一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装制造技术

本实用新型专利技术公开一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装，包括支撑座，旋转座，连接件和固定件，所述支撑座由侧板和底座组成，旋转座由旋转板和固定板组成，底座上方固定连接侧板，侧板中部开设连接孔，侧板在铰接孔外侧开设定位孔，旋转板上方固定连接固定板，旋转板通过连接件与侧板实现旋转地连接，固定件通过定位孔与旋转板配合实现旋转板的定位，固定板设置有与磁悬浮分子泵相配合的安装孔。

A test fixture for magnetically suspended molecular pump with adjustable angle

The utility model discloses a testing tool for adjustable angle of magnetic suspension molecular pump, which comprises a support seat, a rotating seat, a connecting piece and a fixing piece. The support seat is composed of a side plate and a base, a rotating seat is composed of a rotating plate and a fixing plate, a connecting plate is fixed above the base, a connecting hole is arranged in the middle of the side plate, and a side plate is hinged in the joint hole. A positioning hole is arranged on the outer side, and a fixed plate is fixed and connected above the rotating plate. The rotating plate is rotated and connected with the side plate through the connecting piece. The fixed piece is positioned by the positioning hole and the rotating plate, and the fixed plate is provided with an installation hole matching the magnetic suspended molecular pump.

【技术实现步骤摘要】
一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装
本技术属于工装夹具领域，特别是一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装。
技术介绍
磁悬浮分子泵广泛的应在半导体生产线、真空镀膜生产线、高档汽车后视镜镀膜生产线等领域，它是与这些生产线配套用于抽真空的必不可少的子设备。由于这些生产线的形式各样，就导致分子泵与其连接的角度位置就不同。就是我们通常上讲的分子泵泵口的朝向问题，有的需要分子泵泵口朝上安装，有的需要分子泵泵口朝下安装，有的需要分子泵泵口45°倾斜安装等。磁悬浮分子泵在运行时，转子叶轮组件是处于悬浮状态，不与其他任何件产生接触。它的悬浮原理是通过位置传感器检测转子叶轮组件的轴偏差信号,将该信号送入控制器,通过功率放大器控制电磁轴承中的电流,从而产生电磁力的变化使转子叶轮组件悬浮于规定的位置。由于上面所述，不同角度状态下的磁悬浮分子泵，由于重力点位置的不同，对悬浮状态影响很大。因此，我们在生产磁悬浮分子泵时，就必须将它固定在所需要的角度进行调试参数，以便获得最佳的悬浮状态。
技术实现思路
本技术通过将磁悬浮分子泵固定在可旋转的旋转板上，将旋转板铰接在两个侧板上，是旋转板可以绕两侧板的中心连线旋转，并通过固定旋转板两端，使旋转板可以实现每15°递增的形式进行旋转，从而获得所需要的角度。为了解决上述问题，本技术提出一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装。本技术所采用的技术方案是：一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装，包括支撑座，旋转座，连接件和固定件，所述支撑座由侧板和底座组成，旋转座由旋转板和固定板组成，底座上方固定连接侧板，侧板中部开设连接孔，侧板在铰接孔外侧开设定位孔，旋转板上方固定连接固定板，旋转板通过连接件与侧板实现旋转地连接，固定件通过定位孔与旋转板配合实现旋转板的定位，固定板设置有与磁悬浮分子泵相配合的安装孔。进一步的，所述定位孔环绕连接孔一周，均匀间隔的设置24个定位孔。优选的，所述侧板外侧面和固定板外侧面均设置有加强筋。优选的，所述旋转板的边缘的首部、中部、尾部分别设置有带孔的吊耳板，首部和尾部的吊耳板与固定件配合，中部的吊耳板与连接件连接。本技术同现有技术相比具有以下优点及效果：1、本技术能够在生产磁悬浮分子泵时，将磁悬浮分子泵固定在所需要的角度进行调试参数，以便获得最佳的悬浮状态。2、本技术结构简单、体积较小、操作简单，能快速以及精确的调整角度。附图说明构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。图1为本技术的结构示意图。图2为本技术的的爆炸图。标号说明：底座1；旋转板2；固定板3；侧板4；铰接销5；固定螺栓螺母6；吊耳板7；加强筋8；连接孔9；定位孔10；安装孔11。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。实施例1：如图1至2所示，本实施例是一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装，包括底座1、旋转板2、固定板3、侧板4、铰接销5和固定螺栓螺母6，所述底座1上立焊两块侧板4，每个侧板4外侧面焊接两块加强筋8，每个侧板4的中心开设贯通的连接孔9，并以连接孔9为中心绕其一周均匀间隔地开设24个定位孔10，旋转板2上立焊固定板3，固定板3外侧面焊接两块加强筋8，固定板3开设安装孔11，旋转板2表面的两边缘的前、中、后三处分别焊接3对吊耳板7，前、后两处的吊耳板7的通孔与固定螺栓螺母6相配合，中间吊耳板7的通孔与铰接销5相配合，铰接销5穿过连接孔9和吊耳板7进而使旋转板2与侧板4连接在一起，旋转板2可绕铰接销5旋转。使用时，将连接法兰利用卡钳螺钉与磁悬浮分子泵连接在一起，之后再将它们利用螺栓与固定板3固定，这样它们就和固定板3视为一体，通过旋转旋转板2，可以实现每15°递增的形式进行旋转，调整旋转板2到合适的角度，从而磁悬浮分子泵也调整到相应的角度，然后利用固定螺栓螺母6锁紧旋转板2前、后两处的吊耳板，完成固定。以上所述仅为本技术的较佳实施例，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装，其特征在于，包括支撑座，旋转座，连接件和固定件，所述支撑座由侧板和底座组成，旋转座由旋转板和固定板组成，底座上方固定连接侧板，侧板中部开设连接孔，侧板在铰接孔外侧开设定位孔，旋转板上方固定连接固定板，旋转板通过连接件与侧板实现旋转地连接，固定件通过定位孔与旋转板配合实现旋转板的定位，固定板设置有与磁悬浮分子泵相配合的安装孔。

【技术特征摘要】
1.一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装，其特征在于，包括支撑座，旋转座，连接件和固定件，所述支撑座由侧板和底座组成，旋转座由旋转板和固定板组成，底座上方固定连接侧板，侧板中部开设连接孔，侧板在铰接孔外侧开设定位孔，旋转板上方固定连接固定板，旋转板通过连接件与侧板实现旋转地连接，固定件通过定位孔与旋转板配合实现旋转板的定位，固定板设置有与磁悬浮分子泵相配合的安装孔。2.根据权利要求1所述的磁悬...

【专利技术属性】
技术研发人员：王文建，项海铭，
申请(专利权)人：天津飞旋科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12