一种可调节式单晶炉坩埚制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可调节式单晶炉坩埚，包括基座，所述基座上端固定设置有坩埚底部调节机构，所述坩埚底部调节机构包括导轨座，所述导轨座侧壁固定设置有丝杆，所述丝杆侧壁通过螺纹套活动连接有坩埚轴，所述坩埚轴上端外侧固定设置有波纹管，所述坩埚轴下端外侧固定设置有埚转磁流体，所述埚转磁流体远离导轨座的一端固定设置有埚转电机，所述坩埚轴下端固定连接有旋转接头。本实用新型专利技术公开了一种可调节式单晶炉坩埚，可以在制备单晶时使内部的坩埚在垂直方向进行上升和下降，也可以使坩埚进行旋转，还可在副炉室内坩埚提升到位时缓慢旋开和快速旋闭，实现取单晶过程的自动化动作，使用更安全可靠，值得推广。

【技术实现步骤摘要】
一种可调节式单晶炉坩埚
本技术涉及单晶炉用坩埚
，尤其涉及一种可调节式单晶炉坩埚。
技术介绍
直拉式单晶炉是生产太阳能电池用单晶硅和集成电路及单晶硅的的主要设备，随着太阳能电池硅材料的尺寸越来越大，以及集成电路对单晶材料的品质要求越来越高，对与之相对应的单晶生长设备的自动化程度和长期使用的稳定性提出了更高的要求，在用直拉法生长单晶的过程中，要将多晶料置于石英坩埚中，经过高温回执使其熔化为多晶硅熔液，籽晶由顶部下降到多晶熔液中，控制液面的温度使多晶熔液在籽晶周围重新结晶，生成排列整齐的单晶硅棒，多晶硅熔液面的稳定性，直接影响单生产的品质。单晶炉中对坩埚的调节比较重要，再单晶炉制备单晶的过程中，坩埚的有效调节对单晶炉的性能起着非常重要的作用，所以，需要提出一种可调节式的单晶炉坩埚，方便对坩埚进行有效的调节。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种可调节式单晶炉坩埚。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种可调节式单晶炉坩埚，包括基座，所述基座上端固定设置有坩埚底部调节机构，所述坩埚底部调节机构包括导轨座，所述导轨座侧壁固定设置有丝杆，所述丝杆侧壁通过螺纹套活动连接有坩埚轴，所述坩埚轴上端外侧固定设置有波纹管，所述坩埚轴下端外侧固定设置有埚转磁流体，所述埚转磁流体远离导轨座的一端固定设置有埚转电机，所述坩埚轴下端固定连接有旋转接头，所述坩埚底部调节机构上端固定设置有主坩埚炉室，所述主坩埚炉室侧壁上端固定设置有气压表，所述主坩埚炉室上端固定设置有炉盖，所述炉盖上端固定设置有隔离阀座，所述隔离阀座前端固定设置有圆门，所述圆门中部固定设置有圆形观察窗，所述隔离阀座上端固定设置有副坩埚炉室，所述副坩埚炉室内部固定设置有箱体，所述箱体上端面一侧固定设置有蜗轮减速箱，所述蜗轮减速箱的输入端固定连接有伺服电机，所述蜗轮减速箱的输出端固定连接有输出轴，所述输出轴远离蜗轮减速箱的一端固定连接有小带轮，所述箱体远离蜗轮减速箱的一端内部固定设置有铜套，所述铜套上端外侧固定设置有盖板，所述铜套外壁固定连接有大带轮，所述大带轮和小带轮之间固定设置有同步带，所述副坩埚炉室上端固定设置有晶体提升旋转机构。作为上述技术方案的进一步描述：所述坩埚底部调节机构底部两侧均固定设置有调整垫铁。作为上述技术方案的进一步描述：所述晶体提升旋转机构包括晶升底板，所述晶升底板下端固定设置有晶转磁流体、导电滑环和晶转电机，所述晶升底板上端固定设置有慢速电机、快速电机和称重装置。作为上述技术方案的进一步描述：所述主坩埚炉室前端面上部固定设置有测温计窗口。作为上述技术方案的进一步描述：所述炉盖前端固定设置有操作者观察窗。作为上述技术方案的进一步描述：所述隔离阀座一侧壁固定设置有两个籽晶位置检测窗口。作为上述技术方案的进一步描述：所述副坩埚炉室前端面上部固定设置有圆形法兰，所述圆形法兰中部固定设置有圆形观察窗。作为上述技术方案的进一步描述：所述主坩埚炉室侧部固定设置有控制箱，所述控制箱与坩埚底部调节机构、主坩埚炉室、隔离阀座、副坩埚炉室和晶体提升旋转机构内部均电性连接。本技术具有如下有益效果：本技术提出的一种可调节式单晶炉坩埚，通过在单晶炉底部设置底部调节机构，可以在制备单晶时使内部的坩埚在垂直方向进行上升和下降，对于晶体在坩埚内的运输比较方便，同时，通过底部调节机构也可以使坩埚进行旋转，有利于坩埚中单晶的均匀受热，利于单晶的生长。本技术提出的一种可调节式单晶炉坩埚，通过在副坩埚炉室内部设置副坩埚炉室旋转机构，采用直流伺服电机，双级蜗轮蜗杆减速箱，并且使用加强型同步带传动，可在副炉室内坩埚提升到位时缓慢旋开和快速旋闭，实现取单晶过程的自动化动作，非常方便和安全。本技术提出的一种可调节式单晶炉坩埚，通过在顶部设置晶体提升旋转机构，可以使坩埚内的籽晶旋转并提升，并保证匀速旋转变速提升，并且可以记录单晶的重量、位移等数据，该机构经过静平衡和动平衡测试，在整个运行范围内可实现无振动平稳的运行，使用更安全可靠，值得推广。附图说明图1为本技术提出的一种可调节式单晶炉坩埚的主体结构示意图；图2为本技术提出的一种可调节式单晶炉坩埚的晶体提升旋转机构结构示意图；图3为本技术提出的一种可调节式单晶炉坩埚的副坩埚炉室旋转机构结构示意图；图4为本技术提出的一种可调节式单晶炉坩埚的坩埚底部调节机构结构示意图。