下载一种单晶炉自冷却装置的技术资料

文档序号:19164811

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本实用新型公开了一种单晶炉自冷却装置,主冷却系统包括主冷却盘管和副冷却管,所述主冷却盘管设在加热器和钳锅石墨托之间,主冷却盘管的下方设有安装盘并固定在钳锅托杆上,钳锅托杆尾端连接钳锅旋转装置;所述副冷却管安装在上炉盖内并且其向内设有副冷却盘...
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