,包括下炉室、钳锅旋转装置(6)、上炉盖(2),上炉室(1)和晶体旋转及升降装置,其中上炉室(1)包括加热器、钳锅石墨托和钳锅托杆(11),其特征在于:还包括上冷却系统、主冷却系统和控制箱(7),其中所述主冷却系统包括主冷却盘管(8)和副冷却管(9),所述主冷却盘管(8)设在加热器和钳锅石墨托之间,所述主冷却盘管(8)的下方设有安装盘(81)并固定在钳锅托杆(11)上,所述主冷却盘管(8)下端延伸至上炉室(1)外部并在器尾端设有进水阀A(83)和出水阀A(82),所述进水阀A(83)和出水阀A(82)通过出水管(12)与控制箱(7)相连,所述钳锅托杆(11)尾端连接钳锅旋转装置(6);所述副冷却管(9)安装在上炉盖(2)内并且其向内设有副冷却盘管(92),所述副冷却管(9)上设有温度传感器(91)和循环泵(93),所述副冷却管(9)和控制箱(7)之间设有进水阀B和出水阀B;所述上冷却管(10)设在上炉腔(3)内壁,所述上冷却管(10)的上端与晶体旋转及升降装置上的连杆相连,其下端设有出水管(12),所述出水管(12)与上炉腔(3)相连,所述出水管(12)与上冷却管(10)之间设有流量控制阀(101),所述上冷却管(10)和副冷却盘管(92)相互连通,并由控制箱(7)控制水流循环。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉自冷却装置,其特征在于:所述控制箱(7)内设有控制器、冷水箱、循环泵(93)和冷凝器,所述控制箱(7)表面设有控制面板,所述温度传感器(91)、流量控制阀(101)、循环泵(93)、冷凝器、进水阀A(83)和出水阀A(82)以及进水阀B和出水阀B均与控制器电性连接。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉自冷却装置,其特征在于:所述控制器分为运行冷却控制器和停炉冷却控制器,所述运行冷却控...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈晓达,王根强,孙健,
申请(专利权)人:河北胤丞光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:河北,13
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