用于执行曝光处理的系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于执行曝光处理的系统，包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；光源组件、投影组件和承载台均设置于曝光腔室内；光源组件用于产生曝光光线；投影组件中的支撑构件设置有支承构件，支承构件设有第一、第二接收部件，第一、第二接收部件构成透镜的摆动运动的中心轴；第一、第二接收部件由联结部和插入轴部分构成，联结部从板状部的上表面垂直地向上方延伸；插入轴部分是细长的圆柱状的部件，插入轴部分与联结部的前端连续地延伸，并且与板状部平行地向后方延伸，插入轴部分的前端部附近形成有向径向外侧突出的环状的接触部。本发明专利技术能调整投影组件在用于执行曝光处理的系统中的角度。

System for performing exposure processing

The invention discloses a system for performing exposure processing, including an exposure chamber, a light source assembly, a projection assembly, a bearing platform, a fixed support, and a support frame; a light source assembly, a projection assembly and a support platform are all arranged in the exposure chamber; a light source assembly is used for generating exposure light; and a support member is arranged in the projection assembly. The supporting member is provided with the first and the second receiving components, the first and the second receiving components constitute the central axis of the oscillating motion of the lens, the first and the second receiving components are composed of the connecting part and the inserting shaft part, and the connecting part extends vertically upward from the upper surface of the plate-shaped part, and the inserting shaft part is a slender cylinder. The insertion shaft portion extends continuously with the front end of the coupling portion, and extends backward parallel to the plate portion. A circular contact portion protruding radially outward is formed near the front end of the insertion shaft portion. The invention can adjust the angle of the projection component in the system for carrying out the exposure processing.

【技术实现步骤摘要】
用于执行曝光处理的系统
本专利技术涉及曝光
，特别涉及一种用于执行曝光处理的系统。
技术介绍
