一种DLC膜层的表面处理方法技术
A surface treatment method for DLC film
The invention discloses a surface treatment method of DLC film layer. The vaporized acrylate monomer is passed into the plasma polymerization reaction chamber by plasma polymerization deposition technology, and the active group is formed by breaking the monomer chemical bond under the action of glow discharge, which is polymerized on the surface of DLC film layer and on the surface of DLC film layer. Surface, including the micropores in which the polymerization and deposition of a corrosion-resistant micron or nano-scale sealing film, thus making up for the defects of the DLC film, improve the corrosion resistance of the DLC film.
【技术实现步骤摘要】
一种DLC膜层的表面处理方法
本专利技术涉及功能性膜层改性
，具体涉及一种DLC膜层的表面处理方法。
技术介绍
DLC膜中含有混合的sp2和sp3键，并且是不定形的，其性质类似于金刚石薄膜，具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性并兼具良好的化学稳定性、导热性、电绝缘性、透光性、和生物相容性等，使其在机械、电子、光学、声学、计算机、航空航天和生物医学等领域具有广泛的应用前景。虽然DLC膜层具有一定的耐腐蚀性能，但是通常制得的DLC膜层存在一些针孔状的微孔，腐蚀性介质易通过微孔进入基底从而对基底造成腐蚀，使膜层的性能大大降低。另外，为了增加DLC膜层与基底的结合力，在基底表面沉积DLC膜层之前通常要将基底进行清洗处理，但是该处理会破坏基底表面的氧化膜，从而降低基底的耐腐蚀性能。因此，急需一种能够不影响DLC膜层的优异性质并且能够封闭DLC膜层中微孔的方法，以提高DLC膜层的耐腐蚀性能。
技术实现思路
针对上述技术现状，本专利技术人经过大量实验探索后发现，采用等离子体聚合沉积技术，将气化的丙烯酸酯类单体通入等离子体聚合反应腔内，在DLC膜层表面发生等离子体聚合反应，可以在DL...
【技术保护点】
1.一种DLC膜层的表面处理方法，其特征是：采用等离子体聚合沉积技术，将气化的丙烯酸酯类单体通入等离子体聚合反应腔内，在辉光放电作用下使单体化学键断裂形成活性基团在DLC膜层表面发生等离子体聚合反应。
【技术特征摘要】
1.一种DLC膜层的表面处理方法，其特征是：采用等离子体聚合沉积技术，将气化的丙烯酸酯类单体通入等离子体聚合反应腔内，在辉光放电作用下使单体化学键断裂形成活性基团在DLC膜层表面发生等离子体聚合反应。2.如权利要求1所述的DLC膜层的表面处理方法，其特征是：将丙烯酸酯类单体放入进料罐，进料罐连通加热系统，使丙烯酸酯类单体在90℃-150℃下变为气态。3.如权利要求1所述的DLC膜层的表面处理方法，其特征是：所述的丙烯酸酯类单体为含氟的丙烯酸酯单体。4.如权利要求1、2或3所述的DLC膜层的表面处理方法，其特征是：等离子体聚合反应腔内放置DLC膜层，首先对腔体进行抽真空，然后通入气化的丙烯酸酯类单体。5.如权利要求4所述的DLC膜层的表面处理方法，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：王永欣，李晨，郭惠霞，曾志翔，薛群基，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：浙江,33
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