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一种单晶炉自冷却装置制造方法及图纸
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文档序号:19164811
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本实用新型公开了一种单晶炉自冷却装置,主冷却系统包括主冷却盘管和副冷却管,所述主冷却盘管设在加热器和钳锅石墨托之间,主冷却盘管的下方设有安装盘并固定在钳锅托杆上,钳锅托杆尾端连接钳锅旋转装置;所述副冷却管安装在上炉盖内并且其向内设有副冷却盘...
该专利属于河北胤丞光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北胤丞光电科技有限公司授权不得商用。
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