隔离阀气动翻板结构制造技术

本发明专利技术公开了隔离阀气动翻板结构，包括隔离阀体、轴套、端面法兰、转动轴、隔离阀芯，所述隔离阀体侧板上开有一通孔，通孔内部固定安装有轴套，轴套位于隔离阀体外部的端部固定安装有端面法兰，所述转动轴一端套装在轴套和端面法兰内，另一端铰接在隔离阀体内，转动轴上固定连接有隔离阀芯，还包括转臂，转臂一端固定连接转动轴上位于隔离阀体外部一端，另一端连接肘头，肘头与所述的转臂之间铰接，肘头固定连接气缸的活塞杆，气缸的缸体铰接在隔离阀体上。采用隔离阀气动翻板结构，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的隔离阀芯易卡死、晶棒被氧化的现象，同时，因为其投入少，便于推广。

Pneumatic valve turnover structure of isolation valve

The invention discloses a pneumatic turning plate structure of an isolation valve, including an isolation valve body, a shaft sleeve, an end face flange, a rotating shaft and an isolation valve spool. A through hole is arranged on the side plate of the isolation valve body, and the through hole is fixed with a shaft sleeve, and the end sleeve is fixed with an end face flange at the outer part of the isolation valve. In the shaft sleeve and the end face flange, the other end is articulated in the isolation valve body, the rotating shaft is fixed with an isolation valve core, and the rotating arm is also included. One end of the rotating arm is fixed with a rotating shaft located outside the isolation valve body, the other end is connected with an elbow, and the elbow is articulated with the rotating arm, and the elbow is fixed with a piston rod connecting the cylinder. The cylinder block of the cylinder is articulated on the isolation valve body. The pneumatic reversing plate structure of isolation valve is adopted, which effectively improves the simplification of operation, reduces labor intensity and cost, and thoroughly solves the phenomenon that the isolation valve core is easy to be stuck and the crystal rod is oxidized due to the original technical operation.

【技术实现步骤摘要】
隔离阀气动翻板结构
本专利技术涉及隔离阀，具体涉及隔离阀气动翻板结构。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。单晶炉的隔离阀气动翻板结构的作用如下：在单晶硅化料过程中，通过隔离阀气动翻板结构将隔离阀芯打开或关闭，减少作业劳动强度，防止隔离阀芯关不严，造成单晶硅被氧化等问题。一般的单晶炉隔离阀都没有气动翻板结构，都是采用人工或者电机带齿轮翻转隔离阀芯，容易造成隔离阀芯翻转不到位，影响后续的真空度等现象，尤其是电机驱动齿轮完成翻板的方式，对齿轮的啮合精度要求高，常出现齿轮啮合不到位，易卡死的现象。
技术实现思路
针对上述技术问题，本专利技术提供了隔离阀气动翻板结，利用气缸实现隔离阀芯的翻转，降低隔离阀芯卡死等因素对设备的影响，同时，因为其投入少，便于推广。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：隔离阀气动翻板结构，包括隔离阀体、轴套、端面法兰、转动轴、隔离阀芯，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.隔离阀气动翻板结构，包括隔离阀体、轴套、端面法兰、转动轴、隔离阀芯，所述隔离阀体侧板上开有一通孔，通孔内部固定安装有轴套，轴套位于隔离阀体外部的端部固定安装有端面法兰，所述转动轴一端套装在轴套和端面法兰内，另一端铰接在隔离阀体内，转动轴上固定连接有隔离阀芯，其特征在于，还包括转臂，转臂一端固定连接转动轴上位于隔离阀体外部一端，另一端连接肘头，肘头与所述的转臂之间铰接，肘头固定连接气缸的活塞杆，气缸的缸体铰接在隔离阀体上。

【技术特征摘要】
1.隔离阀气动翻板结构，包括隔离阀体、轴套、端面法兰、转动轴、隔离阀芯，所述隔离阀体侧板上开有一通孔，通孔内部固定安装有轴套，轴套位于隔离阀体外部的端部固定安装有端面法兰，所述转动轴一端套装在轴套和端面法兰内，另一端铰接在隔离阀体内，转动轴上固定连接有隔离阀芯，其特征在于，还包括转臂，转臂一端固定连接转动轴上位于隔离阀体外部一端，另一端连接肘头，肘头与所述的转臂之间铰接，肘头固定连接气缸的活塞杆，气缸的缸体铰接在隔离阀体上。2.如权利要求1所述的隔离阀气动翻板结构，其特征在于，隔离阀体上端设有气缸固定座，气缸固定座一端固定在隔离阀体上，另一端与气缸的缸体铰接。3.如权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：周波，
申请(专利权)人：浙江晶阳机电有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33