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一种湿式制程设备气体回抽循环使用装置，包括箱体和风机，所述箱体为矩形腔体，箱体一侧上表面设有排气口，箱体两侧分别设有抽气口和进气口，进气口位于排气口一侧，箱体内腔上部设有气体交换管，气体交换管弧形固定安装在箱体内，且与排气口联通，气体交换管...
该专利属于安徽宏实自动化装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽宏实自动化装备有限公司授权不得商用。

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