传统的用于执行曝光处理的系统一般包括曝光光源和投影镜片，该曝光光源用于产生曝光光线，并将该曝光光线通过该投影镜片照射待进行曝光处理的器件。该投影镜片在上述传统的用于执行曝光处理的系统中的位置和角度一般是固定的，也就是说，该投影镜片无法改变其接收曝光光线或输出曝光光线的角度。当需要对具有斜面的显示器件或半导体器件进行曝光处理时，上述传统的用于执行曝光处理的系统无法向该具有斜面的显示器件或半导体器件输出正对该斜面的曝光光线，从而无法对待进行曝光处理的显示器件或半导体器件进行更优的曝光处理。故，有必要提出一种新的技术方案，以解决上述技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于执行曝光处理的系统，其能调整投影组件在用于执行曝光处理的系统中的角度。为解决上述问题，本专利技术的技术方案如下：一种用于执行曝光处理的系统，所述用于执行曝光处理的系统包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；所述光源组件、所述投影组件和所述承载台均设置于所述曝光腔室内；所述光源组件用于产生曝光光线，并用于将所产生的所述曝光光线输出至所述投影组件；所述投影组件中的支撑构件具有安装台，所述安装台包括支承构件，所述支承构件的板状部的上表面设有第一接收部件、第二接收部件，所述第一接收部件、所述第二接收部件与所述投影组件的透镜连接，所述第一接收部件、所述第二接收部件构成所述透镜的摆动运动的中心轴，所述第一接收部件的下部设置在所述板状部的上表面的前端部，所述第二接收部件的上部设置在所述板状部的上表面的后端部；所述第一接收部件、所述第二接收部件由弯曲成L字形的棒状部件形成，所述第一接收部件、所述第二接收部件由联结部和插入轴部分构成，所述联结部是细长的圆柱状的部件，所述联结部从所述板状部的上表面垂直地向上方延伸；所述插入轴部分是细长的圆柱状的部件，所述插入轴部分与所述联结部的前端连续地延伸，并且与所述板状部平行地向后方延伸，所述插入轴部分的前端部附近形成有向径向外侧突出的环状的接触部。优选地，所述第一接收部件、所述第二接收部件在所述中心轴的轴向上以预定间隔布置。优选地，所述第一接收部件、所述第二接收部件设置在所述透镜的透镜主体的前侧面附近的下侧。优选地，所述插入轴部分从所述透镜主体的前侧面向后侧面延伸。优选地，所述插入轴部分朝向所述透镜主体的后侧面突出。优选地，所述透镜主体的边缘部安装有两个轨道部件。优选地，第一连接部件、第二连接部件分别固定在所述轨道部件的左右方向的中间部分。优选地，所述接触部构成通过与所述第一连接部件抵接而限制所述第一连接部件向下方移动的抵接部。优选地，所述插入轴部分具有相对于水平面倾斜的轴线。优选地，所述插入轴部分构成所述透镜的摆动运动的所述中心轴。相对现有技术，本专利技术能调整投影组件在用于执行曝光处理的系统中的角度，从而能对待进行曝光处理的显示器件或半导体器件进行更优的曝光处理。附图说明图1为本专利技术的用于执行曝光处理的系统的示意图。图2为图1所示的用于执行曝光处理的系统中的投影组件的示意图。具体实施方式参考图1和图2，图1为本专利技术的用于执行曝光处理的系统的示意图，图2为图1所示的用于执行曝光处理的系统中的投影组件的示意图。本专利技术的用于执行曝光处理的系统用于对显示器件或半导体器件进行曝光处理。本专利技术的用于执行曝光处理的系统包括曝光腔室101、光源组件104、投影组件107、承载台108、固定支撑件102、支撑框架103、第一发射镜105和第二反射镜106。所述光源组件、所述投影组件、所述承载台、所述固定支撑件、所述支撑框架均设置于所述曝光腔室内。所述光源组件用于产生曝光光线，并用于将所产生的所述曝光光线输出至所述投影组件。具体地，光源组件用于通过第一反射镜和第二反射镜将曝光光线输出至投影组件。所述承载台用于承载待进行曝光处理的显示器件或半导体器件。支撑框架的基端部连接固定支撑件，并且支撑框架的末端部连接光源组件。支撑框架包括第一移动框架、第二移动框架以及具有正交的第一枢轴、第二枢轴的转动构件。第一移动框架、第二移动框架和转动构件的每个可移动部分构成具有锁定构件的第一活动部至第七活动部。支撑框架包括第一活动部至第七活动部以及第一锁定构件至第七锁定构件，第一锁定构件至第七锁定构件分别用于将第一活动部至第七活动部锁定。固定支撑件由三个支撑柱构成，每个支撑柱用于通过调节器调节长度(高度)，三个支撑柱彼此间隔预定距离并平行布置，三个支撑柱通过联接杆彼此连接，两个支撑柱的联接杆相互连接。在支撑框架中，第一移动框架的基端部分连接到固定支撑件的一个支撑柱，并且第二移动框架的基端部分连接到第一移动框架的远端部，转动构件的基座与第二移动框架的前端部连接。所述支撑框架包括第一臂体、第二臂体和第三臂体。第二移动框架设置有构造为平行连杆构件的第三臂体。第三臂体由第一水平杆和第二水平杆连接，第一水平杆、第二水平杆以及设置在第一水平杆、第二水平杆的端部之间的第一垂直杆、第二垂直杆形成为平行四边形形状。连结块与固定支撑件的一个支撑柱相固定。所述支撑框架还包括活动轴。活动轴构成用于使第一臂体在水平方向上枢转的第一活动部，第一锁定构件设置于活动轴中。联接杆连接支撑柱。第二锁定构件、第三锁定构件设置在相应的第一旋转轴、第二旋转轴上。