片状晶圆加工用的载具制造技术

本发明专利技术公开了一种片状晶圆加工用的载具，包括开口方向朝上的壳体，壳体内设有用于调节产品水平倾角的调节机构，所述壳体内灌入磁流变液，以使得所述调节机构浸没于磁流变液内，当产品的下部连接于调节机构上时所述调节机构驱使产品摆动至设定位置后静置，且所述产品的待加工部分位于磁流变液液面的上方，所述壳体上设有磁场发生器，用于驱使壳体内的磁流变液固化或复位至呈流体状态。本发明专利技术提供一种片状晶圆加工用的载具，其对于载片晶圆的性能要求低，因此耗材成本小，同时在牢固装夹的基础上使得功能晶圆的碎片率低，因此整体产品的合格率高。

Carrier for wafer processing

The invention discloses a carrier used for processing sheet wafers, including a shell with an upward opening direction and an adjusting mechanism for adjusting the horizontal inclination angle of a product. The shell is filled with magnetorheological fluid so that the adjusting mechanism is immersed in the magnetorheological fluid and is described when the lower part of the product is connected to the adjusting mechanism. The adjusting mechanism drives the product to swing to a set position and then the product to be processed is located above the surface of the magnetorheological fluid. A magnetic field generator is arranged on the shell to drive the magnetorheological fluid in the shell to solidify or reset to a fluid state. The invention provides a carrier for processing sheet wafer, which has low performance requirements for the wafer, low material consumption cost, and low debris rate of the functional wafer on the basis of a firm clamping, so that the qualified rate of the whole product is high.

【技术实现步骤摘要】
片状晶圆加工用的载具
本专利技术涉及晶圆加工的
，具体地是一种片状晶圆加工用的载具。
技术介绍
片状晶圆，尤其是厚度小于1mm的薄片晶圆，其在进行加工的过程中往往需要先临时键合在一个载片晶圆上，从而提高功能晶圆的强度，以便于进行加工处理，例如减薄打磨、蚀刻、切割等，最后将功能晶圆与载片晶圆进行分离，完成功能晶圆的加工。并且在现有技术中为了便于功能晶圆与载片晶圆的分离，同时也为了降低加工成本，上述的载片晶圆较多的采用工程塑料，而这一工程塑料制成的载片晶圆随功能晶圆切割的过程同步完成切割，因此现有技术中的这一工程塑料制成的载片晶圆多为一次性耗材。但是现有技术中这一功能晶圆和载片晶圆临时键合后的产品通过加工机床上的常规机械夹角进行装夹的过程中极易造成功能晶圆碎裂，因此加工难度大。而选用强度和硬度性能更佳的工程塑料，则会导致加工成本的提高，不利于企业生产经营。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一：提供一种片状晶圆加工用的载具，其对于载片晶圆的性能要求低，因此耗材成本小，同时在牢固装夹的基础上使得功能晶圆的碎片率低，因此整体产品的合格率高。为此，本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种片状晶圆加工用的载具，其特征在于：包括开口方向朝上的壳体(1)，壳体(1)内设有用于调节产品(2)水平倾角的调节机构(3)，所述壳体(1)内灌入磁流变液(4)，以使得所述调节机构(3)浸没于磁流变液(4)内，当产品(2)的下部连接于调节机构(3)上时所述调节机构(3)驱使产品(2)摆动至设定位置后静置，且所述产品(2)的待加工部分位于磁流变液(4)液面的上方，所述壳体(1)上设有磁场发生器，用于驱使壳体(1)内的磁流变液(4)固化或复位至呈流体状态。

【技术特征摘要】
1.一种片状晶圆加工用的载具，其特征在于：包括开口方向朝上的壳体(1)，壳体(1)内设有用于调节产品(2)水平倾角的调节机构(3)，所述壳体(1)内灌入磁流变液(4)，以使得所述调节机构(3)浸没于磁流变液(4)内，当产品(2)的下部连接于调节机构(3)上时所述调节机构(3)驱使产品(2)摆动至设定位置后静置，且所述产品(2)的待加工部分位于磁流变液(4)液面的上方，所述壳体(1)上设有磁场发生器，用于驱使壳体(1)内的磁流变液(4)固化或复位至呈流体状态。2.根据权利要求1所述的片状晶圆加工用的载具，其特征在于：所述调节机构(3)包括至少三个筒体(3.1)，全部筒体(3.1)沿水平方向间隔设置，且各筒体(3.1)的下端均与壳体(1)连接，所述筒体(3.1)内设有一中心通道，中心通道内滑动配合有一活塞杆(3.2)，活塞杆(3.2)的下端面与中心通道的内表面合围形成控制腔(3.3)，活塞杆(3.2)的上端沿竖直方向露置于筒体(3.1)上方，且活塞杆(3.2)外露于筒体(3.1)上方的端部设有用于与产品(2)连接或脱开的连接件。3.根据权利要求2所述的片状晶圆加工用的载具，其特征在于：所述连接件为开口方向朝上的吸盘(3.4)。4.根据权利要求3所述的片状晶圆加工用的载具，其特征在于：所述活塞杆(3.2)内设有连接管(3.5)，连接管(3.5)的上端与吸盘(3.4)的内腔连通，连接管(3.5)的下端与控制腔(3.3)连通，所述控制腔(3.3)通过控制管(5)与壳体(1)外的压力调节系统连接。5.根据权利要求4所述的片状晶圆加工用的载具，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩赛，
申请(专利权)人：韩赛，
类型：发明
国别省市：浙江,33