下载一种检测靶球偏心误差的装置及方法的技术资料

文档序号:18970496

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本发明公开了一种检测靶球偏心误差的装置及方法,包括激光发生器、分光镜、气浮台、PSD探测器;所述气浮台的台面上方至少设置有三个大小相同的支撑球,所述支撑球的中心相对于一条直线中心对称,所述直线垂直于气浮台的台面;所述支撑球上方放置被测靶球;...
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