联接部(第一移动框架的远端部分)连接到第二臂体的远端，在联接部上具有沿垂直方向的枢动轴。枢动轴上设置有第四锁定构件，第二移动框架用于通过枢动轴相对于第一移动框架的第二臂体在水平方向上转动。第一枢轴和第二枢轴分别设有第六锁定构件、第七锁定构件。第六活动部和第七活动部分别由第一枢轴、第二枢轴构成。第三臂体的基端部分通过上端联接块经由枢动轴与第二臂体的前端侧的联接部连结，以沿水平方向自由旋转。转动构件的基座固定到设置在垂直第二移动框架或下端联接块的上端和下端处的第二垂直杆。转动构件的基座安装在由平行连杆构件构成的第二移动框架的前端部，以在保持恒定姿态的同时在垂直方向上平移。第一转动轴支撑第三臂体的基端部分以在竖直方向上旋转，并且第三臂体通过第一转动轴在竖直方向上旋转。转动构件的基座用于根据第三臂体的远端部分的位移而位移。第五活动部用于相对于第三臂体在竖直方向上旋转，以保持恒定的姿态。在构成为平行连杆构件的第三臂体中，第一水平杆和第二水平杆的基端部由第一转动轴支承，以沿上下方向转动，从而在整个垂直方向上摆动。第五活动部设置有第五锁定构件。安装在第二移动框架的前端部的转动构件具有相对于基座以第一枢轴为中心转动的第一转动部分，以及相对于第一转动部分围绕第二枢轴转动的第二转动部分。第一枢轴设定为平行于第三臂体的移动垂直水平方向的轴线，第一转动部分用于围绕水平的第一枢轴沿竖直平面旋转。第二枢轴设置在第一转动部分上，作为与第一枢轴垂直的轴线，第二转动部分用于绕第二枢轴转动。第二转动部分是作为安装有光源组件的托架的构件，光源组件附接到第二转动部分。具体地，光源组件的头部主体安装于第二转动部分。第一移动框架用于通过活动轴从与连结块连接的第一臂体的基端部分转动到第二移动框架的基端部分。头部主体内置有用于向由头部主体的壳体主体保持的振动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于执行曝光处理的系统，其特征在于，所述用于执行曝光处理的系统包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；所述光源组件、所述投影组件和所述承载台均设置于所述曝光腔室内；所述光源组件用于产生曝光光线，并用于将所产生的所述曝光光线输出至所述投影组件；所述投影组件中的支撑构件具有安装台，所述安装台包括支承构件，所述支承构件的板状部的上表面设有第一接收部件、第二接收部件，所述第一接收部件、所述第二接收部件与所述投影组件的透镜连接，所述第一接收部件、所述第二接收部件构成所述透镜的摆动运动的中心轴，所述第一接收部件的下部设置在所述板状部的上表面的前端部，所述第二接收部件的上部设置在所述板状部的上表面的后端部；所述第一接收部件、所述第二接收部件由弯曲成L字形的棒状部件形成，所述第一接收部件、所述第二接收部件由联结部和插入轴部分构成，所述联结部是细长的圆柱状的部件，所述联结部从所述板状部的上表面垂直地向上方延伸；所述插入轴部分是细长的圆柱状的部件，所述插入轴部分与所述联结部的前端连续地延伸，并且与所述板状部平行地向后方延伸，所述插入轴部分的前端部附近形成有向径向外侧突出的环状的接触部。...

【技术特征摘要】
1.一种用于执行曝光处理的系统，其特征在于，所述用于执行曝光处理的系统包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；所述光源组件、所述投影组件和所述承载台均设置于所述曝光腔室内；所述光源组件用于产生曝光光线，并用于将所产生的所述曝光光线输出至所述投影组件；所述投影组件中的支撑构件具有安装台，所述安装台包括支承构件，所述支承构件的板状部的上表面设有第一接收部件、第二接收部件，所述第一接收部件、所述第二接收部件与所述投影组件的透镜连接，所述第一接收部件、所述第二接收部件构成所述透镜的摆动运动的中心轴，所述第一接收部件的下部设置在所述板状部的上表面的前端部，所述第二接收部件的上部设置在所述板状部的上表面的后端部；所述第一接收部件、所述第二接收部件由弯曲成L字形的棒状部件形成，所述第一接收部件、所述第二接收部件由联结部和插入轴部分构成，所述联结部是细长的圆柱状的部件，所述联结部从所述板状部的上表面垂直地向上方延伸；所述插入轴部分是细长的圆柱状的部件，所述插入轴部分与所述联结部的前端连续地延伸，并且与所述板状部平行地向后方延伸，所述插入轴部分的前端部附近形成有向径向外侧突出的环状的接触部。2.根据权利要求1所述的用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：佛山尉达科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44