图例说明：1、基座；2、坩埚底部调节机构；3、主坩埚炉室；4、炉盖；5、隔离阀座；6、副坩埚炉室；7、测温计窗口；8、控制箱；9、气压表；10、操作者观察窗；11、籽晶位置检测窗口；12、圆门；13、圆形观察窗；14、圆形法兰；15、晶体提升旋转机构；16、晶转磁流体；17、导电滑环；18、晶转电机；19、晶升底板；20、慢速电机；21、快速电机；22、称重装置；23、箱体；24、伺服电机；25、蜗轮减速箱；26、输出轴；27、小带轮；28、铜套；29、盖板；30、大带轮；31、同步带；32、导轨座；33、丝杆；34、调整垫铁；35、坩埚轴；36、波纹管；37、埚转磁流体；38、埚转电机；39、旋转接头。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。参照图1-4，本技术提供的一种实施例：一种可调节式单晶炉坩埚，包括基座1，基座1上端固定设置有坩埚底部调节机构2，坩埚底部调节机构2包括导轨座32，导轨座32侧壁固定设置有丝杆33，丝杆33侧壁通过螺纹套活动连接有坩埚轴35，坩埚轴35上端外侧固定设置有波纹管36，坩埚轴35下端外侧固定设置有埚转磁流体37，埚转磁流体37远离导轨座32的一端固定设置有埚转电机38，坩本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调节式单晶炉坩埚，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)上端固定设置有坩埚底部调节机构(2)，所述坩埚底部调节机构(2)包括导轨座(32)，所述导轨座(32)侧壁固定设置有丝杆(33)，所述丝杆(33)侧壁通过螺纹套活动连接有坩埚轴(35)，所述坩埚轴(35)上端外侧固定设置有波纹管(36)，所述坩埚轴(35)下端外侧固定设置有埚转磁流体(37)，所述埚转磁流体(37)远离导轨座(32)的一端固定设置有埚转电机(38)，所述坩埚轴(35)下端固定连接有旋转接头(39)，所述坩埚底部调节机构(2)上端固定设置有主坩埚炉室(3)，所述主坩埚炉室(3)侧壁上端固定设置有气压表(9)，所述主坩埚炉室(3)上端固定设置有炉盖(4)，所述炉盖(4)上端固定设置有隔离阀座(5)，所述隔离阀座(5)前端固定设置有圆门(12)，所述圆门(12)中部固定设置有圆形观察窗(13)，所述隔离阀座(5)上端固定设置有副坩埚炉室(6)，所述副坩埚炉室(6)内部固定设置有箱体(23)，所述箱体(23)上端面一侧固定设置有蜗轮减速箱(25)，所述蜗轮减速箱(25)的输入端固定连接有伺服电机(24)，所述蜗轮减速箱(25)的输出端固定连接有输出轴(26)，所述输出轴(26)远离蜗轮减速箱(25)的一端固定连接有小带轮(27)，所述箱体(23)远离蜗轮减速箱(25)的一端内部固定设置有铜套(28)，所述铜套(28)上端外侧固定设置有盖板(29)，所述铜套(28)外壁固定连接有大带轮(30)，所述大带轮(30)和小带轮(27)之间固定设置有同步带(31)，所述副坩埚炉室(6)上端固定设置有晶体提升旋转机构(15)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种可调节式单晶炉坩埚，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)上端固定设置有坩埚底部调节机构(2)，所述坩埚底部调节机构(2)包括导轨座(32)，所述导轨座(32)侧壁固定设置有丝杆(33)，所述丝杆(33)侧壁通过螺纹套活动连接有坩埚轴(35)，所述坩埚轴(35)上端外侧固定设置有波纹管(36)，所述坩埚轴(35)下端外侧固定设置有埚转磁流体(37)，所述埚转磁流体(37)远离导轨座(32)的一端固定设置有埚转电机(38)，所述坩埚轴(35)下端固定连接有旋转接头(39)，所述坩埚底部调节机构(2)上端固定设置有主坩埚炉室(3)，所述主坩埚炉室(3)侧壁上端固定设置有气压表(9)，所述主坩埚炉室(3)上端固定设置有炉盖(4)，所述炉盖(4)上端固定设置有隔离阀座(5)，所述隔离阀座(5)前端固定设置有圆门(12)，所述圆门(12)中部固定设置有圆形观察窗(13)，所述隔离阀座(5)上端固定设置有副坩埚炉室(6)，所述副坩埚炉室(6)内部固定设置有箱体(23)，所述箱体(23)上端面一侧固定设置有蜗轮减速箱(25)，所述蜗轮减速箱(25)的输入端固定连接有伺服电机(24)，所述蜗轮减速箱(25)的输出端固定连接有输出轴(26)，所述输出轴(26)远离蜗轮减速箱(25)的一端固定连接有小带轮(27)，所述箱体(23)远离蜗轮减速箱(25)的一端内部固定设置有铜套(28)，所述铜套(28)上端外侧固定设置有盖板(29)，所述铜套(28)外壁固定连接有大带轮(30)，所述大带轮(30)和小带轮(27)之间固定设置有同步带(31)，所述副坩埚炉室(6)上端固...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙健，陈晓达，
申请(专利权)人：河北胤丞光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13