【技术实现步骤摘要】
一种湿式制程设备气体回抽循环使用装置
本专利技术涉及湿式制程设备领域，尤其涉及一种湿式制程设备气体回抽循环使用装置。
技术介绍
半导体制程是在超洁净无尘室进行的，仍然有些污染源的存在，至于污染源的来源，不外乎设备本身材料产生、现场作业员或制程工程师人体自身与动作的影响、化学材料或制程药剂残留或不纯度的发生，以及制程反应产生物的结果，尤其是制程反应产生物一项，更成为制程污染的主要来源，大多会造成良率和可靠度的下降；在半导体制程中，无论是在去光阻、化学气相沉淀、氧化扩散、晶圆研磨以后等各阶段制程都需要反复清洗步骤。湿式制程机台在半导体产业已是成熟发展，但有些机构设计，使用上有维修困难、耗液量大、均匀性不佳、漏液，背面脏污等等问题。其中若为高温制程，制程中产生气体量大，常会造成气体排出负担大，影响设备正常工作的同时，也会使得机台零件寿命减短，另外，在高温制程过程中，需要提高高温环境，排出的高温气体带走了设备内温度，减少了热量利用率，增加了能源耗损。
技术实现思路
本专利技术正是针对现有技术存在的不足，提供了一种湿式制程设备气体回抽循环使用装置。为解决上述问题，本专利技术所采取的技术方案如下：一种湿式制程设备气体回抽循环使用装置，包括箱体和风机，所述箱体为矩形腔体，箱体一侧上表面设有排气口，箱体两侧分别设有抽气口和进气口，进气口位于排气口一侧，箱体内腔上部设有气体交换管，气体交换管弧形固定安装在箱体内，且与排气口联通，气体交换管下方设有水平固定的喷淋管，喷淋管与气体交换管在空间上垂直，箱体内腔底部设有水平安装的多组滚动滑辊，滚动滑辊分别与喷淋管在空间上垂直，滚动滑辊上...
【技术保护点】
1.一种湿式制程设备气体回抽循环使用装置，其特征是，包括箱体(10)和风机(20)，所述箱体(10)为矩形腔体，箱体(10)一侧上表面设有排气口(11)，箱体(10)两侧分别设有抽气口(12)和进气口(13)，进气口(13)位于排气口(11)一侧，箱体(10)内腔上部设有气体交换管(14)，气体交换管(14)弧形固定安装在箱体内，且与排气口(11)联通，气体交换管(14)下方设有水平固定的喷淋管(15)，喷淋管(15)与气体交换管(14)在空间上垂直，箱体(10)内腔底部设有水平安装的多组滚动滑辊(16)，滚动滑辊(16)分别与喷淋管(15)在空间上垂直，滚动滑辊(16)上水平放置有盛放产品的基板(17)，所述风机(20)安装在箱体(10)外部，风机(20)的进风口与箱体(10)的抽气口(12)管路联通，风机(20)的出风口与箱体(10)的进气口(13)管路联通。
【技术特征摘要】
1.一种湿式制程设备气体回抽循环使用装置，其特征是，包括箱体(10)和风机(20)，所述箱体(10)为矩形腔体，箱体(10)一侧上表面设有排气口(11)，箱体(10)两侧分别设有抽气口(12)和进气口(13)，进气口(13)位于排气口(11)一侧，箱体(10)内腔上部设有气体交换管(14)，气体交换管(14)弧形固定安装在箱体内，且与排气口(11)联通，气体交换管(14)下方设有水平固定的喷淋管(15)，喷淋管(15)与气体交换管(14)在空间上垂直，箱体(10)内腔底部设有水平安装的多组滚动滑辊(16)，滚动滑辊(16)分别与喷淋管(15)在空间上垂直，滚动滑辊(16)上水平放置有盛...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈滢如，陈琮岳，
申请(专利权)人：安徽宏实自动化装备有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。