下载一种基于晶元片检测的集成式检测头组件的技术资料

文档序号:19030047

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本实用新型涉及自动化检测工装技术领域,公开了一种基于晶元片检测的集成式检测头组件,包括基座、连接柱,基座的底面两端均向外延伸形成四根独立的支撑条,探针组件包括探针定位板、探针阵列,探针定位板的底面两侧设有与限位槽配合的导向凸条;连接柱的下端...
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