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本发明公开一种DLC膜层的表面处理方法,采用等离子体聚合沉积技术,将气化的丙烯酸酯类单体通入等离子体聚合反应腔内,在辉光放电作用下使单体化学键断裂形成活性基团在DLC膜层表面发生等离子体聚合反应,在DLC膜层表面,包括在其中的微孔内聚合并沉...该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。
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本发明公开一种DLC膜层的表面处理方法,采用等离子体聚合沉积技术,将气化的丙烯酸酯类单体通入等离子体聚合反应腔内,在辉光放电作用下使单体化学键断裂形成活性基团在DLC膜层表面发生等离子体聚合反应,在DLC膜层表面,包括在其中的微孔内聚合并沉...