一种晶片加工用真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶片加工用真空镀膜机，包括底座，所述底座上端固定设置有镀膜机本体，所述镀膜机本体下端前部固定设置有加热箱，所述加热箱内部固定设置有靶材放置槽，所述靶材放置槽两侧壁均固定设置有滑块，所述靶材放置槽下端固定设置有加热装置，所述镀膜机本体前端通过转动铰链转动连接有密封门，所述镀膜机本体左侧壁中部固定设置有抽真空接口，所述抽真空接口外端固定连接有吸气管。本实用新型专利技术公开了一种晶片加工用真空镀膜机，冷却效果较好，降温较快，冷却较及时，可以有效的保护真空镀膜机内部的设备，使用更安全，可以保证膜层厚度的均匀性，使镀膜的效果更好，进一步提高产品的质量，值得推广。

【技术实现步骤摘要】
一种晶片加工用真空镀膜机
本技术涉及晶片加工用镀膜设备
，尤其涉及一种晶片加工用真空镀膜机。
技术介绍
晶片是LED最主要的原物料之一，是LED的发光部件，LED最核心的部分，晶片的好坏将直接决定LED的性能，晶片在加工时，需要在其表面进行镀膜，晶片在镀膜时一般使用真空镀膜设备对晶体进行镀膜。但是，现有的真空镀膜机在工作时会产生很多的热量，一般的冷却方法是在镀膜设备的外侧表面焊接圆管，在圆管内通冷却水来进行冷却，这种冷却方式，冷却水不与真空镀膜设备的内部直接接触，冷却效果较差，导致冷却不及时，很容易使真空镀膜设备因为温度过高而损坏，同时，现有的真空镀膜机在镀膜完成后，需要利用充气管将外界空气对真空镀膜机进行充气，但是外界空气中常含有灰尘等杂质，这些杂质会影响镀件的品质，而且现有的真空镀膜机不能很好的使被镀膜的工件表面均匀形成薄膜，导致镀膜效果不好，使用较为不便。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶片加工用真空镀膜机。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种晶片加工用真空镀膜机，包括底座，所述底座上端固定设置有镀膜机本体，所述镀膜机本体下端前部固定设置有加热箱，所述加热箱内部固定设置有靶材放置槽，所述靶材放置槽两侧壁均固定设置有滑块，所述靶材放置槽下端固定设置有加热装置，所述镀膜机本体前端通过转动铰链转动连接有密封门，所述镀膜机本体左侧壁中部固定设置有抽真空接口，所述抽真空接口外端固定连接有吸气管，所述吸气管远离抽真空接口的一端固定连接有真空泵，所述真空泵的输出端固定连接有出气管，所述出气管远离真空泵的一端固定连接有锥形罩，所述镀膜机本体远离真空泵的一侧固定设置有制冷器，所述制冷器的输出端固定连接有第一冷凝管，所述第一冷凝管远离制冷器的一端固定连接有风机，所述风机的输出端固定连接有第二冷凝管，所述第二冷凝管远离风机的一端与镀膜机本体侧壁固定连接，所述镀膜机本体顶部固定设置有放置箱，所述放置箱内底部固定连接有固定架，所述固定架上端固定设置有电机，所述电机的输出端通过联轴器固定连接有转动轴，所述转动轴远离电机的一端贯穿镀膜机本体并固定连接有转动底座，所述转动底座固定设置在镀膜机本体内底部。作为上述技术方案的进一步描述：所述靶材放置槽两侧均固定开设有滑槽，两个所述滑块分别在两个滑槽内部滑动。作为上述技术方案的进一步描述：所述靶材放置槽上端固定开设有多个通孔。作为上述技术方案的进一步描述：所述密封门前端固定设置有气压表和门把手。作为上述技术方案的进一步描述：所述吸气管上固定设置有电磁加热机构。作为上述技术方案的进一步描述：所述锥形罩外端固定设置有防尘滤网。作为上述技术方案的进一步描述：所述放置箱侧壁固定开设有多个散热孔。作为上述技术方案的进一步描述：所述转动轴上固定连接有两个样品装载板。作为上述技术方案的进一步描述：所述转动轴与镀膜机本体连接处固定设置有轴承。本技术具有如下有益效果：本技术提出的一种晶片加工用真空镀膜机，通过设置制冷器、第一冷凝管、风机和第二冷凝管，通过制冷器和风机的作用，可以使温度较低的气体通过第一冷凝管进入第二冷凝管，真空镀膜室内部的热量被第二冷凝管内较低温度的气体带走，从而达到冷却降温的目的，这种降温的方式冷却效果较好，降温较快，冷却较及时，可以有效的保护真空镀膜机内部的设备，使用更安全。本技术提出的一种晶片加工用真空镀膜机，通过在真空泵的后端设置锥形罩和防尘滤网，可以在镀膜完成后，空气在负压作用下贯穿防尘网进入锥形罩内，防尘网会对空气进行过滤，实现空气中混合颗粒杂质的过滤，再使洁净的空气通过真空机以及吸气管进入镀膜机主体内，实现充气工作，防止杂质影响镀件的品质，进而提高产品的质量。本技术提出的一种晶片加工用真空镀膜机，通过设置电机带动旋转轴进行转动，进而带动旋转轴上的样品转载板进行转动，以增大气化的镀膜粉末与晶片的接触面积，用以保证膜层厚度的均匀性，使镀膜的效果更好，进一步提高产品的质量，值得推广。附图说明图1为本技术提出的一种晶片加工用真空镀膜机的正视图；图2为本技术提出的一种晶片加工用真空镀膜机的内部结构示意图；图3为本技术提出的图2-A处的放大图。