一种检测靶球偏心误差的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种检测靶球偏心误差的装置及方法，包括激光发生器、分光镜、气浮台、PSD探测器；所述气浮台的台面上方至少设置有三个大小相同的支撑球，所述支撑球的中心相对于一条直线中心对称，所述直线垂直于气浮台的台面；所述支撑球上方放置被测靶球；被测靶球的下方设置有通气孔均匀设置有通气孔；所述激光发生器发出的激光束照射在被测靶球的反光镜上进行反射，所述分光镜位于激光束的路径上使得反射回来的激光束发生偏转，偏转后的激光束照射在所述PSD探测器的感应面板上，通过分析PSD探测器上的光斑位置信息可得出光斑位置距中心的最大值，即得到靶球偏心误差值。

Device and method for detecting eccentric error of target ball

The invention discloses a device and a method for detecting the eccentricity error of a target ball, including a laser generator, a spectroscope, an air floatation table and a PSD detector; at least three supporting balls of the same size are arranged above the air floatation table, and the center of the supporting ball is symmetrical with respect to a straight line, and the straight line is perpendicular to the air floatation. The table surface, the supporting ball above the measured target ball, the air hole under the measured target ball is evenly arranged with the air hole, and the laser beam emitted by the laser generator is reflected on the reflector of the target ball, the beam splitter is located on the path of the laser beam so that the reflected laser beam deflects. The deflected laser beam is irradiated on the sensing panel of the PSD detector. By analyzing the position information of the spot on the PSD detector, the maximum distance between the spot position and the center can be obtained, that is, the eccentricity error of the target ball can be obtained.

【技术实现步骤摘要】
一种检测靶球偏心误差的装置及方法
本专利技术涉及一种误差检测装置及方法，具体涉及一种检测靶球偏心误差的装置及方法。
技术介绍
在激光跟踪仪的应用中靶标对测量精度的影响不可忽视，通常靶标外形为球形，通常称为靶球，靶球内部为3个互相垂直的反射镜(CCR)。若三个反射镜的角点和外球的中心不重合或3个反射镜面相互不垂直都会引起误差，因此，需要对靶球的进行误差测量。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是：提一种装置及方法可以对其靶球的多点位光斑测试，得到靶球偏心误差值。本专利技术通过下述技术方案实现：一种检测靶球偏心误差的装置，包括激光发生器、分光镜、气浮台、PSD探测器；所述气浮台的台面上方至少设置有三个大小相同的支撑球，所述支撑球的中心相对于一条直线中心对称，所述直线垂直于气浮台的台面；所述支撑球上方放置被测靶球；被测靶球的下方设置有通气孔均匀设置有通气孔；所述激光发生器发出的激光束照射在被测靶球的反光镜上进行反射，所述分光镜位于激光束的路径上使得反射回来的激光束发生偏转，偏转后的激光束照射在所述PSD探测器的感应面板上。由于在气浮台上浮动的靶球容易偏离位置，因此通过支撑球将靶球限定在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测靶球偏心误差的装置，其特征在于，包括激光发生器(5)、分光镜(4)、气浮台(1)、PSD探测器(6)；所述气浮台(1)的台面上方至少设置有三个大小相同的支撑球(2)，所述支撑球(2)的中心相对于一条直线中心对称，所述直线垂直于气浮台(1)的台面；所述支撑球(2)上方放置被测靶球(3)；被测靶球(3)的下方设置有通气孔均匀设置有通气孔(7)；所述激光发生器(5)发出的激光束照射在被测靶球(3)的反光镜上进行反射，所述分光镜(4)位于激光束的路径上使得反射回来的激光束发生偏转，偏转后的激光束照射在所述PSD探测器(6)的感应面板上。

【技术特征摘要】
1.一种检测靶球偏心误差的装置，其特征在于，包括激光发生器(5)、分光镜(4)、气浮台(1)、PSD探测器(6)；所述气浮台(1)的台面上方至少设置有三个大小相同的支撑球(2)，所述支撑球(2)的中心相对于一条直线中心对称，所述直线垂直于气浮台(1)的台面；所述支撑球(2)上方放置被测靶球(3)；被测靶球(3)的下方设置有通气孔均匀设置有通气孔(7)；所述激光发生器(5)发出的激光束照射在被测靶球(3)的反光镜上进行反射，所述分光镜(4)位于激光束的路径上使得反射回来的激光束发生偏转，偏转后的激光束照射在所述PSD探测器(6)的感应面板上。2.根据权利要求1所述的一种检测靶球偏心误差的装置，其特征在于，所述通气孔(7)均匀分布在支撑球(2)的旁边并且在支撑球(2)靠近直线的一侧。3.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：景洪伟，
申请(专利权)人：四川拉姆达科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51