一种基于晶元片检测的集成式检测头组件制造技术

本实用新型专利技术涉及自动化检测工装技术领域，公开了一种基于晶元片检测的集成式检测头组件，包括基座、连接柱，基座的底面两端均向外延伸形成四根独立的支撑条，探针组件包括探针定位板、探针阵列，探针定位板的底面两侧设有与限位槽配合的导向凸条；连接柱的下端设有转动套，转动套的两侧设有一组关于中心对称的连接臂，连接臂的外端设有竖轴，竖轴上设有压辊，压辊与竖轴之间滑动连接，竖轴上位于压辊与连接臂之间的部位设有压簧，探针定位板的顶面设有弧形槽、与弧形槽的内弧面连通的导向槽。本实用新型专利技术中探针组件更换方便，极大的提高了晶元片检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种基于晶元片检测的集成式检测头组件
本技术涉及自动化检测
，尤其涉及一种基于晶元片检测的集成式检测头组件。
技术介绍
晶元(Wafer)，是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，也叫晶元芯片。普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元片。一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈阵列排布，晶元在封装制造成芯片之前需要对其性能进行检测，由于一个晶元片上存在成百上千个晶元，人工通过探针对每个晶元进行检测，工作量非常大，而且容易漏检；因此为了提高检测效率，目前都是通过检测设备自动检测，探针是晶元片检测设备上的重要部件，探针检测大量的晶元片后容易磨损，需要更换，目前检测头上的探针更换麻烦，从而降低检测效率。
技术实现思路
本技术为了解决现有技术中存在的上述问题，提供了一种基于晶元片检测的集成式检测头组件，该种检测头组件中采用探针组件，探针组件更换非常方便，从而有效的提高检测效率。为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种基于晶元片检测的集成式检测头组件，包括基座、固定在基座顶面中心的连接柱，所述基座的底面两端均向外延伸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于晶元片检测的集成式检测头组件，包括基座、固定在基座顶面中心的连接柱，其特征是，所述基座的底面两端均向外延伸形成四根独立的支撑条，位于基座同一侧的两根支撑条相互平行，每根支撑条的顶面均设有限位槽，基座同一侧的两根支撑条之间均设有探针组件，所述的探针组件包括探针定位板、固定在探针定位板上的探针阵列，探针定位板的顶面设有接线座，探针阵列中的每根探针均与接线座电连接，所述基座的顶面设有排线插座，所述的接线座与排线插座之间通过排线连接，所述探针定位板的底面两侧设有与限位槽配合的导向凸条；所述连接柱的下端设有转动套，所述转动套的两侧设有一组关于中心对称的连接臂，所述连接臂的外端设有竖轴，所述的...

【技术特征摘要】
1.一种基于晶元片检测的集成式检测头组件，包括基座、固定在基座顶面中心的连接柱，其特征是，所述基座的底面两端均向外延伸形成四根独立的支撑条，位于基座同一侧的两根支撑条相互平行，每根支撑条的顶面均设有限位槽，基座同一侧的两根支撑条之间均设有探针组件，所述的探针组件包括探针定位板、固定在探针定位板上的探针阵列，探针定位板的顶面设有接线座，探针阵列中的每根探针均与接线座电连接，所述基座的顶面设有排线插座，所述的接线座与排线插座之间通过排线连接，所述探针定位板的底面两侧设有与限位槽配合的导向凸条；所述连接柱的下端设有转动套，所述转动套的两侧设有一组关于中心对称的连接臂，所述连接臂的外端设...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明亮，
申请(专利权)人：普铄电子上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31