图例说明：1、底座；2、镀膜机本体；3、加热箱；4、密封门；5、转动铰链；6、气压表；7、门把手；8、抽真空接口；9、吸气管；10、电磁加热机构；11、真空泵；12、出气管；13、锥形罩；14、防尘滤网；15、制冷器；16、第一冷凝管；17、风机；18、第二冷凝管；19、放置箱；20、散热孔；21、加热装置；22、滑槽；23、靶材放置槽；24、滑块；25、转动底座；26、通孔；27、转动轴；28、样品装载板；29、固定架；30、电机；31、联轴器；32、轴承。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。参照图1-3，本技术提供的一种实施例：一种晶片加工用真空镀膜机，包括底座1，底座1上端固定设置有镀膜机本体2，镀膜机本体2下端前部固定设置有加热箱3，加热箱3内部固定设置有靶材放置槽23，靶材放置槽23两侧壁均固定设置有滑块24，靶材放置槽23下端固定设置有加热装置21，镀膜机本体2前端通过转动铰链5转动连接有密封门4，镀膜机本体2左侧壁中部固定设置有抽真空接口8，抽真空接口8外端固定连接有吸气管9，吸气管9远离抽真空接口8的一端固定连接有真空泵11，真空泵11的输出端固定连接有出气管12，出气管12远离真空泵11的一端固定连接有锥形罩13，镀膜机本体2远离真空泵11的一侧固定设置有制冷器15，制冷器15的输出端固定连接有第一冷凝管16，第一冷凝管16远离制本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶片加工用真空镀膜机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上端固定设置有镀膜机本体(2)，所述镀膜机本体(2)下端前部固定设置有加热箱(3)，所述加热箱(3)内部固定设置有靶材放置槽(23)，所述靶材放置槽(23)两侧壁均固定设置有滑块(24)，所述靶材放置槽(23)下端固定设置有加热装置(21)，所述镀膜机本体(2)前端通过转动铰链(5)转动连接有密封门(4)，所述镀膜机本体(2)左侧壁中部固定设置有抽真空接口(8)，所述抽真空接口(8)外端固定连接有吸气管(9)，所述吸气管(9)远离抽真空接口(8)的一端固定连接有真空泵(11)，所述真空泵(11)的输出端固定连接有出气管(12)，所述出气管(12)远离真空泵(11)的一端固定连接有锥形罩(13)，所述镀膜机本体(2)远离真空泵(11)的一侧固定设置有制冷器(15)，所述制冷器(15)的输出端固定连接有第一冷凝管(16)，所述第一冷凝管(16)远离制冷器(15)的一端固定连接有风机(17)，所述风机(17)的输出端固定连接有第二冷凝管(18)，所述第二冷凝管(18)远离风机(17)的一端与镀膜机本体(2)侧壁固定连接，所述镀膜机本体(2)顶部固定设置有放置箱(19)，所述放置箱(19)内底部固定连接有固定架(29)，所述固定架(29)上端固定设置有电机(30)，所述电机(30)的输出端通过联轴器(31)固定连接有转动轴(27)，所述转动轴(27)远离电机(30)的一端贯穿镀膜机本体(2)并固定连接有转动底座(25)，所述转动底座(25)固定设置在镀膜机本体(2)内底部。/n...

【技术特征摘要】
1.一种晶片加工用真空镀膜机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上端固定设置有镀膜机本体(2)，所述镀膜机本体(2)下端前部固定设置有加热箱(3)，所述加热箱(3)内部固定设置有靶材放置槽(23)，所述靶材放置槽(23)两侧壁均固定设置有滑块(24)，所述靶材放置槽(23)下端固定设置有加热装置(21)，所述镀膜机本体(2)前端通过转动铰链(5)转动连接有密封门(4)，所述镀膜机本体(2)左侧壁中部固定设置有抽真空接口(8)，所述抽真空接口(8)外端固定连接有吸气管(9)，所述吸气管(9)远离抽真空接口(8)的一端固定连接有真空泵(11)，所述真空泵(11)的输出端固定连接有出气管(12)，所述出气管(12)远离真空泵(11)的一端固定连接有锥形罩(13)，所述镀膜机本体(2)远离真空泵(11)的一侧固定设置有制冷器(15)，所述制冷器(15)的输出端固定连接有第一冷凝管(16)，所述第一冷凝管(16)远离制冷器(15)的一端固定连接有风机(17)，所述风机(17)的输出端固定连接有第二冷凝管(18)，所述第二冷凝管(18)远离风机(17)的一端与镀膜机本体(2)侧壁固定连接，所述镀膜机本体(2)顶部固定设置有放置箱(19)，所述放置箱(19)内底部固定连接有固定架(29)，所述固定架(29)上端固定设置有电机(30)，所述电机(30)的输出端通过联轴器(31)固定连接有转动轴(27)，所述转动轴(27)远离电机(30)的一端贯穿镀膜机本体...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙健，陈晓达，
申请(专利权)人：河北胤丞光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13